尾气稀释控制系统及半导体设备的制作方法 专利技术说明

控制;调节装置的制造及其应用技术1.本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种尾气稀释控制系统及半导体设备。背景技术：2.在光伏及半导体行业中，镀膜、刻蚀、钝化等工艺过程的基本原理都是通过电子特气与产品反应，以达到获取相应的结果，在反应结束，设备腔体内的电子特气的尾气需要通过抽真空的方式将反应后尾气输出到设备外，并传输到终端进行尾气处理，但由于反应后尾气气体含量不同，导致气压也不相同，对最终尾气处理有影响，尾气处理效果不佳；此外，由于反应气体中含有烷类等气体，传输过程具有泄露的安全隐患，并且在一些极端状况下，例如，设备发生故障时，反应腔内烷类等气体的含量更无法确认，为防止安全事故的发生，需要降低烷类等气体的浓度。3.因此，亟需一种尾气稀释控制系统及半导体设备，安装在气体排出设备上对尾气进行稀释处理。技术实现要素：4.本实用新型的目的在于提供一种尾气稀释控制系统及半导体设备，能够对尾气进行稀释处理，从而避免尾气发生泄漏时对人员造成伤害，安全性能良好，同时加装尾气稀释控制系统，还能够保护环境。5.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：6.一方面，本实用新型提供一种尾气稀释控制系统，所述尾气稀释控制系统包括控制单元，所述控制单元具有进气接口和出气接口，所述控制单元包括：7.稳压阀，所述稳压阀与所述进气接口连通，所述进气接口与惰性气体的气源连通；8.流量控制组件，所述流量控制组件与所述稳压阀连通，所述流量控制组件设置在所述稳压阀的下游；以及9.阀门组件，所述阀门组件与所述流量控制组件连通，所述阀门组件设置在所述流量控制组件的下游，所述阀门组件与所述出气接口连通，所述出气接口与尾气管路连通。10.可选地，所述流量控制组件包括浮子流量计、上限感应器和下限感应器，所述上限感应器和所述下限感应器能够检测所述浮子流量计的浮子的悬停位置。11.可选地，所述尾气稀释控制系统包括连接管路，所述连接管路包括第一连通管路和第二连通管路，所述第一连通管路的进口端与所述稳压阀连通，所述第一连通管路的出口端与所述流量控制组件连通，所述第二连通管路包括第一支路、第二支路和第三支路，所述第一支路的进口端与所述流量控制组件连通，所述第一支路的出口端与所述第二支路的进口端，以及所述第三支路的进口端连通，所述第二支路的出口端，以及所述第三支路的出口端均与所述出气接口连通。12.可选地，所述阀门组件包括调速阀和电磁阀，所述调速阀设置在所述第二支路上，所述电磁阀设置在所述第三支路上。13.可选地，所述电磁阀设置为常闭式电磁阀。14.可选地，所述控制单元包括安装板，所述安装板上设有第一支架、第二支架和第三支架，所述稳压阀设置在所述第一支架上，所述流量控制组件设置在所述第二支架上，所述阀门组件设置在所述第三支架上。15.可选地，所述控制单元包括固定件，所述第一支架、所述第二支架和所述第三支架上设有腰形孔，所述固定件的一端穿过所述腰形孔后可拆卸地固定在所述安装板上。16.可选地，所述尾气稀释控制系统包括箱体和多个控制单元，多个所述控制单元依次排列安装在所述箱体内。17.可选地，多个所述控制单元的所述进气接口接通同一所述惰性气体的气源，或18.多个所述控制单元的所述进气接口分别接通不同的所述惰性气体的气源。19.多个所述控制单元的所述出气接口接通同一尾气管路，或20.多个所述控制单元的所述出气接口分别接通不同的尾气管路。21.另一方面，本实用新型还提供一种半导体设备，所述半导体设备包括上述任一方案中的尾气稀释控制系统，所述尾气稀释控制系统与所述半导体设备的尾气管路连通。22.本实用新型的有益效果为：23.本实用新型提供一种尾气稀释控制系统，该尾气稀释控制系统包括控制单元，控制单元包括稳压阀、流量控制组件和阀门组件，控制单元具有进气接口和出气接口，进气接口、稳压阀、流量控制组件、阀门组件和出气接口依次连通，进气接口与惰性气体的气源连通，出气接口与尾气管路连通。通过在尾气内加入惰性气体，对尾气管路中的气体进行稀释，降低了尾气燃烧所需的最高燃烧温度，避免了尾气发生泄漏时对工作人员造成伤害，且有利于保护环境，具有节能减排的作用。24.