一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置的制作方法 专利技术说明

金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术1.本实用新型涉及技术镀膜装置领域，具体为一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置。背景技术：2.多功能玻璃磁控溅射镀膜装置是一种对多功能玻璃通过磁控溅射的形式进行镀膜的装置，磁控溅射镀膜机用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系，可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体等，主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层，现有的多功能玻璃磁控溅射镀膜装置在使用过程中发现一些问题：3.1.多功能玻璃磁控溅射镀膜装置在使用过程中容易产生大量的热量，热量对于多功能玻璃的镀膜过程影响非常大，因此对于镀膜装置的热量排除显得极为重要，现有的多功能玻璃磁控溅射镀膜装置的散热效果较差，它仅利用镀膜机本身的散热孔进行散热，散热效果有待提高；4.2.多功能玻璃磁控溅射镀膜装置在使用过程中一般采用散热孔进行散热，其散热装置位置不能进行调整，散热效果不能根据需求进行调整。5.所以我们提出了一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置，以便于解决上述中提出的问题。技术实现要素：6.本实用新型的目的在于提供一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置，以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的多功能玻璃磁控溅射镀膜装置的散热效果较差以及现有的多功能玻璃磁控溅射镀膜装置的散热装置位置不能进行调整问题。7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置，包括镀膜机和壳体，所述镀膜机外侧设有壳体，所述壳体内部底面中间安装有双轴电机，且壳体内底面两侧安装有轴承座，而且壳体内设有固定框，同时壳体两侧设有散热板，并且壳体顶部上表面中间安装有散热风机，所述散热风机左侧处安装有冷水箱，所述冷水箱左侧处设有水泵，所述水泵连接有出水管，所述出水管连接有换热管，所述换热管连接有回流水管；8.所述轴承座上设有传动杆，所述传动杆一端通过斜齿轮啮合连接有丝杆，所述丝杆两端各三分之一处设有光圆杆，且丝杆外设有滑块，所述滑块上连接有连接杆，所述连接杆连接有吸风机。9.优选的，所述换热管呈蛇形弯曲状，且换热管与出水管和回流水管接口处采用密封胶封闭。10.换热管呈蛇形弯曲状提高换热管与空气的接触面积，提高本装置的降热效果。11.优选的，所述丝杆采用往复丝杆结构，且丝杆通过内外丝牙与滑块连接。12.丝杆采用往复丝杆结构使得本装置的吸风机在进行移动时避免发生碰撞造成损坏。13.优选的，所述吸风机采用三组分布于丝杆上的滑块上，且吸风机风力输送方向为由镀膜机内部至镀膜机外侧。14.吸风机采用三组分布于丝杆上的滑块上提高了本装置的散热能力。15.优选的，所述固定框一侧中间处设有长槽，且固定框表面长槽宽度略大于连接杆的宽度。16.固定框一侧中间处设有长槽使得连接杆能够在固定框上进行移动。17.优选的，所述散热板采用百叶结构，且散热板外表面涂有一层防水涂料。18.散热板采用百叶结构提高本装置的散热效果。19.优选的，所述连接杆通过焊接连接在滑块上，同时连接杆表面涂有一层防腐蚀涂层。20.连接杆通过焊接连接在滑块上提高了连接杆与滑块连接的稳定性。21.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：22.1.该多功能玻璃磁控溅射镀膜装置设置有冷水箱与水泵使得本装置能够通过换热管内的冷水循环对散热风机产生的风进行降温，使得散热风机产生的风的热量通过换热管带走，冷风对镀膜机进行降温，提高降温效果；23.2.本多功能玻璃磁控溅射镀膜装置设置的双轴电机与丝杆以及吸风机使得本装置能够通过双轴电机对吸风机的位置进行调整，使得能够根据不同位置的散热需求对散热装置进行调整。附图说明24.图1为本实用新型主视剖视结构示意图；25.图2为本实用新型a处局部结构示意图；26.图3为本实用新型换热管俯视结构示意图；27.图4为本实用新型固定框主视剖视结构示意图；28.图5为本实用新型主视结构示意图。29.图中：1、镀膜机；2、双轴电机；3、轴承座；4、传动杆；5、斜齿轮；6、光圆杆；7、丝杆；8、吸风机；9、出水管；10、水泵；11、冷水箱；12、散热风机；13、回流水管；14、换热管；15、固定框；16、连接杆；17、滑块；18、散热板；19、壳体。具体实施方式30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。31.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置，包括镀膜机1、双轴电机2、轴承座3、传动杆4、斜齿轮5、光圆杆6、丝杆7、吸风机8、出水管9、水泵10、冷水箱11、散热风机12、回流水管13、换热管14、固定框15、连接杆16、滑块17、散热板18和壳体19，镀膜机1外侧设有壳体19，壳体19内部底面中间安装有双轴电机2，且壳体19内底面两侧安装有轴承座3，而且壳体19内设有固定框15，同时壳体19两侧设有散热板18，并且壳体19顶部上表面中间安装有散热风机12，散热板18采用百叶结构，且散热板18外表面涂有一层防水涂料，散热板18外表面涂有一层防水涂料提高了散热板18的防水性，散热风机12左侧处安装有冷水箱11，固定框15一侧中间处设有长槽，且固定框15表面长槽宽度略大于连接杆16的宽度，冷水箱11左侧处设有水泵10，水泵10连接有出水管9，出水管9连接有换热管14，换热管14连接有回流水管13，换热管14呈蛇形弯曲状，且换热管14与出水管9和回流水管13接口处采用密封胶封闭，换热管14与出水管9和回流水管13接口处采用密封胶封闭提高了换热管14与出水管9和回流水管13接口处的密闭性；32.轴承座3上设有传动杆4，传动杆4一端通过斜齿轮5啮合连接有丝杆7，丝杆7两端各三分之一处设有光圆杆6，且丝杆7外设有滑块17，丝杆7采用往复丝杆结构，且丝杆7通过内外丝牙与滑块17连接，丝杆7通过内外丝牙与滑块17连接使得滑块17能够在丝杆7上进行滑动，滑块17上连接有连接杆16，连接杆16连接有吸风机8，吸风机8采用三组分布于丝杆7上的滑块17上，且吸风机8风力输送方向为由镀膜机1内部至镀膜机1外侧，吸风机8风力输送方向为由镀膜机1内部至镀膜机1外侧使得吸风机8能够将镀膜机1内的热量抽出进行散热，连接杆16通过焊接连接在滑块17上，同时连接杆16表面涂有一层防腐蚀涂层，连接杆16表面涂有一层防腐蚀涂层避免了连接杆16发生腐蚀，提高了连接杆16的使用寿命。33.工作原理：在使用该多功能玻璃磁控溅射镀膜装置时，首先将本装置放置于平坦的地面上，然后将多功能玻璃放于镀膜机1内，然后启动镀膜机1进行镀膜，在镀膜机1的使用过程中产生大量的热量，启动水泵10和散热风机12，水泵10将冷水箱11内的冷水抽取至换热管14内，然后通过回流水管13回到冷水箱11内，散热风机12产生风力通过换热管14时对风进行降温，产生的冷风对镀膜机1进行散热，当需要对散热位置进行调整时，启动双轴电机2，双轴电机2带动两侧的传动杆4进行旋转，传动杆4带动斜齿轮5进行旋转，斜齿轮5带动丝杆7进行旋转，从而带动滑块17在丝杆7上进行上下滑动，最后使得吸风机8进行上下往复运动，当运动至所需位置时，停止双轴电机2，吸风机8将镀膜机1产生的热量抽吸出去，提高本装置的散热效果。34.本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。35.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。









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