定位治具的制作方法 专利技术说明

环保节能,再生,污水处理设备的制造及其应用技术1.本技术属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种定位治具。背景技术：2.在半导体晶圆制造过程中需要使用卡盘抓取晶圆来进行晶圆清洗等工作。卡盘包括卡盘本体和插在卡盘本体上的定位销，卡盘通过调节各定位销之间的距离来抓取晶圆。3.目前，在卡盘首次使用以及卡盘质检或维修时，需要人工在卡盘上安装定位销及确定定位销安装状态，随机性较大，定位销安装质量有待提升。技术实现要素：4.本技术实施例提供一种定位治具，用于辅助安装卡盘上的定位销，能够提高定位销的安装质量。5.本技术实施例提供一种定位治具，用于辅助安装卡盘上的定位销，定位治具包括：本体，包括沿第一方向相对设置的第一表面和第二表面，以及连接于第一表面和第二表面之间的第三表面、及贯穿第一表面并沿第一方向延伸的定位孔，定位孔用于容纳至少部分定位销，多个定位孔沿圆形轨迹均匀间隔分布；让位部，由部分第三表面朝向本体内凹陷而成，在第一方向上，让位部贯穿于第一表面和第二表面；支撑部，连接于第二表面，并由第二表面沿第一方向延伸设置，支撑部用于支撑本体。6.根据本技术第一方面的实施方式，定位孔贯穿第一表面和第二表面设置。7.根据本技术第一方面的实施方式，本体上设置有沿圆形轨迹径向方向延伸并由第一表面沿第一方向凹陷设置的第一指示槽，沿圆形轨迹的径向方向，第一指示槽和定位孔在一条直线上，第一指示槽用于指示定位孔位置。8.根据本技术第一方面的实施方式，本体上还设置有沿第一方向延伸并由第三表面朝向定位孔凹陷设置的第二指示槽，第二指示槽和第一指示槽连接。9.根据本技术第一方面的实施方式，2个让位部沿圆形轨迹的圆心对称排布。10.根据本技术第一方面的实施方式，至少部分让位部与本体的连接面为弧面。11.根据本技术第一方面的实施方式，两个以上的支撑部关于圆形轨迹的圆心对称设置。12.根据本技术第一方面的实施方式，支撑部包括：延伸部，沿第二方向延伸设置，第二方向和第一方向相交；凸出部，设置在延伸部在第二方向上的两端，凸出部从延伸部朝向第二表面凸出设置，凸出部和第二表面固定连接。13.根据本技术第一方面的实施方式，延伸部背离第二表面的一侧表面为平面。14.本技术实施例的定位治具用于辅助安装卡盘上的定位销，定位治具包括本体，本体包括沿第一方向相对设置的第一表面和第二表面，定位孔贯穿第一表面并沿第一方向延伸，定位孔用于容纳至少部分定位销，多个定位孔沿圆形轨迹均匀间隔分布，沿固定的圆形轨迹均匀间隔分布的定位孔降低了各定位销安装角度的差异，提高定位销的安装质量和安装效率。15.本技术实施例提供的定位治具还包括由部分第三表面朝向本体内凹陷而成的让位部，让位部贯穿于第一表面和第二表面，让位部的设置可以让用户方便的在定位治具上取放卡盘，提高了定位治具的实用性。16.本技术实施例提供的定位治具还包括连接于第二表面，并由第二表面沿第一方向延伸设置的支撑部，支撑部可用于支撑本体，支撑部在第一方向上撑起定位治具的本体，方便用户取放定位治具，提高了定位治具的实用性。附图说明17.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。18.图1为现有技术中卡盘爆炸图；19.图2为现有技术中定位销正视图；20.图3为本技术一实施例的定位治具的结构示意图；21.图4为本技术一实施例的定位治具的俯视图；22.图5为本技术一实施例的定位治具的底部视图；23.图6为本技术一实施例的定位治具的侧视图；24.图7为本技术一实施例的定位治具的支撑部的正视图。25.附图标记：26.1卡盘；10卡盘本体；11定位销；111第一段；112第二段；113第三段；27.2定位治具；21本体；211第一表面；212第二表面；213第三表面；22定位孔；23让位部；24支撑部；25第一指示槽；26第二指示槽；241延伸部；242凸出部。具体实施方式28.下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本技术进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本技术，而不是限定本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术更好的理解。29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。30.申请人发现在现有技术中，在晶圆制备过程中部分工序需要使用卡盘抓取晶圆来进行一系列的操作。卡盘包括卡盘本体和插接于卡盘本体上的定位销，卡盘通过调节各定位销之间的距离来抓取晶圆。