蒸镀坩埚及蒸镀装置的制作方法

金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术1.本技术涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。背景技术：2.在oled面板制备过程中，蒸镀工艺是其中十分重要的关键工序。在蒸镀过程中，先采用掩膜板遮挡基材，蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热挥发并从掩膜板开口蒸镀到对应的基材上。3.目前常用的蒸镀工艺有点状蒸镀，而且对于点状蒸镀，其蒸镀设备中一般包括一个小型圆桶状的蒸镀坩埚，金属蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热成气态并从圆桶状蒸镀坩埚的开口向上扩散逸出，从而对基材进行蒸镀。4.如图1所示，现有技术中蒸镀坩埚在使用时，在对基材4的边角部位进行蒸镀时，为了确保基材4的边角部位能够被均匀的蒸镀，蒸镀坩埚的开口中心一般都是沿竖直方向与基材4的边沿间隔对应设置，以使蒸镀坩埚的开口扩散逸出的蒸镀材料能够较为均匀地蒸镀到基材4的边角部位，但是这样也会造成部分的蒸镀材料浪费，提高了蒸镀成本。5.因此，市面上亟需一种能够既能够实现基材4的边角部位被均匀蒸镀，又能够避免蒸镀材料浪费的蒸镀坩埚。技术实现要素：6.有鉴于此，本技术提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，用以解决现有技术中蒸镀装置对基材边角蒸镀时会造成蒸镀材料浪费的问题。7.本技术提供的蒸镀坩埚包括坩埚本体和加热装置；8.所述坩埚本体具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且所述容腔的顶部开设有开口；9.所述加热装置设置于所述坩埚本体外部；10.其中，所述开口所在的平面与水平方向倾斜设置。11.当使用该蒸镀坩埚对基材的边角部位进行蒸镀时，先将坩埚本体对应设置于基材的边角部位的下方附近，并调整坩埚本体的开口朝向，使开口朝向基材的中部，该蒸镀坩埚将容腔中的蒸镀材料加热到熔化挥发时，蒸镀材料便可从开口逸散出去，而且由于开口朝向基材的中部倾斜设置，这样蒸镀材料的蒸镀角也会相应的朝向基材的中部倾斜，从而使蒸镀材料能够更充分地蒸镀到基材的边角部。12.与现有技术中点蒸镀工艺中的蒸镀装置相比，本技术实施提供的蒸镀坩埚能够使蒸镀材料更充分地蒸镀到基材的边角部，能够减少蒸镀材料浪费、降低蒸镀成本。13.在一种可能的设计中，所述开口为平面口，且所述开口所在的平面与水平方向形成夹角θ。14.这样在加工制作开口时，可以直接将坩埚本体的沿口周壁切削成型，具有结构简单、方便加工制作的优点。15.在一种可能的设计中，所述开口为朝向所述容腔内部凹陷的凹形口；16.所述凹形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。17.这样开口对蒸镀材料的蒸镀角起到一定的聚拢作用，使蒸镀材料能够较为集中的从开口倾斜逸出并蒸镀到基材的边角部，具有结构简单、能够对气态蒸镀材料进行收拢的优点。18.在一种可能的设计中，所述开口为背离所述容腔内部凸起的凸形口；19.所述凸形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。20.这样从开口对蒸镀材料的蒸镀角起到一定的发散作用，使蒸镀材料能够较为广泛的从开口倾斜逸出并蒸镀到基材的边角部，具有结构简单、能够对气态蒸镀材料进行发散的优点。21.在一种可能的设计中，所述夹角θ满足：30°≤θ≤60°。22.将夹角θ具体限定在30°～60°之间，一方面可以避免夹角θ过小导致蒸镀材料的蒸镀角不会产生实质倾斜的问题，另一方面可以避免夹角θ过大导致蒸镀材料的蒸镀角产生过大倾斜的问题。23.在一种可能的设计中，所述蒸镀坩埚还包括外壳；24.所述外壳间隔套设于所述坩埚本体的外部，并与所述坩埚本体共同围成用于安装所述加热装置的安装空间。25.将外壳间隔套设于坩埚本体的外部，这样坩埚本体与外壳之间便可以形成一个环状间隙，这样当位于坩埚本体外周壁的加热装置加热时，外壳能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置的加热效率。26.