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电极固定模块及喷头的制作方法 专利技术说明

作者:admin      2022-11-29 22:15:46     826



电气元件制品的制造及其应用技术1.本实用新型涉及电极冷却技术领域,尤其是涉及一种电极固定块及喷头。背景技术:2.相关技术中,电极在工作时产生高温,电极固定模块长时间处于高温环境中,容易对电极等产生损坏,从而使得设备产生故障。技术实现要素:3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种电极固定模块,所述电极固定模块可以实现对电极固定模块的散热,并且可以实现对电极的散热,避免电极固定模块处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性。4.根据本实用新型实施例的电极固定模块,包括:第一固定块和第二固定块,所述第一固定块和所述第二固定块沿所述电极固定模块的厚度方向层叠设置且连接,所述电极固定模块具有用于固定所述电极的第一通孔,所述第一通孔在所述电极固定模块的厚度方向上贯穿所述第一固定块和所述第二固定块,所述第一固定块和所述第二固定块之间限定出冷却流道,所述冷却流道的至少部分环绕所述第一通孔,所述第一固定块上具有与所述冷却流道连通的进口和出口。5.根据本实用新型实施例的电极固定模块,通过将电极固定模块设置为在电极固定模块厚度方向上层叠设置且连接的第一固定块和第二固定块,并在第一固定块和第二固定块之间设置冷却流道,冷却流道的至少部分环绕贯穿第一固定块和第二固定块的第一通孔,并在第一固定块上设置与冷却流道连通的进口和出口,可以通过进口向冷却流道内注入冷却介质,并从出口排出,通过冷却介质在冷却流道内的循环,实现对电极固定模块的散热,并且可以实现对电极的散热,避免电极固定模块处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性。6.根据本实用新型的一些实施例,所述电极固定模块还具有在所述电极固定模块厚度方向上贯穿所述第一固定块和所述第二固定块的第二通孔,所述第二通孔用于走线,所述冷却流道的至少部分环绕所述第二通孔。由此可以通过冷却流道内流动冷却介质实现对走线的冷却,避免走线长期使用导致氧化或绝缘层老化,保证走线工作的可靠性。7.在本实用新型的一些实施例中,所述冷却流道包括第一冷却流道和第二冷却流道,所述第一冷却流道形成为环形,所述第二冷却流道设于所述第一冷却流道内且两端分别与所述第一冷却流道连通,所述第一通孔和所述第二通孔均设于所述第一冷却流道内侧且分别位于所述第二冷却流道的两侧;或所述冷却流道包括第一冷却流道和第二冷却流道,所述第一冷却流道环绕所述第一通孔,所述第二冷却流道环绕所述第二通孔,所述第一冷却流道和所述第二冷却流道连通。8.由此可以通过冷却流道更好地对电极固定模块进行散热,同时可以对第一通孔和第二通孔周围环境进行冷却,提高对第一通孔内的电极和第二通孔内的走线的冷却效果,避免电极固定模块处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性,以及避免走线长期使用导致氧化或绝缘层老化,保证走线工作的可靠性。9.在本实用新型的一些实施例中,所述第二通孔包括间隔开且分别在所述电极固定模块的厚度方向上贯穿所述电极固定模块的第一子通孔和第二子通孔。由此可以使得走线在第一子通孔和第二子通孔两个孔内进行走线,使得正极线和负极线分开,避免正极线和负极线相互影响,保证走线工作的可靠性。10.在本实用新型的一些实施例中,所述冷却流道包括第三冷却流道,所述第三冷却流道位于所述第一子通孔和所述第二子通孔之间。由此可以通过第三冷却流道更好地对电极固定模块进行散热,同时可以增加第一子通孔和第二子通孔周围的冷却流道,提高对第一子通孔和第二子通孔内的走线的冷却效果,避免走线长期使用导致氧化或绝缘层老化,保证走线工作的可靠性。