一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备的制作方法 专利技术说明

控制;调节装置的制造及其应用技术1.本技术涉及半导体装备领域，尤其涉及一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备。背景技术：2.请参照图1及图2，图1为现有技术中一种半导体设备未开盖时的结构示意图，图2为现有技术中一种半导体设备开盖时的结构示意图。半导体设备包括：上电极1、反应腔2、开盖机构3、上盖装配4、与上电极1固定连接的射频柱5、与上盖装配4固定连接的线圈柱6(正常升降时，射频柱5与线圈柱6同轴，射频柱5可以插入到线圈柱6中)；其中，开盖机构是半导体设备的关键部件，在维护上盖装配及反应腔时，依靠开盖机构提升上电极，使上电极与反应腔分开，上盖装配及反应腔便裸露在外，为维护动作提供便利。3.但是，由于开盖机构中各零部件是由螺钉连接，且各零部件的材料均为塑形材料，导致开盖机构在提升上电极时，其上各零部件及各零部件的连接部分会承受一定的拉力、压力、弯曲等，产生一定程度的变形，因此，开盖机构在提升上电极时，会出现上电极的四个边角在垂直方向上与反应腔表面的相距距离(悬垂量)不一致的问题(称为搭头现象)，如果上电极的四个边角的悬垂量差距过大，可能导致合盖时反应腔上表面的定位销无法与上电极下表面的销孔对正，造成定位销和销孔之间的摩擦，从而产生金属碎屑进入反应腔内部，造成腔室污染；此外，开盖机构在单独提升上电极时，如果上电极的四个边角的悬垂量差距过大，还会带动射频柱歪斜，则射频柱与线圈柱不同轴，导致二者相互发生干涉，严重时会误将上盖装配带起，造成上盖装配的损坏，且上盖装配存在跌落的风险。技术实现要素：4.本技术的目的是提供一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备，在开盖机构提升上电极时，可检测上电极是否发生搭头现象，并在上电极发生搭头现象时，将原有的上电极提升动作自动转换为上电极下降动作，使上电极回落到反应腔上，从而及时发现上电极发生搭头现象并处理，避免上电极的四个边角的悬垂量差距过大引发一系列问题，保证设备开盖过程的安全可靠。5.为解决上述技术问题，本技术提供了一种上电极搭头处理电路，应用于半导体设备，所述半导体设备包括上电极、反应腔及开盖机构；所述开盖机构包括用于带动所述上电极上升或下降的驱动装置，所述上电极搭头处理电路包括：6.第一控制开关，串接于第一供电支路与所述驱动装置之间，当所述第一控制开关闭合时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电；7.搭头检测电路，用于控制所述第一控制开关的通断，所述搭头检测电路在检测到所述上电极发生搭头现象时，控制所述第一控制开关闭合，以使所述第一供电支路向所述驱动装置供电，所述驱动装置带动所述上电极下降，使所述上电极回落到所述反应腔上。8.可选地，所述第一控制开关为第一电磁继电器；所述第一电磁继电器包括：9.第一线圈，与所述搭头检测电路连接；10.第一常开开关，串接于所述第一供电支路与所述驱动装置之间，当所述第一常开开关闭合时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电；11.所述搭头检测电路具体用于在检测到所述上电极发生搭头现象时，使所述第一线圈通电以吸合所述第一常开开关。12.可选地，所述搭头检测电路包括：13.常开行程开关，设于所述开盖机构上、与所述上电极相对的侧面；所述常开行程开关在所述上电极未发生搭头现象时，与所述上电极不接触保持断开；在所述上电极发生搭头现象时，受所述上电极压缩闭合；14.常闭行程开关，设于所述反应腔的上表面；所述常闭行程开关在所述半导体设备未开盖时，受所述上电极压缩断开；在所述半导体设备开盖时，脱离所述上电极闭合；15.其中，所述常开行程开关和所述常闭行程开关均串接于所述第一线圈的供电支路上，所述第一线圈在所述常开行程开关和所述常闭行程开关均闭合时实现通电。16.可选地，所述上电极搭头处理电路还包括报警器；所述第一电磁继电器还包括：17.