一种晶圆基板侧面清洗装置的制作方法

环保节能,再生,污水处理设备的制造及其应用技术1.本实用新型涉及晶圆基板加工设备技术领域，尤其涉及一种晶圆基板侧面清洗装置。背景技术：2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。3.现有技术中，面板领域或者半导体领域的玻璃基板均需要通过药液浸泡、喷淋和清洗，以及涂胶、显影、刻蚀和剥膜等工艺过程，以实现在玻璃表面印刷芯片的操作，在此过程中需在玻璃的侧面进行焊接并形成焊盘，故因此需要对基板的侧面进行清洗，基板侧面颗粒物的控制程度，直接影响着基板的良品率，在清洗之前，首先需要对基板进行固定，但是现有技术的固定方式通常采用吸盘或者机械手夹持住基板的一角，所以在对其进行清洗时，基板上被夹持的部分往往无法清洗到，形成了清洗死角，并且通常的清洗方式为对基板的两面进行清洗后再以依次其进行烘干，清洗效率较为低下。技术实现要素：4.本实用新型实施例提供一种晶圆基板侧面清洗装置，以解决现有技术中对晶圆基板的侧面进行清洗时，基板上被夹持的部分往往无法清洗到，形成了清洗死角，并且通常的清洗方式为对基板的两面进行清洗后再依次对其进行烘干，清洗效率较为低下的技术问题。5.本实用新型实施例采用下述技术方案：包括晶圆清洗设备和晶圆烘干设备，还包括底座板、基板边缘夹持装置和基板翻转装置，所述基板边缘夹持装置设置在底座板上，所述基板翻转装置设置在底座板上且位于基板边缘夹持装置的侧端，所述晶圆清洗设备设置在底座板上且位于基板边缘夹持装置的下方，所述晶圆烘干设备设置在底座板上且位于基板边缘夹持装置的上方。6.进一步的，所述基板边缘夹持装置包括安装盒、夹紧组件和连杆驱动组件，所述安装盒呈圆柱形并且呈中空设置，所述安装盒设置在晶圆清洗设备和晶圆烘干设备之间，所述安装盒的圆心处设置有圆形贯通口，所述夹紧组件有三个，三个所述夹紧组件呈圆形均匀地布设在安装盒内部，所述连杆驱动组件设置在三个夹紧组件上，每个所述夹紧组件均包括滑槽架、滑动块、夹持板和推动盘，所述滑槽架设置在安装盒内部，所述滑动块设置在滑槽架上且滑动配合，所述夹持板设置在滑动块靠近贯通口的一端，所述推动盘偏心设置在安装盒内部且推动盘的一端与滑动块远离夹持板的一端转动连接。7.进一步的，所述连杆驱动组件包括第一连杆、第二连杆、第三连杆和电动推杆，所述第一连杆有两个，两个所述第一连杆呈v形设置，两个所述第一连杆的中部分别与其中两个夹紧组件中的推动盘与安装盒的连接处转动连接，所述第二连杆的一端与另外一个夹紧组件中的推动盘与安装盒的连接处转动连接，所述第三连杆有两个，其中一个所述第三连杆的两端分别与两个第一连杆的一端转动连接，另外一个第三连杆的两端分别与其中一个第一连杆的一端和第二连杆的另一端转动连接，所述电动推杆水平设置在安装盒内部且电动推杆的尾端与安装盒的底端衔接，所述电动推杆的输出端与另外一个第一连杆的一端衔接。8.进一步的，每个所述夹持板的夹持端均采用软性材质。9.进一步的，所述基板翻转装置包括双轴电机和翻转组件，所述双轴电机设置在底座板上且位于安装盒的一侧，所述翻转组件有两个，两个所述翻转组件对称设置在底座板上且位于安装盒的两侧，每个所述翻转组件均包括连接轴、连接架、皮带轮和传动皮带，所述连接架设置在底座板上且位于安装盒的侧端，所述连接轴穿过连接架且转动连接，所述连接轴的一端与安装盒的侧端连接，所述皮带轮有两个，其中一个所述皮带轮设置在连接轴的另一端连接，另外一个所述皮带轮设置在双轴电机一端的输出端上，所述传动皮带套设在两个皮带轮上。10.本实用新型实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：11.