具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗及其制造方法 专利技术说明

电气元件制品的制造及其应用技术1.本发明涉及透明窗技术领域，特别是涉及一种具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗及其制造方法。背景技术：2.近年来，随着人们生活水平的提高以及生活理念的不断改进，在建筑、交通工具、生活设备等方面使用高性能透明窗体的比例越来越高，也对透明窗体的使用性能提出了较高的要求。目前，有少数研究者利用对金属网格为导电介质，以玻璃为透明基材，并借助锆钛酸铅压电陶瓷（lead zirconate titanate piezoelectric ceramics，简称pzt陶瓷）的压电现象实现基材间距控制，设计得到较高透光率的透镜，且通过菲涅耳波带板（fresnel-zone-plate，简称fzp）原理实现焦斑位置的调制，并应用到玻璃上，以制得透明窗；还有部分研究者在微波频段利用变容二极管或pin二极管，结合氧化铟锡（indium tin oxide，简称ito）或金属铜薄膜的次波长结构，并利用现场可编程逻辑门阵列（field programmable gate array，简称fpga）调控二极管的电容或开关，以实现透明窗波束波前的直接调制；还有部分研究者利用光学透明度较高的薄膜和透明介质如玻璃等为材料核心所设计的光透明毫米波天线。3.但是，现有的透明窗上设置的导电结构的性能固定，因此成型后的透明窗的电磁特性都是固定的，只能用于特定的场所，对使用环境要求较高，所以存在功能单一，无法调控，使用场景受限的缺陷。4.因此，现有技术还有待于改进和发展。技术实现要素：5.鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗及其制造方法，旨在解决现有的透明窗结构呆板，功能单一，使用场景受限的问题。6.本发明的技术方案如下：一种具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，包括透明基材、透明导电阵列和调控单元，所述透明导电阵列设置在所述透明基材上；所述调控单元设置在所述透明基材上，所述调控单元嵌套设置在所述透明导电阵列中；所述调控单元与所述透明导电阵列组成导电图案；所述调控单元用于调控所述导电图案的电磁特性。7.所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，所述透明基材包括钠钙玻璃、石英玻璃、高硼硅玻璃、高铝玻璃、二氧化硅晶体、蓝宝石、氮化镓基材、碳化硅基材、铌酸锂基材、聚乙烯基材、聚丙烯基材、聚甲基丙烯酸甲酯基材、聚碳酸酯基材中的一种。8.所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，所述透明基材的厚度为1-60毫米，介电常数为2-12。9.所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，所述透明导电阵列为透明导电氧化物薄膜阵列或者金属网格。10.所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，所述调控单元包括锑一元基薄膜、碲一元基薄膜、锗-锑二元基薄膜、锑-碲二元基薄膜、锗-锑-碲三元薄膜、石墨烯薄膜、有机导电高聚物薄膜、相变材料二氧化钒薄膜、透明薄膜晶体管、透明肖特薄膜二极管、有机电化学晶体管中的一种。11.所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，所述透明基材上朝向所述透明导电阵列的一侧设有透明介质薄膜层，所述透明导电阵列和所述调控单元均设置在所述透明介质薄层背离所述透明基材的一侧。12.所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，所述透明介质薄层的厚度为25-1000微米，介电常数为1-4。13.所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，所述透明介质薄层朝向所述透明基材的一侧设有粘合层，所述粘合层包括乙烯乙酸乙烯酯层、聚乙烯醇缩丁醛层、聚氨酯层、聚对苯二甲酸乙二酯层中的一种；并且，所述粘合层的厚度为5-100微米。14.本技术还公开了一种制造方法，用于制造如上任一所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，包括：提供一透明基材；在所述透明基材上进行第一次镀膜，制得透明导电薄膜层；通过刻蚀所述透明导电薄膜层制得透明导电阵列；在所述透明基材上进行第二次镀膜，将调控单元嵌套到所述透明导电阵列中，完成透明窗的制造。15.所述的制造方法，其中，所述透明导电薄膜层采用磁控溅射、真空蒸镀、化学气相沉积或者喷墨电子打印方式制成在所述透明基材上；采用湿法刻蚀或者激光刻蚀的方式在所述透明导电薄膜层上制得透明导电阵列。16.