11.根据本实用新型的一些实施例,所述第一固定块的朝向所述第二固定块的表面具有冷却槽,所述冷却槽与所述第二固定块朝向所述第一固定块的表面共同限定出所述冷却流道;或所述第二固定块的朝向所述第一固定块的表面具有冷却槽,所述冷却槽与所述第一固定块朝向所述第二固定块的表面共同限定出所述冷却流道;或,所述第一固定块的朝向所述第二固定块的表面具有第一冷却槽,所述第二固定块的朝向所述第一固定块的表面具有第二冷却槽,所述第一冷却槽和所述第二冷却槽相对以共同限定出所述冷却流道。由此,便于冷却流道的开设,便于冷却流道的加工。12.根据本实用新型的一些实施例,所述第一固定块和所述第二固定块之间位于所述冷却流道两侧的区域设有密封胶。由此,在第一固定块和第二固定块连接之后,可以实现冷却流道的密封,保证冷却效果,并且可以避免冷却介质从冷却流道内泄漏。13.根据本实用新型的一些实施例,所述第一固定块和所述第二固定块通过紧固件连接。由此可以使得连接方式简单可靠。14.根据本实用新型的一些实施例,所述第二固定块的远离所述第一固定块的一侧设有用于安装所述电极固定模块的安装凸起。安装凸起可以与喷头的外壳进行装配,实现电极固定模块的固定。15.根据本实用新型实施例的喷头,包括上述的电极固定模块。16.根据本实用新型实施例的喷头,通过设置上述电极固定模块,将电极固定模块设置为在电极固定模块厚度方向上层叠设置且连接的第一固定块和第二固定块,并在第一固定块和第二固定块之间设置冷却流道,冷却流道包括第一冷却流道,第一冷却流道环绕贯穿第一固定块和第二固定块的第一通孔,并在第一固定块上设置与第一冷却流道连通的进口和出口,可以通过进口向冷却流道内注入冷却介质,并从出口排出,通过冷却介质在冷却流道内的循环,实现对电极固定模块的散热,并且可以实现对电极的散热,避免电极固定模块处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性。17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。附图说明18.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:19.图1是根据本实用新型实施例的电极固定模块的立体图;20.图2是根据本实用新型实施例的电极固定模块的第一固定块的立体图;21.图3是根据本实用新型实施例的电极固定模块的第一固定块的另一角度的立体图;22.图4是根据本实用新型实施例的电极固定模块的第二固定块的立体图;23.图5是根据本实用新型实施例的电极固定模块的第二固定块的另一角度的立体图;24.图6是根据本实用新型实施例的电极固定模块的主视图;25.图7是沿图6中a-a线的剖视图;26.图8是沿图6中b-b线的剖视图;27.图9是沿图6中c-c线的剖视图。28.附图标记:29.100、电极固定模块;30.1、第一固定块;11、第一冷却槽;111、第一槽;112、第二槽;12、进口;13、出口;31.2、第二固定块;21、第二冷却槽;211、第三槽;212、第四槽;22、安装凸起;32.3、第一通孔;31、第一孔;32、第二孔;33.4、第二通孔;41、第一子通孔;411、第一子孔;412、第三子孔;42、第二子通孔; 421、第二子孔;422、第四子孔;34.5、冷却流道;51、第一冷却流道;52、第二冷却流道。具体实施方式35.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。36.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。37.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。38.下面参考图1-图9描述根据本实用新型实施例的电极固定模块100。39.