光阻剥离设备的制作方法 专利技术说明

摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术1.本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种光阻剥离设备。背景技术：2.在半导体显示制造过程中，显示面板包括滤光器阵列基板和tft阵列基板，(tft，thin film transistor，薄膜晶体管)，tft阵列基板的制作过程包含剥离工艺，即把定义图形的光阻(photorisist，简称pr)用剥离液(例如显影液)去除的工艺。剥离液通过管道循环输入光阻剥离槽，在光阻剥离槽中，剥离液能够溶解掉定义图形的光阻，剥离液随管道循环流动，经过过滤处理后再重新回到光阻剥离槽中。当剥离液中的光阻含量达到一定比例后，剥离液的剥离能力下降或者丧失，因此，需要对剥离液进行更换。现有技术中，对于是否更换剥离液的评估方式有两种：一种是按照处理时间，例如剥离液在光阻剥离槽中的处理时间达到150分钟后，即需要对剥离液进行更换；另一种是按照处理数量，例如当光阻剥离槽中对基板的处理数量达到70张后，即需要对剥离液进行更换。现有技术存在以下不足：1)、剥离液的处理时间和处理数量不能准确的反映剥离液中的实际光阻含量，如果在实际光阻含量较低时就提前更换剥离液，会造成剥离液的浪费，如果在实际光阻含量较高时才滞后更换剥离液，会影响光阻的剥离效果，进而影响产品品质。2)、更换剥离液时，需要停止对光阻剥离槽的供液，使剥离作业中断。技术实现要素：3.本实用新型的目的在于提出一种光阻剥离设备，其通过实时监控剥离液中的光阻浓度，可避免剥离液的浪费和保证光阻剥离效果，以及保证光阻剥离作业的持续性。4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：5.提供的一种光阻剥离设备，包括第一储液罐、第二储液罐、驱动泵、光阻检测器和光阻剥离槽，所述第一储液罐的出口和所述第二储液罐的出口均与所述驱动泵连接，所述驱动泵的出口与所述光阻剥离槽连通，所述光阻剥离槽的出口与所述第一储液罐的入口和所述第二储液罐的入口连通，所述第一储液罐、所述驱动泵和所述光阻剥离槽形成第一剥离液循环回路，所述第二储液罐、所述驱动泵和所述光阻剥离槽形成第二剥离液循环回路，所述光阻检测器设置于所述驱动泵与所述光阻检测器之间，所述光阻检测器用于检测剥离液中的光阻浓度。6.作为光阻剥离设备的一种优选方案，还包括过滤器，所述过滤器设置于所述第一储液罐和所述第二储液罐的出口与所述光阻检测器之间。7.作为光阻剥离设备的一种优选方案，还包括过渡管道，所述过渡管道的一端连接于所述驱动泵与所述过滤器之间，所述过渡管道的另一端连接于所述光阻检测器与所述光阻剥离槽之间，所述过渡管道上设置有阻断阀。8.作为光阻剥离设备的一种优选方案，所述过滤器为多个，多个所述过滤器依次连接，从靠近所述驱动泵的一端至靠近所述光阻检测器的一端，所述过滤器的目数依次增大。9.作为光阻剥离设备的一种优选方案，还包括控制器，所述第一储液罐的入口和出口分别设置有第一进液阀和第一出液阀，所述第二储液罐的入口和出口分别设置有第二进液阀和第二出液阀，所述第一进液阀、所述第一出液阀、所述第二进液阀和所述第二出液阀均与所述控制器电连接。10.作为光阻剥离设备的一种优选方案，所述第一储液罐和所述第二储液罐内设置有搅拌装置，所述搅拌装置用于搅拌所述剥离液。11.作为光阻剥离设备的一种优选方案，所述第一储液罐和所述第二储液罐上均设置有检测传感器，所述检测传感器用于检测所述剥离液的浓度。12.