目前，在卡盘首次使用以及卡盘质检或维修时，需要人工在卡盘上安装定位销及确定定位销安装状态，随机性较大，导致定位销安装质量差，使卡盘不能进行正常的抓取操作。31.为了提高定位销的安装质量，申请人研究发现，定位销安装质量差的原因在于，人工安装定位销时完全凭手感和经验安装，定位销的安装角度容易出现偏差，导致卡盘抓取不良。32.鉴于上述问题，申请人提供了一种定位治具，用于辅助安装卡盘上的定位销，定位治具包括本体，本体包括沿第一方向相对设置的第一表面和第二表面，以及连接于第一表面和第二表面之间的第三表面、及贯穿第一表面并沿第一方向延伸的定位孔，定位孔用于容纳定位销，多个定位孔沿圆形轨迹均匀间隔分布，沿固定的圆形轨迹均匀间隔分布的定位孔降低了各定位销安装角度的差异，有效的提高了定位销的安装质量和安装效率。33.请参阅图1和图2，图1为现有技术中的卡盘1爆炸图，图2为现有技术中卡盘1的定位销11正视图。34.如图1所示，卡盘1包括一个圆台型的卡盘本体10，卡盘本体10上安装有若干各定位销11。如图2所示，沿所述定位销11的延伸方向，定位销11分为第一段111，第二段112和第三段113，其中，第一段111为与卡盘本体10相匹配的齿轮，第二段112呈圆柱状，且插接在卡盘本体10的通孔12内，第三段113呈圆柱状且伸出于卡盘本体10，且第三段113的轴线与第二段112的轴线不重合。初始状态时，每个定位销11第三段113的圆心和第二段112的圆心以及卡盘本体10的圆心在一条直线上，并且第三段113的圆心在第二段112圆心和卡盘本体10圆心之间，后续通过第一段111的齿轮与卡盘本体10的相对转动来调节各第三段113所围成圆形抓取空间的直径大小，以控制卡盘1抓取和释放晶圆。35.人工安装时，由于视觉误差或其它原因容易使定位销11的安装角度出现偏差。安装角度出现偏差指的是，定位销11第三段113的圆心和第二段112的圆心以及卡盘本体10的圆心不在一条直线上，或，第二段112圆心位于第三段113圆心和卡盘本体10圆心之间。而安装角度偏差的后果是，各第三段113所围成的抓取空间不能很好的和晶圆匹配，导致卡盘1抓取不良。36.请参阅图3、图4、图5和图6，图3为本技术一实施例的定位治具2的结构示意图，图4为本技术一实施例的定位治具2的俯视图，图5为本技术一实施例的定位治具2的底部视图，图6为本技术一实施例的定位治具2的侧视图。37.如图3至图6所示，本技术实施例中的定位治具2包括本体21、让位部23和支撑部24，本体21包括沿第一方向x相对设置的第一表面211和第二表面212，以及连接于第一表面211和第二表面212之间的第三表面213、及贯穿第一表面211并沿第一方向x延伸的定位孔22，定位孔22用于容纳至少部分定位销(图中未示出)，多个定位孔22沿圆形轨迹均匀间隔分布；让位部23由部分第三表面213朝向本体21内凹陷而成，在第一方向x上，让位部23贯穿于第一表面211和第二表面212；支撑部24连接于第二表面212，并由第二表面212沿第一方向x延伸设置，支撑部24用于支撑本体21。38.请一并结合图1和图2，本技术实施例中的定位治具2用于在卡盘1安装定位销11过程中对定位销11的定位，并通过以固定圆形轨迹均匀间隔分布的定位孔22对定位销11的第三段113的安装位置进行限定，固定的圆形轨迹和正确安装的第三段113所围成的圆形抓取空间相匹配，以此来限制定位销11的安装角度，改善定位销11安装角度偏差的问题。39.本技术实施例中的定位治具2包括由部分第三表面213朝向本体21内凹陷而成的让位部23，在第一方向x上，让位部23贯穿于第一表面211和第二表面212，在定位治具2上取放卡盘时，用户可以通过让位部23区域的凹陷方便的抓取到卡盘的两侧。40.可选的，本体21为透明材质，透明材质的本体便于在定位孔22出现裂痕等故障时及时发现问题。可选的，本体21由亚克力制成。41.可选的，在第一方向x上，定位孔22的深度大于5mm，且定位孔22深度小于35mm。42.可选的，在第一方向x上，本体21的厚度大于7mm，且本体21的厚度小于40mm。43.可选的，支撑部24为金属材质，金属材质提高了支撑部24的结构强度。44.本技术实施例的方案中，定位治具2用于辅助安装卡盘上的定位销，定位治具2包括本体21，本体21包括沿第一方向x相对设置的第一表面211和第二表面212，定位孔22贯穿第一表面211并沿第一方向x延伸，定位孔22用于容纳至少部分定位销，多个定位孔22沿圆形轨迹均匀间隔分布，沿圆形轨迹均匀间隔分布的定位孔22降低了各定位销安装角度的差异，提高定位销的安装质量和安装效率。