如图1所示,根据本实用新型实施例的电极固定模块100包括第一固定块1和第二固定块2。40.具体而言,第一固定块1和第二固定块2沿电极固定模块100的厚度方向(如图1 所示的厚度方向)层叠设置且连接,电极固定模块100具有用于固定电极的第一通孔3,第一通孔3在电极固定模块100的厚度方向上贯穿第一固定块1和第二固定块2。可以理解的是,如图6和图8所示,第一通孔3可以包括位于所述第一固定块1上的第一孔31和位于所述第二固定块2上的第二孔32,第一孔31和第二孔32靠近彼此的一端连通,电极可以穿设在第一孔31和第二孔32内。41.如图6-图9所示,第一固定块1和第二固定块2之间限定出冷却流道5,冷却流道 5的至少部分环绕第一通孔3,结合图2和图3,第一固定块1上具有与冷却流道5连通的进口12和出口13。如图8所示,冷却流道5和第一通孔3间隔开,当然,冷却流道 5还可以与第一通孔3处于连通状态,冷却流道5可以用于冷却介质(可以为气体或液体)流动,冷却介质可以从进口12进入冷却流道5内,并从出口13流出,在冷却介质在冷却流道5内循环流动时,可以带走电极固定模块100上的热量,实现电极固定模块 100的散热,从而可以对第一通孔3内的电极进行散热,避免电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性。另外,由于冷却流道5的至少部分环绕第一通孔3设置,冷却流道 5内的冷却介质可以更好地对第一通孔3周围的电极固定模块100进行散热,从而对第一通孔3内的电极进行冷却,避免电极固定模块100处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性。42.其中,当冷却介质为气体时,冷却气体可以为分流设备工作时使用的压缩气对电极固定模块100进行降温保护,可以使得电极固定模块100的工作温度稳定在80℃以内。43.另外,在本技术中,将电极固定模块100设为相互连接的第一固定块1和第二固定块2,便于在电极固定模块100内部即第一固定块1和第二固定块2之间设置冷却流道 5,便于实现对电极固定模块100进行散热以及对第一通孔3内的电极进行散热。44.根据本实用新型实施例的电极固定模块100,通过将电极固定模块100设置为在电极固定模块100厚度方向上层叠设置且连接的第一固定块1和第二固定块2,并在第一固定块1和第二固定块2之间设置冷却流道5,冷却流道5的至少部分环绕贯穿第一固定块1和第二固定块2的第一通孔3,并在第一固定块1上设置与冷却流道5连通的进口12和出口13,可以通过进口12向冷却流道5内注入冷却介质,并从出口13排出,通过冷却介质在冷却流道5内的循环,实现对电极固定模块100的散热,并且可以实现对电极的散热,避免电极固定模块100处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性。45.在本实用新型的一些实施例中,如图1和图6所示,电极固定模块100还具有在电极固定模块100厚度方向上贯穿第一固定块1和第二固定块2的第二通孔4。可以理解的是,第二通孔4可以包括位于所述第一固定块1上的第三孔和位于所述第二固定块2 上的第四孔,第三孔和第四孔靠近彼此的一端连通。第二通孔4用于走线,由此便于走线例如电源线等通过第二通孔4从电极固定模块100的一侧伸入至另一侧。冷却流道5 的至少部分环绕第二通孔4,其中,冷却流道5和第二通孔4间隔开,当然,冷却流道5还可以与第二通孔4处于连通状态。可以理解的是,冷却流道5环绕第一通孔3和第二通孔4设置,第一通孔3和第二通孔4均位于冷却流道5内侧。由此可以通过冷却流道5内流动冷却介质实现对走线的冷却,避免走线长期使用导致氧化或绝缘层老化,保证走线工作的可靠性。其中,如图1所示,第一通孔3和第二通孔4间隔设置,当然,第一通孔3和第二通孔4还可以紧靠设置。46.