在一种可能的设计中，所述加热装置设置于所述坩埚本体外周壁，且包括第一加热部和第二加热部；27.其中，所述第一加热部设置于所述坩埚本体的靠近所述开口的外周壁处，所述第二加热部设置于所述坩埚本体的底部外周壁处。28.这样可以通过第一加热部、第二加热部分别对坩埚本体靠近开口的外周壁、坩埚本体的底部外周壁进行加热，避免蒸镀材料在坩埚本体的开口处出现冷却沉积的现象。29.另外，本技术还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其中，所述电源与所述加热装置电连接。30.该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。31.在一种可能的设计中，所述蒸镀装置包括至少两个所述蒸镀坩埚；两个所述蒸镀坩埚对应设置成一组并分别对应设置于基材的两个对边，且两个所述蒸镀坩埚的所述开口分别相互面对设置。32.这样当该蒸镀装置对基材进行点状蒸镀时，两个蒸镀坩埚的开口逸出的气态蒸镀材料便可以相互面对且倾斜朝向基材的两个对边逸散蒸镀，避免蒸镀材料浪费的同时，还能够提高对基材的点蒸镀效率。33.在一种可能的设计中，所述坩埚本体1具有沿竖直方向的中轴线，且所述中轴线位于基材的侧边内。34.这样一方面能够进一步地减少蒸镀材料无效蒸镀浪费，另一方面也可以使该蒸镀装置的整体结构更紧凑，节省占地空间。35.本技术实施例的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术实施例而了解。本技术实施例的目的和其他优点在说明书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。附图说明36.图1为现有技术中蒸镀装置对基材侧边蒸镀的示意图；37.图2为本技术实施例提供的蒸镀坩埚的第一种结构示意图；38.图3为本技术实施例提供的蒸镀坩埚的第二种结构示意图；39.图4为本技术实施例提供的蒸镀坩埚的第三种结构示意图；40.图5为本技术实施例提供的蒸镀装置对基材侧边蒸镀的示意图。41.附图标记：42.1-坩埚本体；43.11-开口；44.2-加热装置；45.3-外壳；46.4-基材。47.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。具体实施方式48.为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。49.应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。50.在本技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。51.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。52.需要注意的是，本技术实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本技术实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。53.下面根据本技术实施例提供的蒸镀坩埚及的蒸镀装置结构，对其具体实施例进行说明。54.如图2所示，本技术实施例提供了一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚包括坩埚本体1和加热装置2；坩埚本体1具有用于盛装蒸镀材料的容腔，且容腔的顶部开设有开口11；加热装置2设置于坩埚本体1外部；其中，开口11所在的平面与水平方向倾斜设置。55.当使用该蒸镀坩埚对基材4的边角部位进行蒸镀时，先将坩埚本体1对应设置于基材4的边角部位的下方附近，并调整坩埚本体1的开口11朝向，使开口11朝向基材4的中部，该蒸镀坩埚将容腔中的蒸镀材料加热到熔化挥发时，蒸镀材料便可从开口11逸散出去，而且由于开口11朝向基材4的中部倾斜设置，这样蒸镀材料的蒸镀角也会相应的朝向基材4的中部倾斜，从而使蒸镀材料能够更充分地蒸镀到基材4的边角部。56.与现有技术中点蒸镀工艺中的蒸镀装置相比，本技术实施提供的蒸镀坩埚能够使蒸镀材料更充分地蒸镀到基材4的边角部，能够减少蒸镀材料浪费、降低蒸镀成本。57.本实施的可选方案中，开口11为平面口，且开口11所在的平面与水平方向形成夹角θ。58.