与现有技术相比，本发明实施例具有以下优点：本发明公开的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗以透明基材为主体，在透明基材上设置可导电的透明导电阵列和调控单元，整体的透光性好。在使用过程中，通过电、光、热等外部激励使调控单元的导电性能发生变化，进而影响整个导电图案的电磁特性，使得透明窗可以对高频电磁波的透射、反射、聚焦、偏转等波前特性进行灵活调控和切换，解决了现有光透明窗的功能单一，不可调制的难题，达到高频毫米波、厘米波等高频通信信号的透过、反射、偏转及聚焦等波前传输特性智能可控调节的效果，可以对现有建筑外墙玻璃、汽车玻璃、高铁玻璃、飞机座舱罩、无人机通信窗口、太阳能盖板等进行改造，满足更多场景中的使用要求。附图说明17.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。18.图1为本发明中具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗的结构示意图；图2为本发明中具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗的制造方法的流程图；图3为本发明中导电图案的结构示意图；图4为本发明中另一具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗的结构示意图；图5为本发明中另一具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗的结构示意图；图6为本发明中另一导电图案的结构示意图；图7为本发明中具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗对28ghz毫米波的透过效果图。19.其中，10、透明基材；20、透明导电阵列；21、复合单元；211、山字形导电部；2111、中间端头；2112、侧边端头；212、连接段；213、导电块；30、调控单元；40、导电图案；50、透明介质薄层；60、粘合层；70、导线。具体实施方式20.为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。21.参阅图1，本发明申请的一实施例中，公开了一种具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，包括透明基材10、透明导电阵列20和调控单元30，所述透明导电阵列20设置在所述透明基材10上；所述调控单元30设置在所述透明基材10上，所述调控单元30嵌套设置在所述透明导电阵列20中；所述调控单元30与所述透明导电阵列20组成导电图案40；所述调控单元30用于调控所述导电图案40的电磁特性。22.本实施例公开的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗应用于对光学透过率及高频通信信号调控有特殊需求的使用场景，具有对高频通信信号的强度、相位、极化等性能进行智能调控的功能。23.具体的，以透明基材10为主体，在透明基材10上设置可导电的透明导电阵列20和调控单元30，在光学波段透明窗具有较高的透过率，整体的透光性好。在使用过程中，通过电、光、热等外部激励使调控单元30的导电性能发生变化，进而影响整个导电图案40的电磁特性，使得在毫米波等高频通信频段，透明窗可以对高频电磁波的透射、反射、聚焦、偏转等波前特性进行灵活调控和切换，解决了现有光透明窗的功能单一，不可调制的难题。本实施例达到了高频毫米波、厘米波等高频通信信号的透过、反射、偏转及聚焦等波前传输特性智能可控调节的效果，可以对现有建筑外墙玻璃、汽车玻璃、高铁玻璃、飞机座舱罩、无人机通信窗口、太阳能盖板等进行改造，满足更多场景中的使用要求。24.具体的，在本实施例的另一实施方式中公开的导电图案40可以设置在透明基材10的任意一侧的表面上，或者在透明基材10的两侧的表面上都设置导电图案40。例如应用于建材窗户的透明窗，可以将透明导电阵列20和调控单元30设置在透明窗朝向室内的一侧，以减少空气中的杂物或者雨水接触；也可以将透明导电阵列20和调控单元30设置在透明窗朝向室外的一侧，以减少与室内物品发生磕碰；或者在建材窗户的两侧同时设置透明导电阵列20和调控单元30，增强建材窗户对高频通信信号的调控能力。25.总的来说，伴随高频电磁波在商用及民用、军用系统中的快速发展，兼具光学透明及毫米波、厘米波等高频信号高效透过/反射等可调控器件和设备在很多应用场合均有较大需求。本实施例中公开的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗可支持包含毫米波和厘米波的无线高频通信频带，其中毫米波通信（有时称为极高频通信）和厘米波通信所涉及频率范围主要为10ghz~300ghz。对该高频通信信号的传输波前，对透过、反射、聚焦或偏转等特性进行有效智能调控，为智能透明窗的开发提供了可能，有利于透明窗适应多种应用场合的需求。本发明的一个最大优点，可以通过简单的电控或温控的方式实现高频通信信号传输或屏蔽的可变调控，透射开关比值高于400，优选地高于500，进而对通信信号的波形、极化、聚焦、偏折等进行可控设计，可广泛应用于对波形或通信传输控制有特殊需求的透明窗口，包括但不限于交通运输工具上的挡风玻璃、显示玻璃以及建筑玻璃。