其一，在对晶圆基板固定之前，首先三个夹持板均处于远离安装盒圆心处的贯通口的位置，将待清洗的晶圆基板放置在贯通口处，控制电动推杆工作，带动与其衔接的第一连杆以与推动盘的连接处为轴进行旋转，从而带动与其连接的滑动块在滑槽架内滑动，使得与其连接的夹持板往晶圆基板的侧端移动，同时在两个第三连杆的传动配合下，另外两个夹紧组件中的夹持板同时往晶圆基板的方向移动，三个夹紧组件中的夹持板合起来呈一个正圆形并且其内径与晶圆基板的外径契合，从而对晶圆基板的侧端进行包围式夹持固定，既保证了基板清洗时的稳定性，也不会对清洗面造成遮挡或者覆盖，形成清洗死角。12.其二，在对晶圆基板进行固定时，为了避免对其侧端造成损伤，故采用软性材质，既具有一定的摩擦力提高夹持时的稳定性，也不会对其表面造成损伤。13.其三，当晶圆基板的一面清洗后，控制双轴电机工作，在皮带轮和传动皮带的传动下，两个连接轴同步旋转从而带动安装盒旋转180度，使得晶圆基板原本朝下的清洗过的一面翻转至朝上进行烘干作业，烘干的同时另一面进行清洗作业，从而提高了晶圆基板的清洗效率。附图说明14.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：15.图1为本实用新型立体结构示意图；16.图2为本实用新型的局部结构俯视图；17.图3为本实用新型中基板边缘夹持装置的剖视图；18.图4为图3中a处的放大图；19.图5为本实用新型中基板翻转装置的立体结构示意图。20.附图标记21.晶圆清洗设备1、晶圆烘干设备2、底座板3、基板边缘夹持装置4、安装盒41、夹紧组件42、滑槽架421、滑动块422、夹持板423、推动盘424、连杆驱动组件43、第一连杆431、第二连杆432、第三连杆433、电动推杆434、基板翻转装置5、双轴电机51、翻转组件52、连接轴521、连接架522、皮带轮523、传动皮带524。具体实施方式22.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。23.以下结合附图，详细说明本实用新型各实施例提供的技术方案。24.本实用新型实施例提供一种晶圆基板侧面清洗装置，包括晶圆清洗设备1和晶圆烘干设备2，还包括底座板3、基板边缘夹持装置4和基板翻转装置5，所述基板边缘夹持装置4设置在底座板3上，所述基板翻转装置5设置在底座板3上且位于基板边缘夹持装置4的侧端，所述晶圆清洗设备1设置在底座板3上且位于基板边缘夹持装置4的下方，所述晶圆烘干设备2设置在底座板3上且位于基板边缘夹持装置4的上方；现有技术中，面板领域或者半导体领域的玻璃基板均需要通过药液浸泡、喷淋和清洗，以及涂胶、显影、刻蚀和剥膜等工艺过程，以实现在玻璃表面印刷芯片的操作，在此过程中需在玻璃的侧面进行焊接并形成焊盘，故因此需要对基板的侧面进行清洗，基板侧面颗粒物的控制程度，直接影响着基板的良品率，在清洗之前，首先需要对基板进行固定，但是现有技术的固定方式通常采用吸盘或者机械手夹持住基板的一角，所以在对其进行清洗时，基板上被夹持的部分往往无法清洗到，形成了清洗死角，并且通常的清洗方式为对基板的两面进行清洗后再依次对其进行烘干，清洗效率较为低下；本装置首先将待清洗的晶圆基板水平放置在基板边缘夹持装置4上，通过基板边缘夹持装置4对基板外侧进行包围式的夹持固定，并且并不占用基板两侧待清洗的区域，基板的下端通过晶圆清洗设备1进行清洗后，通过基板翻转装置5将基板翻转180度，原本朝下的清洗过的一侧翻转至朝上，通过晶圆烘干设备2对清洗过的一面进行烘干，同时未清洗的朝下的一面通过晶圆清洗设备1进行清洗，清洗后再翻转180度对清洗后的一面进行烘干即可，本装置解决了避免对晶圆基板进行固定和清洗的过程中出现清洗死角和提高晶圆基板清洗效率的问题。25.