作为光阻剥离设备的一种优选方案，所述第一储液罐和所述第二储液罐的出口端安装有流量计。13.作为光阻剥离设备的一种优选方案，所述第一储液罐和所述第二储液罐设置有排液管，所述排液管上设置有排液阀门，所述排液阀门邻近于所述流量计。14.作为光阻剥离设备的一种优选方案，所述第一储液罐和所述第二储液罐均设置有指示灯，所述指示灯与所述流量计电连接。15.本实用新型相比于现有技术的有益效果：16.本实用新型的光阻剥离设备，通过设置光阻检测器对输入光阻剥离槽中的剥离液进行实时光阻浓度检测，以判定剥离液是否可循环使用，避免因过早更换剥离液而造成剥离液浪费，以及避免因过晚更换剥离液而影响剥离效果。同时，通过并联设置第一储液罐和第二储液罐，一个用于循环使用，一个用于更换新液，可避免因更换剥离液而造成剥离液输入中断，进而使得光阻剥离槽中的光阻剥离作业可连续进行，即保证整个光阻剥离工序的持续性。附图说明17.图1为一实施例的光阻剥离设备的示意图。18.图2为另一实施例的光阻剥离设备的示意图。19.图中：20.1、第一储液罐；11、第一进液阀；12、第一出液阀；13、搅拌装置；14、流量计；15、排液管；2、第二储液罐；21、第二进液阀；22、第二出液阀；3、驱动泵；4、光阻检测器；5、光阻剥离槽；6、过滤器；7、过渡管道。具体实施方式21.参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。22.以下，参照附图来详细描述本实用新型。23.实施例一24.参照图1所示，提供一种光阻剥离设备，用于对曝光后的玻璃基板进行光阻剥离，光阻分正向光阻和负向光阻，当光阻为正向光阻时，其照到光的部分会溶于剥离液(亦称显影液)；当光阻为负向光阻时，其照到光的部分不会溶于剥离液，而未照到光的部分会溶于剥离液。剥离液在光阻剥离设备中循环流动，剥离液冲洗玻璃基板实现光阻剥离，图中的箭头方向为剥离液的流动方向。光阻剥离设备包括第一储液罐1、第二储液罐2、驱动泵3、光阻检测器4、光阻剥离槽5、过滤器6和用于连接光阻剥离设备中各个部件的管道。其中，第一储液罐1和第二储液罐2用于储存剥离液，驱动泵3用于驱动剥离液流动，光阻检测器4用于检测剥离液中的光阻浓度，过滤器6用于对剥离液中的胶状物进行过滤，以便剥离液循环使用，光阻剥离槽5为玻璃基板的光阻剥离提供空间，剥离液通过喷头喷洒至玻璃基板表面。第一储液罐1的出口和第二储液罐2的出口通过管道与驱动泵3连接，驱动泵3的出口通过管道与过滤器6连接，过滤器6的出口通过管道与光阻检测器4连接，光阻检测器4的出口通过管道与光阻剥离槽5连接，光阻剥离槽5的出口通过管道分别与第一储液罐1和第二储液罐2连接。第一储液罐1的入口端和出口端分别设置有第一进液阀11和第一出液阀12，第二储液罐2的入口端和出口端分别设置有第二进液阀21和第二出液阀22，第一进液阀11、第一出液阀12、第二进液阀21和第二出液阀22均与光阻剥离设备的控制器电连接。通过控制器对第一进液阀11、第一出液阀12、第二进液阀21和第二出液阀22的开关控制，使得剥离液从第一储液罐1或者第二储液罐2中输出，以及使参与光阻剥离后的剥离液回到第一储液罐1或者第二储液罐2中。第一储液罐1、驱动泵3、过滤器6、光阻检测器4和光阻剥离槽5依次连通以形成第一剥离液循环回路，第二储液罐2、驱动泵3、过滤器6、光阻检测器4和光阻剥离槽5依次连通以形成第二剥离液循环回路。当第一进液阀11和第一出液阀12关闭，第二进液阀21和第二出液阀22打开时，第二剥离液循环回路进入工作状态并投入光阻剥离工序使用；当第一进液阀11和第一出液阀12打开，第二进液阀21和第二出液阀22关闭时，第一剥离液循环回路进入工作状态并投入光阻剥离工序使用。