同时控制单元通过稳压阀保证了惰性气体流入流量控制组件的压力保持稳定，且惰性气体的压力能够达到所需要的压力，之后通过流量控制组件显示惰性气体的流速，通过阀门组件调整惰性气体的流速，从而控制单元能够独立完成惰性气体的流速调节和流量显示功能，结构简单、成本较低，且工作温度较低，不存在安全隐患，安全性能良好。25.本实用新型提供还一种半导体设备，所述半导体设备包括上述的尾气稀释控制系统，尾气稀释控制与半导体设备的尾气管路连通，尾气稀释控制系统包括控制单元，通过控制单元能够独立完成惰性气体的流速调节和流量显示功能，结构简单、成本较低。附图说明26.图1是本实用新型实施例中提供的控制单元的结构示意图；27.图2是本实用新型实施例中提供的尾气稀释控制系统的正视图；28.图3是本实用新型实施例中提供的尾气稀释控制系统的轴侧图。29.图中：30.100、稳压阀；200、流量控制组件；210、浮子流量计；220、上限感应器；230、下限感应器；300、阀门组件；310、调速阀；320、电磁阀；401、进气接口；402、第一连通管路；403、第一支路；404、第二支路；405、第三支路；406、出气接口；500、安装板；510、第一支架；520、第二支架；530、第三支架；600、箱体。具体实施方式31.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。32.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。33.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。34.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。35.镀膜、刻蚀、钝化等工艺设备在实际应用时，会产生相应的尾气，尾气通过半导体设备的尾气管路排放到终端的废气处理装置中统一进行处理，然而由于半导体设备可能遇到各种特殊情况发生紧急停机，半导体设备产生的尾气含量不可控制，影响废气处理装置对尾气的处理效果，并且万一尾气在输送管路上发生泄漏，将会对工作人员造成伤害，且不利于环境保护。36.为此，本实施例提供一种尾气稀释控制系统，该尾气稀释控制系统可适应于多种工艺设备，对其运行时产生的尾气进行稀释，适用性良好。如图1-图3所示，该尾气稀释控制系统包括控制单元，控制单元包括稳压阀100、流量控制组件200和阀门组件300，控制单元具有进气接口401和出气接口406，稳压阀100与进气接口401连通，进气接口401与惰性气体的气源连通，流量控制组件200设置在稳压阀100的下游，且流量控制组件200与稳压阀100连通，阀门组件300设置在流量控制组件200的下游，且阀门组件300与流量控制组件200连通，阀门组件300与出气接口406连通，出气接口406与设备的尾气管路连通。工作时，惰性气体的气源产生的惰性气体从进气接口401进入控制单元后，依次通过稳压阀100、流量控制组件200和阀门组件300，之后从出气接口406进入到设备的尾气管路中，通过在尾气内加入惰性气体，从而对尾气管路中的气体进行稀释，降低了尾气燃烧所需的最高燃烧温度，避免了尾气发生泄漏时对工作人员造成伤害，且有利于保护环境，具有节能减排的作用。37.本实施中的控制单元通过稳压阀100保证惰性气体流入流量控制组件200的压力保持稳定，且惰性气体的压力能够达到所需要的压力，之后通过流量控制组件200显示惰性气体的流速，通过阀门组件300调整惰性气体的流速，从而控制单元能够独立完成惰性气体的流速调节和流量显示功能，结构简单、成本较低，且工作温度较低，不存在安全隐患，安全性能良好。38.作为一种可选的方案，流量控制组件200包括浮子流量计210、上限感应器220和下限感应器230，惰性气体从下往上经过浮子流量计210，惰性气体经过浮子流量计210时，能够带动浮子悬停在测量管内，浮子流量计210的外壳上设有刻度表，浮子的悬停位置即为惰性气体的流速，上限感应器220设置在刻度表的上限位置，下限感应器230设置在刻度表的下限位置，通过上限感应器220和下限感应器230能够检测到浮子的悬停位置。当下限感应器230检测到浮子的悬停位置时，下限感应器230发出报警信号，此时惰性气体的气源可能发生故障，控制单元内没有惰性气体经过，当上限感应器220检测到浮子的悬停位置时，上限感应器220同样发出报警信号，此时可能阀门组件300出现损坏，通过上限感应器220和下限感应器230能够监测到控制单元的异常工作状况，同时发出报警信号，提醒工作人员对异常工作状况进行处理，从而保证控制单元能够正常运行。