第二常开开关，串接于所述报警器的供电支路上，所述第一线圈在通电时吸合所述第二常开开关，使所述报警器上电报警。18.可选地，所述第二常开开关和所述报警器构成的串联支路与所述常开行程开关并联、与所述常闭行程开关串联。19.为解决上述技术问题，本技术还提供了一种开盖机构，应用于半导体设备，所述半导体设备包括上电极和反应腔，所述开盖机构包括：20.驱动装置，用于带动所述上电极上升或下降；21.上述任一种上电极搭头处理电路；22.第二控制开关，串接于第二供电支路与所述驱动装置之间，当所述第二控制开关闭合时，所述第二供电支路向所述驱动装置供电，所述驱动装置带动所述上电极上升；23.启动开关，用于控制所述第一控制开关和所述第二控制开关的通断，当所述启动开关使所述第一控制开关断开且所述第二控制开关闭合时，所述第二供电支路向所述驱动装置供电，所述驱动装置带动所述上电极上升，以使所述上电极与所述反应腔分开；当所述启动开关使所述第一控制开关闭合且所述第二控制开关断开时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电，以使所述上电极回落到所述反应腔上。24.可选地，所述驱动装置为三相电机；所述第一供电支路向所述三相电机供电时用于使所述三相电机在第一方向上旋转，以带动所述上电极下降；所述第二供电支路向所述三相电机供电时用于使所述三相电机在第二方向上旋转，以带动所述上电极上升。25.可选地，所述第一供电支路和所述第二供电支路分别用于使所述三相电机的三相接线端分别与三相供电电源的三根火线连接；26.所述第一供电支路和所述第二供电支路的三相接线方式中的任意两相是互为调换的。27.可选地，所述启动开关为翘板开关；所述翘板开关包括：第一静触点、第二静触点及用于接收单相电输入的动触片；28.所述第一控制开关为第一电磁继电器；所述第一电磁继电器包括：29.常闭开关；30.第一线圈，与所述第二静触点连接；31.第一常开开关，串接于所述第一供电支路与所述驱动装置之间，当所述第一常开开关闭合时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电；32.所述第二控制开关为第二电磁继电器；所述第二电磁继电器包括：33.第二线圈，与所述常闭开关串联连接，且所述常闭开关和所述第二线圈构成的串联支路与所述第一静触点连接；34.第三常开开关，串接于所述第二供电支路与所述驱动装置之间，当所述第三常开开关闭合时，所述第二供电支路向所述驱动装置供电；35.所述翘板开关用于在第一端被按下时，将所述动触片与所述第一静触点连接，使所述第二线圈通电以吸合所述第三常开开关；在第二端被按下时，将所述动触片与所述第二静触点连接，使所述第一线圈通电以吸合所述第一常开开关、并断开所述常闭开关，以使所述第一供电支路向所述驱动装置供电。36.可选地，所述开盖机构还包括：37.开关器件，串接于所述开盖机构中有断电需求的电路的总供电支路上，用于通过自身的通断状态控制对应电路的通电状态。38.可选地，所述开关器件连接在所述总供电支路的一端与所述动触片之间，所述总供电支路的另一端与所述第一线圈和所述第二线圈连接。39.可选地，所述上电极搭头处理电路的搭头检测电路一端连接在所述第二静触点与所述第一线圈之间，另一端连接在所述开关器件与所述动触片之间。40.为解决上述技术问题，本技术还提供了一种半导体设备，包括上电极、反应腔及上述任一种开盖机构。41.本技术提供了一种上电极搭头处理电路，包括第一控制开关和搭头检测电路。第一控制开关串接于第一供电支路与驱动装置之间；搭头检测电路用于控制第一控制开关的通断，搭头检测电路在检测到上电极发生搭头现象时，控制第一控制开关闭合，以使第一供电支路向驱动装置供电，驱动装置带动上电极下降，使上电极回落到反应腔上。可见，本技术在开盖机构提升上电极时，可检测上电极是否发生搭头现象，并在上电极发生搭头现象时，将原有的上电极提升动作自动转换为上电极下降动作，使上电极回落到反应腔上，从而及时发现上电极发生搭头现象并处理，避免上电极的四个边角的悬垂量差距过大引发一系列问题，保证设备开盖过程的安全可靠。42.