本实施例中，第一剥离液循环回路和第二剥离液循环回路交替使用，使用第一剥离液循环回路时，对第二储液罐2中的剥离液进行更换；使用第二剥离液循环回路时，对第一储液罐1中的剥离液进行更换。例如：使用第一剥离液循环回路进行光阻剥离作业，第二储液罐2中存量新液(未使用过的剥离液)。驱动泵3驱动第一储液罐1中的剥离液进入光阻剥离槽5并对玻璃基板进行光阻剥离，参与光阻剥离后的剥离液被收集后回到第一储液罐1中，第一储液罐1中的剥离液输入至过滤器6进行过滤处理，去除掉剥离液中的胶状物。然后剥离液进入光阻检测器4，光阻检测器4检测剥离液中的光阻浓度，以判定剥离液是否能够继续使用。当检测到光阻浓度低于设定值时，剥离液继续循环使用，通过第一剥离液循环回路进行光阻剥离作业；当检测到光阻浓度高于设定值时，剥离液不能继续循环使用，此时关闭第一剥离液循环回路并开启第二剥离液循环回路，使用第二储液罐2中的新液进行光阻剥离作业。同时，使用第二剥离液循环回路时，对第一储液罐1中的剥离液进行更换，实现两个剥离液循环回路的交替使用。25.本实施例中，通过设置光阻检测器4对输入光阻剥离槽5中的剥离液进行实时光阻浓度检测，以判定剥离液是否可循环使用，避免因过早更换剥离液而造成剥离液浪费，以及避免因过晚更换剥离液而影响剥离效果。同时，通过并联设置第一储液罐1和第二储液罐2，一个用于循环使用，一个用于更换新液，可避免因更换剥离液而造成剥离液输入中断，进而使得光阻剥离槽5中的光阻剥离作业可连续进行，即保证整个光阻剥离工序的连续性。26.另一实施例中，过滤器6设置在第一储液罐1和第二储液罐2的出口与驱动泵3之间。在剥离液进入驱动泵3之前对剥离液进行过滤处理，有利于避免剥离液中的胶状物粘附在驱动泵3内部。27.具体地，过滤器6为多个，多个过滤器6沿剥离液的流动方向依次连接。多个过滤器6中，从靠近驱动泵3的一端至靠近光阻检测器4的一端，过滤器6的目数依次增大。过滤器6通过内部的滤网对剥离液中的胶状物进行阻挡，滤网的目数体现了网眼的数量，目数越大，则网眼越小，能够阻挡尺寸较小的胶状物；目数越小，则网眼越大，能够阻挡尺寸较大的胶状物。作为优选方案，过滤器为三个，分别为第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，第一过滤器的滤网目数为60～80，第二过滤器的滤网目数为110～180，第三过滤器的滤网目数为430～500。该结构使得尺寸较大的胶状物在第一过滤器处被遮挡，尺寸较小的胶状物在第三过滤器处被遮挡，避免胶状物集中沉积在一个过滤器6中，延长过滤器6的使用时间。28.具体地，第一储液罐1和第二储液罐2内设置有搅拌装置13，搅拌装置13用于搅拌剥离液。可以理解的是，通过搅拌装置13对剥离液进行搅拌，可使剥离液中的各种成分均匀溶入剥离液中，使得光阻检测器4对剥离液中的光阻浓度的检测结果能够反映出储液罐中的光阻浓度值，进而提高检测结果的准确性。29.具体地，第一储液罐1和第二储液罐2上均设置有检测传感器，检测传感器用于检测剥离液的浓度。通过检测剥离液溶液的浓度，监控剥离液中的有效成分含量，以评估剥离液是否需要更换。30.具体地，第一储液罐1和第二储液罐2的出口端安装有流量计14。流量计14用于检测第一储液罐1和第二储液罐2的出口端的剥离液流出速度。由于第一剥离液循环回路和第二剥离液循环回路交替使用，则两个流量计14中，只有一个流量计14会显示剥离液速度，另一个流量计14不会显示。因此，通过设置流量计14方便操作人员在更换剥离液时对储液罐进行辨认。