39.进一步地，本实施例中的尾气稀释控制系统包括连接管路，连接管路包括第一连通管路402和第二连通管路，第一连通管路402的进口端与稳压阀100连通，第一连通管路402的出口端与流量控制组件200连通，第二连接管路包括第一支路403、第二支路404和第三支路405，第一支路403的进口端与流量控制组件200连通，第一支路403的出口端与第二支路404的进口端，以及第三支路405的进口端连通，第二支路404的出口端，以及第三支路405的出口端均与出气接口406连通，阀门组件300包括调速阀310和电磁阀320，调速阀310设置在第二支路404上，电磁阀320设置在第三支路405上，惰性气体分流到两条管道上经过不同的控制阀门后汇合到一起，之后经过出气接口406进入到尾气管路中，以对尾气进行稀释。40.其中，电磁阀320设置为常闭式电磁阀，第三支路405作为控制单元的保护通路存在，增强了控制单元的安全性能。正常工作时，电磁阀320处于关闭状态，惰性气体通过第二支路404上的调速阀310后，从出气接口406流出，此时通过调速阀310可以调节惰性气体的流速，通过浮子流量计210可以显示流速调节的情况，工作人员根据浮子流量计210的显示值，可以调节调速阀310，从而调整进入尾气管路的惰性气体的流量。设备突然断电，或发生其他危险状况时，常闭式电磁阀依靠阀体内的弹力可以迅速弹开，使得第三支路405连通，此时惰性气体的流量达到最大，惰性气体通过第三支路405进入到尾气管路中，避免了尾气管路中未反应的烷类气体浓度过高，保护了工作人员人身安全，同时避免了污染环境。41.进一步地，控制单元包括安装板500，安装板500上设有第一支架510、第二支架520和第三支架530，第一支架510和第三支架530呈u型设置，第二支架520呈l型设置，稳压阀100设置在第一支架510上，浮子流量计210设置在第二支架520上，调速阀310和电磁阀320设置在第三支架530上。控制单元包括固定件，第一支架510、第二支架520和第三支架530上设有腰形孔，固定件的一端穿过腰形孔后可拆卸地固定在安装板500上，一方面，保证了稳压阀100、浮子流量计210、调速阀310和电磁阀320的固定效果良好，另一方面，可以将稳压阀100、浮子流量计210、调速阀310和电磁阀320集成在一起，方便对其进行整体安装和拆卸，装配效率较高。并且腰形孔具有一定的行程，使得第一支架510、第二支架520和第三支架530在安装时，能够适当调整安装位置，避免发生干涉，方便稳压阀100、流量控制组件200与阀门组件300之间的衔接。42.继续参见图2和图3，本实施例中的尾气稀释控制系统包括箱体600和多个控制单元，多个控制单元依次排列安装在箱体600内，从而通过尾气稀释控制系统可以对多个尾气管路同时进行尾气稀释，也可以实现对同一尾气管路输送不同的惰性气体。43.具体地，本实施例中以六个控制单元为例进行说明，在一些实施例中，六个控制单元的进气接口401可以接通同一惰性气体的气源，六个控制单元的出气接口406分别接通不同的尾气管路，从而通过该惰性气体的气源提供的惰性气体对不同的尾气管路进行尾气稀释。44.当然，在一些实施例中，六个控制单元的进气接口401也可以分别接通不同的惰性气体的气源，同时六个控制单元的出气接口406也分别接通不同的尾气管路，从而通过该惰性气体的气源提供的不同种类的惰性气体分别对不同的尾气管路进行尾气稀释，以满足生产需要。45.当然，在一些实施例中，六个控制单元的进气接口401也可以接通同一惰性气体的气源，六个控制单元的出气接口406接通同一尾气管路。或者，在一些实施例中，六个控制单元的进气接口401分别接通不同的惰性气体的气源，六个控制单元的出气接口406接通同一尾气管路，本实施例对此不做限定。46.本实用新型提供还一种半导体设备，半导体设备包括上述的尾气稀释控制系统，尾气稀释控制与半导体设备的尾气管路连通，尾气稀释控制系统包括控制单元，通过控制单元能够独立完成惰性气体的流速调节和流量显示功能，结构简单、成本较低。47.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。









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