由部分第三表面213朝向本体21内凹陷而成的让位部23，让位部23贯穿于第一表面211和第二表面212，让位部23的设置可以让用户方便的在定位治具2上取放卡盘，提高了定位治具2的实用性。连接于第二表面212并由第二表面212沿第一方向x延伸设置的支撑部24，支撑部24可用于支撑本体21，支撑部24在第一方向x上撑起定位治具2的本体21，方便用户取放定位治具2，提高了定位治具2的实用性。45.在一些实施例中，如图3至图6所示，定位孔22贯穿第一表面211和第二表面212设置。46.在这些实施例中，贯穿设置的定位孔22更易于清洁，且贯穿设置的定位孔22制作难度低，制备效率高。47.在一些实施例中，如图3至图6所示，本体21上设置有沿圆形轨迹径向方向延伸并由第一表面211沿第一方向x凹陷设置的第一指示槽25，沿圆形轨迹的径向方向，第一指示槽25和定位孔22在一条直线上，第一指示槽25用于指示定位孔22位置。48.可选的，在第一方向x上，第一指示槽25的深度不超过定位孔22的深度。49.可选的，第一指示槽25内涂敷有与本体21颜色形成区别的颜料，以此来增强第一指示槽25的指示作用。50.在这些实施例中，当卡盘放置在定位治具2的本体21上时，卡盘会遮盖定位孔22的位置，通过设置第一指示槽25，来示出定位孔22的位置，用户可以方便的完成卡盘和定位孔22的对位操作，提高了定位治具2的实用性。51.在一些实施例中，如图3至图6所示，本体21上还设置有沿第一方向x延伸并由第三表面213朝向定位孔22凹陷设置的第二指示槽26，第二指示槽26和第一指示槽25连接。52.可选的，第二指示槽26不能与定位孔22联通。53.可选的，第二指示槽26内涂敷有与本体21颜色形成区别的颜料，以此来增强第二指示槽26的指示作用。54.在这些实施例中，第一指示槽25和第二指示槽26连接配合，提高了第一指示槽25和第二指示槽26的指示作用，用户可以更方便的完成卡盘和定位孔22的对位操作，提高了定位治具2的实用性。55.在一些实施例中，如图3至图6所示，2个让位部23沿圆形轨迹的圆心对称排布。56.在这些实施例中，2个对称设置的让位部23，方便用户两只手取放卡盘，提高了定位治具2的实用性。57.在一些实施例中，如图3至图6所示，至少部分让位部23与本体21的连接面为弧面。58.可选的，让位部23与本体21连接的边缘均进行圆角处理。59.可选的，让位部23与本体21的连接面均为弧面。60.在这些实施例中，至少部分让位部23与本体21的连接面为弧面，降低了用户使用过程中被划伤的风险，提高了定位治具2的安全性。61.在一些实施例中，如图5和图6所示，两个以上的支撑部24关于圆形轨迹的圆心对称设置。62.在这些实施例中，两个以上的支撑部24关于圆形轨迹的圆心对称设置，提高了定位治具2的稳定性。63.请参阅图7，图7为本技术一实施例的定位治具的支撑部24的正视图。64.在一些实施例中，如图6和图7所示，支撑部24包括延伸部241和凸出部242，延伸部241沿第二方向y延伸设置，第二方向y和第一方向x相交，凸出部242设置在延伸部241在第二方向y上的两端，凸出部242从延伸部241朝向第二表面y凸出设置，凸出部242和第二表面212固定连接。65.可选的，在第二方向y上，延伸部241的延伸距离不低于15cm，以便于用户抓握延伸部241。66.可选的，在第一方向x上，凸出部242的延伸距离不低于10cm，以便于用户能舒适的抓握延伸部241。67.可选的，凸出部242与设置在第二表面y上的盲孔螺栓连接，螺栓连接提高了支撑部24和本体21的连接可靠性。68.可选的，凸出部242和延伸部241材料相同。可选的，凸出部242和延伸部241一体成型。69.在这些实施例中，支撑部24包括延伸部241和凸出部242，延伸部241沿第二方向y延伸设置，凸出部242设置在延伸部241在第二方向y上的两端，凸出部242从延伸部241朝向第二表面212凸出设置，凸出部242和第二表面212固定连接，支撑部24既可以支撑定位治具2的本体21，又可以作为把手使用户可以通过握持延伸部241的方式方便的拿取定位治具2，提高了定位治具2的实用性。70.在一些实施例中，如图6和图7所示，延伸部241背离第二表面212的一侧表面为平面。71.在这些实施例中，延伸部241背离第二表面212的一侧表面为平面，平面设置提高了支撑部24的支撑稳定性。72.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的系统、模块和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本技术的保护范围之内。









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