第一储液罐1和第二储液罐2还设置有排液管15，更换剥离液时，第一储液罐1和第二储液罐2通过对应的排液管15进行排液。排液管15上设置有排液阀门，排液阀门位于临近于流量计14的位置。该结构有利于操作人员在操作排液阀门时能够观察到流量计14，避免误操作。为便于更换剥离液时对储液罐的辨别，第一储液罐1和第二储液罐2均设置有指示灯，指示灯与流量计14电连接。流量计14的流量数据通过控制器处理并发送信号给指示灯，通过指示灯的亮起或闪烁告知操作人员对应的储液罐需要更换剥离液。31.实施例二32.参照图2所示，本实施例的光阻剥离设备还包括过渡管道7，过渡管道7的一端连接于驱动泵3与过滤器6之间，过渡管道7的另一端连接于光阻检测器4于光阻剥离槽5之间，过渡管道7上设置有阻断阀，阻断阀与控制器电连接。可以理解的是，当光阻检测器4检测到剥离液中的光阻浓度超过设定值时，需要将第一剥离液循环回路与第二剥离液循环回路进行交替。交替后的一定时间内，以及从储液管中流出的光阻浓度较高的剥离液依然会进入光阻剥离槽5。通过设置过渡管道7可使新液通过过渡管道7进入管道并与光阻浓度较高的剥离液混合后进入光阻剥离槽5，保证光阻剥离效果。由于新液中无胶状物，因此新液不用经过过滤器6以及光阻检测器4。例如，第一剥离液循环回路在使用中，第二储液罐2中为新液。当光阻检测器4检测到光阻浓度超过设定值时，第一出液阀12关闭，第二出液阀22和阻断阀打开，新液从过渡管道7进入，并于已经在过滤器6和光阻检测器4中的剥离液混合后进入光阻剥离槽5。阻断阀开启一定时间后关闭，通过第二剥离液循环回路对玻璃基板进行光阻剥离处理。33.本实施例的技术效果为：通过设置光阻检测器4对输入光阻剥离槽5中的剥离液进行实时光阻浓度检测，以判定剥离液是否可循环使用，避免因过早更换剥离液而造成剥离液浪费，以及避免因过晚更换剥离液而影响剥离效果。同时，通过并联设置第一储液罐1和第二储液罐2，一个用于循环使用，一个用于更换新液，可避免因更换剥离液而造成剥离液输入中断，进而使得光阻剥离槽5中的光阻剥离作业可连续进行，即保证整个光阻剥离工序的持续性。34.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。









图片声明：本站部分配图来自人工智能系统AI生成,觅知网授权图片,PxHere摄影无版权图库。本站只作为美观性配图使用,无任何非法侵犯第三方意图,一切解释权归图片著作权方,本站不承担任何责任。如有恶意碰瓷者,必当奉陪到底严惩不贷!




内容声明：本文中引用的各种信息及资料（包括但不限于文字、数据、图表及超链接等）均来源于该信息及资料的相关主体（包括但不限于公司、媒体、协会等机构）的官方网站或公开发表的信息。部分内容参考包括:(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供参考使用,不准确地方联系删除处理！本站为非盈利性质站点,发布内容不收取任何费用也不接任何广告!




免责声明：我们致力于保护作者版权，注重分享，被刊用文章因无法核实真实出处，未能及时与作者取得联系，或有版权异议的，请联系管理员，我们会立即处理，本文部分文字与图片资源来自于网络，部分文章是来自自研大数据AI进行生成,内容摘自(百度百科,百度知道,头条百科,中国民法典,刑法,牛津词典,新华词典,汉语词典,国家院校,科普平台)等数据,内容仅供学习参考,不准确地方联系删除处理!的,若有来源标注错误或侵犯了您的合法权益，请立即通知我们，情况属实，我们会第一时间予以删除，并同时向您表示歉意,谢谢!