在本发明的一些实施例中,如图7-图9所示,并参考图3和图5冷却流道5包括第一冷却流道51和第二冷却流道52,第一冷却流道51形成为环形,第二冷却流道52设于第一冷却流道51内侧且两端分别与第一冷却流道51连通,第一通孔3和第二通孔4 均设于第一冷却流道51内侧且分别位于第二冷却流道52的两侧,第一通孔3和第二通孔4均与第一冷却流道51和第二冷却流道52间隔开。可以理解的是,第一冷却流道51 形成为环形,第二冷却流道52形成为长条形、曲线型或折线形等,第二冷却流道52位于第一冷却流道51的环形内侧,第二冷却流道52长度方向的两端分别与第一冷却流道 51的不同位置连通,第二冷却流道52设于第一通孔3和第二通孔4之间,第一通孔3 和第二通孔4分别位于第二冷却流道52的两侧。由此可以通过第一冷却流道51和第二冷却流道52更好地对电极固定模块100进行散热,同时可以对第一通孔3和第二通孔4 周围环境进行冷却,提高对第一通孔3内的电极和第二通孔4内的走线的冷却效果,避免电极固定模块100处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性,以及避免走线长期使用导致氧化或绝缘层老化,保证走线工作的可靠性。47.在本实用新型的另一些实施例中,冷却流道5包括第一冷却流道51和第二冷却流道 52,第一冷却流道51环绕第一通孔3,第二冷却流道52环绕第二通孔4,第一冷却流道51和第二冷却流道52连通。由此可以通过第一冷却流道51和第二冷却流道52更好地对电极固定模块100进行散热,同时可以对第一通孔3和第二通孔4周围环境进行冷却,提高对第一通孔3内的电极和第二通孔4内的走线的冷却效果,避免电极固定模块 100处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性,以及避免走线长期使用导致氧化或绝缘层老化,保证走线工作的可靠性。48.更进一步地,如图1和图6所示,第二通孔4包括间隔开且分别在电极固定模块100 的厚度方向上贯穿电极固定模块100的第一子通孔41和第二子通孔42。可以理解的是,参考图3,第三孔包括间隔开的第一子孔411和第二子孔421,第一子孔411和第二子孔421均在第一固定块1的厚度方向上贯穿第一固定块1,参考图5,第四孔包括间隔开的第三子孔412和第四子孔422,第三子孔412和第四子孔422均在第二固定块2的厚度方向上贯穿第二固定块2,如图7所示,第一子孔411和第三子孔412靠近彼此的一端连通以构造成第一子通孔41,如图9所示,第二子孔421和第四子孔422靠近彼此的一端连通以构造成第二子通孔42。由此可以使得走线在第一子通孔41和第二子通孔 42两个孔内进行走线,使得正极线和负极线分开,避免正极线和负极线相互影响,保证走线工作的可靠性。49.再进一步地,冷却流道5包括第三冷却流道(图未示出),第三冷却流道位于第一子通孔41和第二子通孔42之间。在冷却流道5还包括第一冷却流道51和第二冷却流道52,第一冷却流道51形成为环形,第二冷却流道52设于第一冷却流道51内侧且两端分别与第一冷却流道51连通,第一通孔3和第二通孔4均设于第一冷却流道51内侧且分别位于第二冷却流道52的两侧时,第三冷却流道设于第一冷却流道51的朝向第二通孔4的一侧,且位于第一冷却流道51内侧,第三冷却流道的一端与第二冷却流道52 连通,另一端与第一冷却流道51连通。可以理解的是,第三冷却流道形成为长条形、曲线型或折线形等,第三冷却流道位于第一冷却流道51的环形内侧,且位于第二冷却流道52的朝向第二通孔4的一侧,第三冷却流道长度方向的两端分别与第一冷却流道 51连通和第二冷却流道52连通,第一通孔3和第二通孔4分别位于第二冷却流道52 的两侧,第一子通孔41和第二子通孔42均位于第二冷却流道52的同一侧且位于第三冷却流道的两侧。由此可以通过第三冷却流道更好地对电极固定模块100进行散热,同时可以对第一子通孔41和第二子通孔42周围环境进行冷却,提高对第一子通孔41和第二子通孔42内的走线的冷却效果,避免走线长期使用导致氧化或绝缘层老化,保证走线工作的可靠性。50.