本技术还提供了一种开盖机构及半导体设备，与上述搭头处理电路具有相同的有益效果。附图说明43.为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。44.图1为现有技术中一种半导体设备未开盖时的结构示意图；45.图2为现有技术中一种半导体设备开盖时的结构示意图；46.图3为本技术实施例提供的一种上电极搭头处理电路的电路示意图；47.图4为本技术实施例提供的一种上电极搭头处理电路的具体电路示意图；48.图5为本技术实施例提供的一种常开行程开关和常闭行程开关的安装位置示意图；49.图6为本技术实施例提供的一种上电极在上升时未发生搭头现象的结构示意图；50.图7为本技术实施例提供的一种上电极在上升时发生搭头现象的结构示意图；51.图8为本技术实施例提供的一种开盖机构的结构示意图；52.图9为本技术实施例提供的一种开盖机构的具体电路示意图；53.图10为本技术实施例提供的一种开盖机构在正常提升上电极时的具体电路示意图；54.图11为本技术实施例提供的一种开盖机构在正常降下上电极时的具体电路示意图；55.图12为本技术实施例提供的一种开盖机构在异常降下上电极时的具体电路示意图。具体实施方式56.本技术的核心是提供一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备，在开盖机构提升上电极时，可检测上电极是否发生搭头现象，并在上电极发生搭头现象时，将原有的上电极提升动作自动转换为上电极下降动作，使上电极回落到反应腔上，从而及时发现上电极发生搭头现象并处理，避免上电极的四个边角的悬垂量差距过大引发一系列问题，保证设备开盖过程的安全可靠。57.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。58.如图1及图2所示，开盖机构3是半导体设备的关键部件，在维护上盖装配4及反应腔2时，依靠开盖机构3提升上电极1，使上电极1与反应腔2分开，上盖装配4及反应腔2便裸露在外，为维护动作提供便利。但是，由于开盖机构3中各零部件是由螺钉连接，且各零部件的材料均为塑形材料，导致开盖机构3在提升上电极1时，其上各零部件及各零部件的连接部分会承受一定的拉力、压力、弯曲等，产生一定程度的变形，因此，开盖机构3在提升上电极1时，会出现上电极1的四个边角在垂直方向上与反应腔2表面的相距距离(悬垂量)不一致的问题(称为搭头现象)，如果上电极1的四个边角的悬垂量差距过大，会引发一系列问题。59.针对上述技术问题，本技术提供了一种上电极搭头处理电路。请参照图3，图3为本技术实施例提供的一种上电极搭头处理电路的结构示意图。该上电极搭头处理电路应用于半导体设备，半导体设备包括：上电极1、反应腔2及开盖机构3；开盖机构3包括：用于带动上电极1上升或下降的驱动装置。基于此，该上电极搭头处理电路包括：60.第一控制开关31，串接于第一供电支路与驱动装置之间，当第一控制开关31闭合时，第一供电支路向驱动装置供电；在本实施例的一种可选实施方式中，驱动装置例如可以为电机，进一步地，该驱动装置例如可以为三相电机，第一供电支路与三相供电电源连接，从而可以向三相电机供电；61.搭头检测电路32，用于控制第一控制开关31的通断，搭头检测电路32在检测到上电极1发生搭头现象时，控制第一控制开关31闭合，以使第一供电支路向驱动装置供电，驱动装置带动上电极1下降，使上电极1回落到反应腔2上。62.具体应用中，第一控制开关31串接于第一供电支路与驱动装置之间，在第一控制开关31闭合时，第一供电支路可向驱动装置供电，此时驱动装置可带动上电极1下降；在第一控制开关31断开时，第一供电支路无法向驱动装置供电，此时驱动装置停止带动上电极1下降。63.第一控制开关31的通断状态由搭头检测电路32控制。具体地，搭头检测电路32在半导体设备开盖(上电极1上升)时，可检测上电极1是否发生搭头现象，并在检测到上电极1发生搭头现象时，控制第一控制开关31闭合，此时第一供电支路开始向驱动装置供电，驱动装置开始带动上电极1下降，使上电极1回落到反应腔2上，防止上电极1的四个边角的悬垂量差距过大。64.