一种药液供给设备的制作方法

物理化学装置的制造及其应用技术1.本实用新型涉及半导体领域，特别是涉及一种药液供给设备。背景技术：2.半导体行业很多工序需要用到各种化学药液，且化学药液多为浓度较高的酸性或碱性液体，具有较强的腐蚀性和危险性。现阶段市场上的化学原液大多是按一定体积罐装好的标准品，所以需要一套将罐装原液按一定比例稀释或混合后再输送的药液供给设备。依据生产工艺的不同，在单一生产流程中可能同时要求多种药液；同时半导体行业内工厂车间大多是无尘车间，单位面积的使用成本较为昂贵，对设备尺寸有着较为严苛的要求。3.但是，现有药液供给设备大多是单一药液供给，在应对多种药液需求时，只能增加设备数量，占用更多的空间，直接增加了工厂的设备使用成本。4.因此，如何找到一种低空间占用，且能同时供给多种药液的设备，是本领域技术人员亟待解决的问题。技术实现要素：5.本实用新型的目的是提供一种药液供给设备以解决现有技术中如果需要供给多种药液，则需要大量空间设置多个药液供给设备的问题。6.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种药液供给设备，包括单个过滤柜、单个电控柜、单个气控柜、集成处理器及上药模块；7.所述上药模块分别与所述过滤柜、所述电控柜及所述气控柜相连；8.所述上药模块包括原液供给端、纯水供给端、多个配比供给组件及供给泵；所述原液供给端及所述纯水供给端与所述配比供给组件通过管道相连，所述配比供给组件通过所述供给泵输出配比好的药液；9.所述集成处理器分别与所述过滤柜、所述电控柜、所述气控柜及所述上药模块信号连接。10.可选地，在所述的药液供给设备中，单个所述配比供给组件包括至少一个配比桶和至少一个供给桶。11.可选地，在所述的药液供给设备中，单个所述配比供给组件包括至少两个配比供给桶。12.可选地，在所述的药液供给设备中，所述药液供给设备为一体化设备。13.可选地，在所述的药液供给设备中，所述药液供给设备为全封闭设备。14.可选地，在所述的药液供给设备中，所述气控柜与所述电控柜之间设置有隔水层。15.可选地，在所述的药液供给设备中，所述气控柜与所述电控柜设置于所述药液供给设备的第一侧面，所述过滤柜设置于所述药液供给设备的第二侧面。16.可选地，在所述的药液供给设备中，所述药液供给设备的动力接口设置于所述药液供给设备的顶部。17.可选地，在所述的药液供给设备中，还包括漏液排放口；18.所述漏液排放口设置于所述药液供给设备的底部。19.可选地，在所述的药液供给设备中，还包括漏液报警器。20.本实用新型所提供的药液供给设备，包括单个过滤柜、单个电控柜、单个气控柜、集成处理器及上药模块；所述上药模块分别与所述过滤柜、所述电控柜及所述气控柜相连；所述上药模块包括原液供给端、纯水供给端、多个配比供给组件及供给泵；所述原液供给端及所述纯水供给端与所述配比供给组件通过管道相连，所述配比供给组件通过所述供给泵输出配比好的药液；所述集成处理器分别与所述过滤柜、所述电控柜、所述气控柜及所述上药模块信号连接。21.本实用新型将多个配比供给组件整合到一台设备中，且通过单一的气控柜、电控柜及过滤柜进行支持，相比于现有技术中一台设备仅能提供一种药液，本实用新型中不同的配比供给组件可以实现分别供给不同药液，大大降低了供给多种药液所需要的空间，进而降低了半导体器件的生产成本。附图说明22.为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。23.图1为本实用新型提供的药液供给设备的一种具体实施方式的俯视截面结构示意图；24.图2为本实用新型提供的药液供给设备的一种具体实施方式的正视结构示意图；25.图3为本实用新型提供的药液供给设备的一种具体实施方式的右视结构示意图；26.图4为本实用新型提供的药液供给设备的一种具体实施方式的左视结构示意图；27.图5为本实用新型提供的药液供给设备的一种具体实施方式的顶视结构示意图；28.图6为本实用新型提供的药液供给设备的一种具体实施方式的液路图；29.图7为本实用新型提供的药液供给设备的另一种具体实施方式的液路图；30.图8为本实用新型提供的药液供给设备的一种具体实施方式的信号连接示意图。具体实施方式31.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。32.本实用新型的核心是提供一种药液供给设备，其一种具体实施方式的结构示意图如图1至图7所示，称其为具体实施方式一，包括单个过滤柜20、单个电控柜30、单个气控柜40、集成处理器50及上药模块10；33.所述上药模块10分别与所述过滤柜20、所述电控柜30及所述气控柜40相连；34.所述上药模块10包括原液供给端13、纯水供给端、多个配比供给组件11及供给泵12；所述原液供给端13及所述纯水供给端与所述配比供给组件11通过管道相连，所述配比供给组件11通过所述供给泵12输出配比好的药液；35.所述集成处理器50分别与所述过滤柜20、所述电控柜30、所述气控柜40及所述上药模块10信号连接。36.所述纯水供给端可为经厂务管路提供的蒸馏水。所述原液供给端 13可为倒入原液的原液桶。