在本实用新型的一些实施例中,第一固定块1的朝向第二固定块2的表面具有冷却槽,冷却槽与第二固定块2朝向第一固定块1的表面共同限定出冷却流道5,可以理解的是,第二固定块2朝向第一固定块1的表面可以为平面,仅仅在第一固定块1的朝向第二固定块2的表面上开槽。51.在本实用新型的另一些实施例中,第二固定块2的朝向第一固定块1的表面具有冷却槽,冷却槽与第一固定块1朝向第二固定块2的表面共同限定出冷却流道5,可以理解的是,第一固定块1朝向第二固定块2的表面可以为平面,仅仅在第二固定块2的朝向第一固定块1的表面上开槽。52.在本实用新型的又一些实施例中,如图3和图5所示,第一固定块1的朝向第二固定块2的表面具有第一冷却槽11,第二固定块2的朝向第一固定块1的表面具有第二冷却槽21,第一冷却槽11和第二冷却槽21相对以共同限定出冷却流道5。可以理解的是,在第一固定块1的朝向第二固定块2的表面和第二固定块2的朝向第一固定块1的表面上均开设凹槽,通过第一固定块1和第二固定块2上的凹槽共同限定冷却流道5。53.进一步地,如图3所示,第一冷却槽11包括组成第一冷却流道51的第一槽111和组成第二冷却流道52的第二槽112,第一槽111和第二槽112连通,如图5所示,第二冷却槽21包括组成第一冷却流道51的第三槽211和组成第二冷却流道52的第四槽212,第三槽211和第四槽212连通。54.上述三种冷却流道5的设置均便于冷却流道5的开设,便于冷却流道5的加工。55.在本实用新型的一些实施例中,第一固定块1和第二固定块2之间位于冷却流道5 两侧的区域设有密封胶。由此,在第一固定块1和第二固定块2连接之后,可以实现冷却流道5的密封,保证冷却效果,并且可以避免冷却介质从冷却流道5内泄漏。56.当然,本实用新型不限于此,第一固定块1和第二固定块2之间位于冷却流道5两侧的区域还可以设有密封圈。57.在本实用新型的一些实施例中,第一固定块1和第二固定块2通过紧固件连接,例如第一固定块1和第二固定块2上设有固定孔,紧固件穿设在第一固定块1上的固定孔和第二固定块2上的固定孔内,从而实现第一固定块1和第二固定块2之间的连接,且连接方式简单可靠。58.如图4所示,在本实用新型的一些实施例中,第二固定块2的远离第一固定块1的一侧设有用于安装电极固定模块100的安装凸起22,安装凸起22可以与喷头的外壳进行装配,实现电极固定模块100的固定。其中可以理解的是,第一通孔3、第二通孔4 (包括第一子通孔41和第二子通孔42)均贯穿安装凸起22。59.可选地,如图2和图5所示,第一固定块1和第二固定块2的在垂直于电极固定模块100厚度方向的横截面的形状为矩形(包括正方形),安装凸起22的在垂直于电极固定模块100厚度方向的横截面的形状为圆形。60.可选地,电极为等离子电极。61.下面描述根据本实用新型实施例的喷头。62.根据本实用新型实施例的喷头,包括上述的电极固定模块100。63.根据本实用新型实施例的喷头,通过设置上述电极固定模块100,将电极固定模块 100设置为在电极固定模块100厚度方向上层叠设置且连接的第一固定块1和第二固定块2,并在第一固定块1和第二固定块2之间设置冷却流道5,冷却流道5的至少部分环绕贯穿第一固定块1和第二固定块2的第一通孔3,并在第一固定块1上设置与冷却流道5连通的进口12和出口13,可以通过进口12向冷却流道5内注入冷却介质,并从出口13排出,通过冷却介质在冷却流道5内的循环,实现对电极固定模块100的散热,并且可以实现对电极的散热,避免电极固定模块100处的电极长期受热损坏,保证电极工作的可靠性。64.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。65.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。









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