本技术提供的上电极搭头处理电路，在开盖机构提升上电极时，可检测上电极是否发生搭头现象，并在上电极发生搭头现象时，将原有的上电极提升动作自动转换为上电极下降动作，使上电极回落到反应腔上，从而及时发现上电极发生搭头现象并处理，避免上电极的四个边角的悬垂量差距过大引发一系列问题，保证设备开盖过程的安全可靠。65.请参照图4，图4为本技术实施例提供的一种上电极搭头处理电路的具体结构示意图。66.作为一种可选的实施例，第一控制开关31为第一电磁继电器；第一电磁继电器包括：67.第一线圈km1，与搭头检测电路32连接；68.第一常开开关km11，串接于第一供电支路与驱动装置之间，当第一常开开关km11闭合时，第一供电支路向驱动装置供电；在图4的示例中，驱动装置为三相电机m，第一供电支路连接三相供电电源的三根火线l1至l3；69.搭头检测电路32具体用于在检测到上电极1发生搭头现象时，使第一线圈km1通电以吸合第一常开开关km11，从而第一供电支路可向驱动装置供电。70.本实施例中，第一电磁继电器中的第一线圈km1和第一常开开关km11相配合工作：在第一线圈km1断电时，第一常开开关km11断开，此时第一供电支路无法向驱动装置供电；在第一线圈km1通电时，第一常开开关km11闭合，此时第一供电支路可向驱动装置供电。71.具体应用中，搭头检测电路32在半导体设备开盖(上电极1上升)时，可检测上电极1是否发生搭头现象，并在检测到上电极1发生搭头现象时，使第一线圈km1通电以吸合第一常开开关km11，此时第一供电支路开始向驱动装置供电，驱动装置开始带动上电极1下降，使上电极1回落到反应腔2上。72.作为一种可选的实施例，如图4和图5所示，搭头检测电路32包括：73.常开行程开关sq1，设于开盖机构3上、与上电极1相对的侧面；常开行程开关sq1在上电极1未发生搭头现象时，与上电极1不接触保持断开；在上电极1发生搭头现象时，受上电极1压缩闭合；74.常闭行程开关sq2，设于反应腔2的上表面；常闭行程开关sq2在半导体设备未开盖时，受上电极1压缩断开；在半导体设备开盖时，脱离上电极1闭合；75.其中，常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2均串接于第一线圈km1的供电支路上，第一线圈km1在常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2均闭合时实现通电。76.本实施例中，如图5所示，常开行程开关sq1通过螺钉7与开盖机构3固定，常闭行程开关sq2通过螺钉8与反应腔2固定。77.若上电极1在上升时未发生搭头现象，如图6所示，上电极1的侧面底端与开盖机构3的侧面之间的距离为d1；若上电极1在上升时发生搭头现象，如图7所示，上电极1的侧面底端与开盖机构3的侧面之间的距离为d2(d2＜d1，d2一般为10mm)。78.具体应用中，若上电极1在上升时未发生搭头现象，则常开行程开关sq1与上电极1不接触，常开行程开关sq1保持断开；若上电极1在上升时发生搭头现象，上电极1会压缩常开行程开关sq1，常开行程开关sq1闭合。若半导体设备未开盖(上电极1与反应腔2未分开)，则上电极1压缩常闭行程开关sq2，常闭行程开关sq2断开；若半导体设备开盖(上电极1上升，上电极1与反应腔2分开)，则常闭行程开关sq2脱离上电极1，常闭行程开关sq2闭合。79.因此，若上电极1在上升时未发生搭头现象，常开行程开关sq1断开，常闭行程开关sq2闭合，此时第一控制开关31的第一线圈km1无法由常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2所在的供电支路供电；若上电极1在上升时发生搭头现象，常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2同时处于闭合状态，此时第一控制开关31的第一线圈km1可由常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2所在的供电支路供电，以吸合第一常开开关km11，此时第一供电支路开始向驱动装置供电，驱动装置开始带动上电极1下降，使上电极1回落到反应腔2上。