优选的，所述基板边缘夹持装置4包括安装盒41、夹紧组件42和连杆驱动组件43，所述安装盒41呈圆柱形并且呈中空设置，所述安装盒41设置在晶圆清洗设备1和晶圆烘干设备2之间，所述安装盒41的圆心处设置有圆形贯通口，所述夹紧组件42有三个，三个所述夹紧组件42呈圆形均匀地布设在安装盒41内部，所述连杆驱动组件43设置在三个夹紧组件42上，每个所述夹紧组件42均包括滑槽架421、滑动块422、夹持板423和推动盘424，所述滑槽架421设置在安装盒41内部，所述滑动块422设置在滑槽架421上且滑动配合，所述夹持板423设置在滑动块422靠近贯通口的一端，所述推动盘424偏心设置在安装盒41内部且推动盘424的一端与滑动块422远离夹持板423的一端转动连接。26.优选的，所述连杆驱动组件43包括第一连杆431、第二连杆432、第三连杆433和电动推杆434，所述第一连杆431有两个，两个所述第一连杆431呈v形设置，两个所述第一连杆431的中部分别与其中两个夹紧组件42中的推动盘424与安装盒41的连接处转动连接，所述第二连杆432的一端与另外一个夹紧组件42中的推动盘424与安装盒41的连接处转动连接，所述第三连杆433有两个，其中一个所述第三连杆433的两端分别与两个第一连杆431的一端转动连接，另外一个第三连杆433的两端分别与其中一个第一连杆431的一端和第二连杆432的另一端转动连接，所述电动推杆434水平设置在安装盒41内部且电动推杆434的尾端与安装盒41的底端衔接，所述电动推杆434的输出端与另外一个第一连杆431的一端衔接；在对晶圆基板固定之前，首先三个夹持板423均处于远离安装盒41圆心处的贯通口的位置，将待清洗的晶圆基板放置在贯通口处，控制电动推杆434工作，带动与其衔接的第一连杆431以与推动盘424的连接处为轴进行旋转，从而带动与其连接的滑动块422在滑槽架421内滑动，使得与其连接的夹持板423往晶圆基板的侧端移动，同时在两个第三连杆433的传动配合下，另外两个夹紧组件42中的夹持板423同时往晶圆基板的方向移动，三个夹紧组件42中的夹持板423合起来呈一个正圆形并且其内径与晶圆基板的外径契合，从而对晶圆基板的侧端进行包围式夹持固定，既保证了基板清洗时的稳定性，也不会对清洗面造成遮挡或者覆盖，形成清洗死角。27.优选的，每个所述夹持板423的夹持端均采用软性材质；在对晶圆基板进行固定时，为了避免对其侧端造成损伤，故采用软性材质，既具有一定的摩擦力提高夹持时的稳定性，也不会对其表面造成损伤。28.优选的，所述基板翻转装置5包括双轴电机51和翻转组件52，所述双轴电机51设置在底座板3上且位于安装盒41的一侧，所述翻转组件52有两个，两个所述翻转组件52对称设置在底座板3上且位于安装盒41的两侧，每个所述翻转组件52均包括连接轴521、连接架522、皮带轮523和传动皮带524，所述连接架522设置在底座板3上且位于安装盒41的侧端，所述连接轴521穿过连接架522且转动连接，所述连接轴521的一端与安装盒41的侧端连接，所述皮带轮523有两个，其中一个所述皮带轮523设置在连接轴521的另一端连接，另外一个所述皮带轮523设置在双轴电机51一端的输出端上，所述传动皮带524套设在两个皮带轮523上；当晶圆基板的一面清洗后，控制双轴电机51工作，在皮带轮523和传动皮带524的传动下，两个连接轴521同步旋转从而带动安装盒41旋转180度，使得晶圆基板原本朝下的清洗过的一面翻转至朝上进行烘干作业，烘干的同时另一面进行清洗作业，从而提高了晶圆基板的清洗效率。29.以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。









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