具体的，如图2所示，将开口11设置成平面口，此时坩埚本体1的开口11可以理解成是由一个与水平面倾斜夹角θ的平面与坩埚本体1的沿口周壁相切形成，因此在加工制作开口11时，可以直接切削成型。59.上述开口11的具体设置方式，具有结构简单、方便加工制作的优点。60.本实施的可选方案中，开口11为朝向容腔内部凹陷的凹形口；凹形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。61.具体的，如图3所示，将开口11设置成朝向容腔内部凹陷的凹形口，此时坩埚本体1的开口11可以理解成是由一个圆柱或圆球与坩埚本体1的沿口周壁相切形成，这样开口11对蒸镀材料的蒸镀角起到一定的聚拢作用，使蒸镀材料能够较为集中的从开口11倾斜逸出并蒸镀到基材4的边角部。62.上述开口11的具体设置方式，具有结构简单、能够对气态蒸镀材料进行收拢的优点。63.本实施的可选方案中，开口11为背离容腔内部凸起的凸形口；凸形口的最大口径所在平面与水平方向形成夹角θ。64.具体的，如图4所示，将开口11设置成背离容腔内部凸起的凸形口，此时坩埚本体1的开口11可以理解成是由一个圆柱或圆球与坩埚本体1的沿口周壁相交形成，这样从开口11对蒸镀材料的蒸镀角起到一定的发散作用，使蒸镀材料能够较为广泛的从开口11倾斜逸出并蒸镀到基材4的边角部。65.上述开口11的具体设置方式，具有结构简单、能够对气态蒸镀材料进行发散的优点。66.本实施的可选方案中，夹角θ满足：30°≤θ≤60°。67.夹角θ具体可以但不限于为30°、35°、40°、45°、50°、55°、60°，这样一方面可以避免夹角θ过小导致蒸镀材料的蒸镀角不会产生实质倾斜的问题，另一方面可以避免夹角θ过大导致蒸镀材料的蒸镀角产生过大倾斜的问题，因此将夹角θ具体限定在30°～60°之间。68.本实施的可选方案中，蒸镀坩埚还包括外壳3；外壳3间隔套设于坩埚本体1的外部，并与坩埚本体1共同围成用于安装加热装置2的安装空间。69.具体的，如图1所示，将外壳3间隔套设于坩埚本体1的外部，这样坩埚本体1与外壳3之间便可以形成一个环状间隙，这样当位于坩埚本体1外周壁的加热装置2加热时，外壳3能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置2的加热效率。70.而且，还可以在外壳3的内周壁设置光滑的反热涂层，以将加热装置2向外发出的热辐射更好的反射回坩埚本体1。71.本实施的可选方案中，加热装置2设置于坩埚本体1外周壁，且包括第一加热部和第二加热部；其中，第一加热部设置于坩埚本体1的靠近开口11的外周壁处，第二加热部设置于坩埚本体1的底部外周壁处。72.第一加热部、第二加热部可以采用不同的供电系统，也可以采用相同的供电系统，而且第一加热部的加热功率可以具体设置成略大于第二加热部的加热功率，这样坩埚本体1靠近开口11外周壁的温度会略高于坩埚本体1底部外周壁的温度，从而可以避免蒸镀材料在坩埚本体1的开口处出现冷却沉积的现象。73.另外，本技术还一种蒸镀装置，包括电源和上述的蒸镀坩埚；其中，电源与加热装置2电连接。74.具体的，如图5所示，该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。75.本实施的可选方案中，蒸镀装置包括至少两个蒸镀坩埚；两个蒸镀坩埚对应设置成一组并分别对应设置于基材的两个对边，且两个蒸镀坩埚的开口11分别相互面对设置。76.具体的，如图5所示，将两个蒸镀坩埚对应设置成一组并分别对应设置于基材4的两个对边，且使两个蒸镀坩埚的开口11分别相互面对设置。这样当该蒸镀装置对基材4进行点状蒸镀时，两个蒸镀坩埚的开口11逸出的气态蒸镀材料便可以相互面对且倾斜朝向基材4的两个对边逸散蒸镀，避免蒸镀材料浪费的同时，还能够提高对基材4的点蒸镀效率。77.当然，上述的蒸镀装置中的蒸镀坩埚也可以设置更多个，例如四个、六个、八个等。78.本实施的可选方案中，坩埚本体1具有沿竖直方向的中轴线，且中轴线位于基材的侧边内。79.具体的，如图5所示，将坩埚本体1竖直方向的中轴线设置于基材4的侧边内，这样一方面能够进一步地减少蒸镀材料无效蒸镀浪费，另一方面也可以使该蒸镀装置的整体结构更紧凑，节省占地空间。80.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。









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