80.作为一种可选的实施例，如图4所示，上电极搭头处理电路还包括报警器h；第一电磁继电器还包括：81.第二常开开关km12，串接于报警器h的供电支路上，第一线圈km1在通电时吸合第二常开开关km12，使报警器h上电报警。82.本实施例中，第一电磁继电器中的第一线圈km1和第二常开开关km12相配合工作：在第一线圈km1断电时，第二常开开关km12断开，报警器h的供电支路断开；在第一线圈km1通电时，第二常开开关km12闭合，报警器h的供电支路导通。此外，报警器h可选用蜂鸣器等有报警作用的器件。83.具体应用中，若上电极1在上升时发生搭头现象，常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2同时处于闭合状态，此时第一控制开关31的第一线圈km1可由常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2所在的供电支路供电，以吸合第二常开开关km12，使报警器h的供电支路导通，报警器h上电报警，从而提醒维护人员及时纠正上电极1的搭头现象。84.作为一种可选的实施例，第二常开开关km12和报警器h构成的串联支路与常开行程开关sq1并联，第二常开开关km12和报警器h构成的串联支路与常闭行程开关sq2串联。85.请参照图8，图8为本技术实施例提供的一种开盖机构的结构示意图。86.该开盖机构应用于半导体设备，包括：87.驱动装置81，用于带动上电极1上升或下降；88.上电极搭头处理电路82；89.第二控制开关83，串接于第二供电支路与驱动装置81之间，当第二控制开关83闭合时，第二供电支路向驱动装置81供电，驱动装置81带动上电极1上升；90.启动开关84，用于控制第一控制开关31和第二控制开关83的通断，当启动开关84使第一控制开关31断开且第二控制开关83闭合时，第二供电支路向驱动装置81供电，驱动装置81带动上电极1上升，以使上电极1与反应腔2分开；当启动开关84使第一控制开关31闭合且第二控制开关83断开时，第一供电支路向驱动装置81供电，以使上电极1回落到反应腔2上。91.具体应用中，第二控制开关83串接于第二供电支路与驱动装置81之间，在第二控制开关83闭合时，第二供电支路可向驱动装置81供电，此时驱动装置81可带动上电极1上升；在第二控制开关83断开时，第二供电支路无法向驱动装置81供电，此时驱动装置81停止带动上电极1上升。92.第一控制开关31的通断状态由上电极搭头处理电路82的搭头检测电路32和启动开关84控制，第二控制开关83的通断状态由启动开关84控制。具体地，在半导体设备需要提升上电极1时，可通过启动开关84使第一控制开关31断开且第二控制开关83闭合，此时第二供电支路开始向驱动装置81供电，驱动装置81开始带动上电极1上升，使上电极1与反应腔2分开；在半导体设备需要降下上电极1时，可通过启动开关84使第一控制开关31闭合且第二控制开关83断开时，此时第一供电支路开始向驱动装置81供电，驱动装置81开始带动上电极1下降，使上电极1回落到反应腔2上。93.本实施例提供的上电极搭头处理电路82的介绍请参考上述上电极搭头处理电路的实施例，本技术在此不再赘述。94.作为一种可选的实施例，如图9所示，驱动装置81为三相电机m；第一供电支路向三相电机供电m时用于使三相电机m在第一方向上旋转，以带动上电极1下降；第二供电支路向三相电机m供电时用于使三相电机m在第二方向上旋转，以带动上电极1上升。在图9的示例中，当第一常开开关km11闭合时，三相电机m从右至左的三个输入端通过第一供电支路分别与三相供电电源的火线l1、l2和l3连接；当第三常开开关km21闭合时，三相电机m从右至左的三个输入端通过第一供电支路分别与三相供电电源的火线l3、l2和l1连接，从而第一常开开关km11闭合时与第三常开开关km21闭合时三相电机m的旋转方向不同，以实现驱动上电极1下降或上升。95.本实施例中，三相电机m的供电支路包括第一供电支路和第二供电支路。