图8为所述集成处理器50与所述药液供给设备中其他部件的信号连接示意图。37.作为一种具体实施方式，单个所述配比供给组件11包括至少一个配比桶11a和至少一个供给桶11b。原液与蒸馏水按照预定比例进入配比桶11a，等配比桶11a内的溶液稳定后，再进入供给桶11b，通过所述供给泵12源源不断地泵入主设备中。本具体实施方式的液路图如图6所示，需要注意的是，图6(下文中图7也适用)中的桶包括 hh、h、l、ll四挡，分别表示桶内的存液量，非常多、多、少、非常少四挡。38.作为另一种具体实施方式，单个所述配比供给组件11包括至少两个配比供给桶11c。在本具体实施方式中，两个配比供给桶11c轮流通过所述供给泵12为所述主设备供药，当第一配比供给桶11c为所述主设备供药时，第二配比供给桶11c接受所述原液供给端13及所述纯水供给端的注入，并等待内部溶液稳定，当第一配比供给桶11c 内溶液量过低时，通过切换装置换成第二配比供给桶11c供药，第一配比供给桶11c接受所述原液供给端13及所述纯水供给端的补充。本具体实施方式的液路图如图7所示。39.作为一种具体实施方式，所述药液供给设备为一体化设备，所述一体化设备指所述药液供给设备的所有组件都被封装在一个壳体中；一体化设备在进一步降低空间占用的同时，也提高了设备的安全性。图1为本具体实施方式的俯视剖面图。图2为本具体实施方式的正视图，当然，优选地，所述药液供给设备的正面外壳上还包括触摸屏、传感显示器等组件，方便相关人员操作，所述药液供给设备的废液排放口设置于底部。图3为本具体实施方式的右视图，在本具体实施方式中，辅助接口被设置于所述药液供给设备的右侧当然，也可根据实际使用情况对接口位置做适应性调整。图4为本具体实施方式的左视图，如图所示，所述过滤柜20可包括多个过滤器。40.在配比供给时，既要避免药液与操作人员直接接触，又要防止外界环境对药液造成污染，但是，现有药液供给设备大多是开放结构，如果在工艺过程中药液一旦受到外界环境的污染将会造成重大影响，因此，本实用新型进一步将所述药液供给设备改进为全封闭设备，所述全封闭设备指除了预留的管道与接口外，设备内部与外部无其他渠道进行物质交换或能量交换，避免外部环境对药液造成污染，同时避免强腐蚀性药液，对工作人员造成伤害。41.另外，所述气控柜40与所述电控柜30之间设置有隔水层，如图 1所示，从而排除气控柜40可能产生的水气对电控柜30的影响，提高设备的运行稳定性；更进一步地，所述气控柜40与所述电控柜30 分离设置。42.还有，所述气控柜40与所述电控柜30设置于所述药液供给设备的第一侧面，所述过滤柜20设置于所述药液供给设备的第二侧面。换言之，所述过滤柜20所在的表面与所述气控柜40及所述电控柜30 所在的表面不同，将所述过滤柜20与所述气控柜40及所述电控柜30 物理隔离，避免了相互干扰，提高了设备稳定性。43.作为一种具体实施方式，所述药液供给设备的动力接口70设置于所述药液供给设备的顶部。将所述动力接口70设置于设备顶部，避免了设备发生漏液时，漏出的药液损坏动力传输线路，造成更大规模的破坏，提高了设备安全性。图5为本具体实施方式的顶视图，除上述的动力接口70外，设备顶部还可设置排气口。44.作为一种优选实施方式，还包括漏液排放口60；45.所述漏液排放口60设置于所述药液供给设备的底部。设置于底部的漏液排放口60用于排放漏液，由于在设备的底部，在排放漏液时，不需要额外的驱动设备，大大降低了设备复杂度。46.更进一步地，设备还包括漏液报警器。所述漏液报警器用于在发生漏液时发出警报，作为一种具体实施方式，所述漏液报警器可以为声音报警器、光电报警器或声光报警器，当然，也可根据实际需要选择其他报警器。47.本实用新型所提供的药液供给设备，包括单个过滤柜20、单个电控柜30、单个气控柜40、集成处理器50及上药模块10；所述上药模块10分别与所述过滤柜20、所述电控柜30及所述气控柜40相连；所述上药模块10包括原液供给端13、纯水供给端、多个配比供给组件11及供给泵12；所述原液供给端13及所述纯水供给端与所述配比供给组件11通过管道相连，所述配比供给组件11通过所述供给泵12 输出配比好的药液；所述集成处理器50分别与所述过滤柜20、所述电控柜30、所述气控柜40及所述上药模块10信号连接。本实用新型将多个配比供给组件11整合到一台设备中，且通过单一的气控柜40、电控柜30及过滤柜20进行支持，相比于现有技术中一台设备仅能提供一种药液，本实用新型中不同的配比供给组件11可以实现分别供给不同药液，大大降低了供给多种药液所需要的空间，进而降低了半导体器件的生产成本。48.本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。49.需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。50.以上对本实用新型所提供的药液供给设备进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。









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