若三相电机m的第一供电支路开始通电，则三相电机m在第一方向上旋转(如反转)，此时三相电机m可带动上电极1下降，使上电极1回落到反应腔2上(合盖过程)；若三相电机m的第二供电支路开始通电，则三相电机m在第二方向上旋转(如正转)，此时三相电机m可带动上电极1上升，使上电极1与反应腔2分开(开盖过程)。需要说明的是，三相电机m的第一供电支路和第二供电支路不能同时处于通电状态，否则会产生冲突。96.作为一种可选的实施例，第一供电支路和第二供电支路分别用于使三相电机m的三相接线端分别与三相供电电源的三根火线连接；97.第一供电支路和第二供电支路的三相接线方式中的任意两相是互为调换的。98.本实施例中，三相电机m的三相供电电源为三相四线制供电电源(三相四线：三根火线l1、l2、l3和一根零线n，火线l1对应a相电，火线l2对应b相电，火线l3对应c相电)，三相电机m的三相接线端分别是u、v、w(接线端u对应a相电，接线端v对应b相电，接线端w对应c相电)，则第二供电支路对应的三相接线方式(电机正转接线方式)为：三相电机m的接线端u与三相电源的火线l1连接，三相电机m的接线端v与三相电源的火线l2连接，三相电机m的接线端w与三相电源的火线l3连接；第一供电支路对应的三相接线方式(电机反转接线方式)为：调换第二供电支路对应的三相接线方式中的任意两相，比如，第一供电支路对应的一种三相接线方式为：三相电机m的接线端u与三相电源的火线l1连接，三相电机m的接线端v与三相电源的火线l3连接，三相电机m的接线端w与三相电源的火线l2连接。99.请参照图9，图9为本技术实施例提供的一种开盖机构的具体电路示意图。100.作为一种可选的实施例，启动开关84为翘板开关dp；翘板开关dp包括：第一静触点、第二静触点及用于接收单相电输入的动触片；101.第一控制开关31为第一电磁继电器；第一电磁继电器包括：102.常闭开关km13；103.第一线圈km1，与第二静触点连接；104.第一常开开关km11，串接于第一供电支路与驱动装置81之间，当第一常开开关km11闭合时，第一供电支路向驱动装置81供电；105.第二控制开关83为第二电磁继电器；第二电磁继电器包括：106.第二线圈km2，与常闭开关km13串联连接，且常闭开关km13和第二线圈km2构成的串联支路与第一静触点连接；107.第三常开开关km21，串接于第二供电支路与驱动装置81之间，当第三常开开关km21闭合时，第二供电支路向驱动装置81供电；108.翘板开关dp用于在第一端被按下时，将动触片与第一静触点连接，使第二线圈km2通电以吸合第三常开开关km21；在第二端被按下时，将动触片与第二静触点连接，以使第一线圈km1通电以吸合第一常开开关km11、并断开常闭开关km13，以使第一供电支路向驱动装置81供电。109.本实施例中，第一电磁继电器中的第一线圈km1和第一常开开关km11相配合工作：在第一线圈km1断电时，第一常开开关km11断开，此时第一供电支路无法向驱动装置81供电；在第一线圈km1通电时，第一常开开关km11闭合，此时第一供电支路可向驱动装置81供电。110.第一电磁继电器中的第一线圈km1和常闭开关km13相配合工作：在第一线圈km1断电时，常闭开关km13闭合；在第一线圈km1通电时，常闭开关km13断开。111.第二电磁继电器中的第二线圈km2和第三常开开关km21相配合工作：在第二线圈km2断电时，第三常开开关km21断开，此时第二供电支路无法向驱动装置81供电；在第二线圈km2通电时，第三常开开关km21闭合，此时第二供电支路可向驱动装置81供电。112.翘板开关dp为弹簧自动复位开关，在翘板开关dp的第一端被按下时，翘板开关dp的动触片与第一静触点连接；在翘板开关dp的第二端被按下时，翘板开关dp的动触片与第二静触点连接；在翘板开关dp未被按下时，翘板开关dp的动触片不与第一静触点和第二静触点连接。113.具体应用中，半导体设备需要提升上电极1时，按下翘板开关dp的第一端。如图10所示，翘板开关dp在第一端被按下时，其动触片与第一静触点连接，由于第一线圈km1不通电，常闭开关km13处于闭合状态，所以第二线圈km2得以通电，以吸合第三常开开关km21，此时第二供电支路开始向驱动装置81供电，驱动装置81开始带动上电极1上升，使上电极1与反应腔2分开。114.半导体设备需要停止提升上电极1时，松开翘板开关dp，翘板开关dp的动触片不再与第一静触点连接，第二线圈km2断电，第三常开开关km21断开，此时第二供电支路停止向驱动装置81供电，驱动装置81停止带动上电极1上升。115.半导体设备需要降下上电极1时，按下翘板开关dp的第二端。如图11所示，翘板开关dp在第二端被按下时，其动触片与第二静触点连接，第一线圈km1得以通电，以吸合第一常开开关km11、并断开常闭开关km13，吸合第一常开开关km11可实现：第一供电支路开始向驱动装置81供电，驱动装置81开始带动上电极1下降，使上电极1回落至反应腔2上；断开常闭开关km13可实现：第二线圈km2断电，第三常开开关km21断开，第二供电支路无法向驱动装置81供电。116.作为一种可选的实施例，开盖机构还包括：117.开关器件，串接于开盖机构中有断电需求的电路的总供电支路上，用于通过自身的通断状态控制对应电路的通电状态。118.作为一种可选的实施例，开关器件连接在总供电支路的一端与动触片之间，总供电支路的另一端与第一线圈km1和第二线圈km2连接。119.本实施例中，如图9所示，开关器件可为连接在总供电支路的一端与动触片之间的停止按钮s1，此外，开盖机构还可包括断路器q、热继电器f等安全器件；其中，停止按钮s1为上电极搭头处理电路82和三相电机m的启动电路的停止按钮，在停止按钮s1按下时，上电极搭头处理电路82和三相电机m的启动电路停止工作；断路器q为三相电机m所在的主电路的总开关，半导体设备未开盖时，断路器q断开，其余开关的状态不会开启三相电机m；热继电器f是三相电机m的保护开关器件，当三相电机m过热时，热继电器f内部的金属片发生形变，使三相电机m所在的主电路断开。120.作为一种可选的实施例，上电极搭头处理电路82的搭头检测电路32一端连接在第二静触点与第一线圈km1之间，另一端连接在开关器件与动触片之间。121.具体应用中，如图12所示，若上电极1在上升时发生搭头现象，常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2同时处于闭合状态，此时第一线圈km1可由常开行程开关sq1和常闭行程开关sq2所在的供电支路供电，第一方面，常闭开关km13断开，第二线圈km2断电，第三常开开关km21断开；第二方面，第一常开开关km11吸合，三相电机m开始反转，上电极1下降；第三方面，第二常开开关km12吸合，使报警器h的供电支路导通，报警器h上电报警，以提醒维护人员上电极1即将下降，此时维护人员松开翘板开关dp。当上电极1继续下降，上电极1与常闭行程开关sq2接触时，常闭行程开关sq2断开，使报警器h的供电支路断开，报警器h不再报警，第一线圈km1失电，上电极1、反应腔2、开盖机构3恢复到开盖之前的状态，此时安排维护人员及时检修螺钉等连接部位，及时修正上电极1的搭头现象。122.本技术还提供了一种半导体设备，包括上电极、反应腔及开盖机构。123.本技术提供的半导体设备的介绍请参考上述开盖机构的实施例，本技术在此不再赘述。124.本领域普通技术人员可知，随着技术的发展和新场景的出现，本技术实施例提供的技术方案对于类似的技术问题，同样适用。125.本技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，这仅仅是描述本技术的实施例中对相同属性的对象在描述时所采用的区分方式。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，以便包含一系列单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于那些单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它单元。126.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围。









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