26.如图2所示，作为本技术的另一实施例，公开了一种制造方法，用于制造如上所述的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，包括：s100、提供一透明基材；s200、在所述透明基材上进行第一次镀膜，制得透明导电薄膜层；s300、通过刻蚀所述透明导电薄膜层制得透明导电阵列；s400、在所述透明基材上进行第二次镀膜，将调控单元嵌套到所述透明导电阵列中，完成透明窗的制造。27.本实施例中公开的制造方法通过在透明基材10上进行多次镀膜，构件以透明导电阵列20、调控单元30和透明基材10为基础的架构，利用调控单元30对电、光、热的响应带来导电性能的改变，甚至是线路的通断控制，特别是可以对高频通信信号的透射/反射波前，特别是幅值、相位等关键电磁特性的智能调控。最终可获得具有可见光透过率高、高频通信信号传输特性可调控、调控灵活性大等优点的智能透明窗。28.具体的，作为本实施例的一种实施方式，公开了所述透明导电薄膜层采用磁控溅射、真空蒸镀、化学气相沉积或者喷墨电子打印方式制成在所述透明基材10上。29.具体的，在本实施例的另一实施方式中公开了透明导电薄膜层还可以采用间接镀制的方式，例如先将透明导电阵列20制成在第一透明塑料薄层上，第一透明塑料薄层包括聚酰亚胺（pi）、聚对苯二甲酸乙二醇酯（pet）、聚甲基丙烯酸甲酯（pmma）中的至少一种；然后再通过热塑性材料与第一透明基材10复合。其中，热塑性材料包括聚乙烯醇缩丁醛（pvb）、乙烯乙酸乙烯酯（eva），聚氨酯（pu）等。30.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了采用湿法刻蚀或者激光刻蚀的方式在所述透明导电薄膜层上制得透明导电阵列20。31.具体的，本实施例中公开的透明导电阵列20可以是周期或者非周期的布置方式。如图3所示，按周期布置的方式，通过刻蚀使得透明导电薄膜层形成多个复合单元21，并且在每一列的上下两个复合单元21之间嵌入调控单元30。32.具体来说，如图3和图4所示，本实施例中公开的复合单元21中包括一对对称设置的山字形导电部211，两个山字形导电部211之间通过一个连接段212导通，且所述连接段212的两端分别与两个山字形导电部211的中间位置导通；每个山字形导电部211包括一个中间端头2111以及两侧的两个侧边端头2112，中间端头2111略短于侧边端头2112，且中间端头2111上设置有横向的导电块213；相邻两个复合单元21上相对的两个侧边端头2112之间嵌入设置所述调控单元30，相邻两个复合单元21上相对的两个导电块213正对设置。因此本实施例中公开的透明导电阵列20结构对称性高，复合单元21排列规整，可以最大化利用空间，从而提高对电磁波传输、反射、聚焦或偏转信号的幅值参数、相位、极化、带宽等进行调控的效果。33.本实施例通过调控每个复合单元21上感应电场随电压变化的响应状态，对辐射的相位、幅值等进行灵活可控的阵列设计，进而对散射或辐射波前的反射、透射等特征进行智能调控，使高频通信信号的调制具有更理想的效果。另外，通过不同的排布方式对复合单元21进行排列或数字调控，还可以实现对透射波进行多功能赋型调控，如波束扫描、偏折、汇聚、多波束、涡旋场等。34.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述透明基材10包括钠钙玻璃、石英玻璃、高硼硅玻璃、高铝玻璃、二氧化硅晶体、蓝宝石、氮化镓基材、碳化硅基材、铌酸锂基材、聚乙烯基材、聚丙烯基材、聚甲基丙烯酸甲酯基材、聚碳酸酯基材中的一种。本实施例中公开的透明基材10用于支撑透明导电阵列20和调控单元30，实际应用中用在建材窗户、车窗、飞机座舱罩、无人机镜头及太阳能电池盖板等多种部位，还需要有一定的硬度，所以采用玻璃、二氧化硅、蓝宝石或者塑料作为透明基材，既可以起到支撑作用，又具有良好的透光性，满足透光需求。35.具体的，本实施例中公开的透明基材10优选地采用氮化镓基材、碳化硅基材、铌酸锂基材、聚乙烯基材、聚丙烯基材、聚甲基丙烯酸甲酯基材、聚碳酸酯基材，或者采用聚乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯等高分子化合物的混合物。有机塑料的加工工艺成熟，制造成本低，而且容易成型和混合，因此可以方便制造本实施例中的透明基材10。36.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述透明基材10的厚度为1-60毫米，介电常数为2-12。本实施例中公开的透明基材10的厚度、大小、尺寸、形状及层数可根据各个应用场景要求进行选择。考虑到实际使用时透明基材10的强度、透光性等因素，选择厚度为1-60毫米，介电常数为2-12的透明基材10最为合适。37.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述透明导电阵列20为透明导电薄膜阵列或者金属网格（metal mesh）。在透明基材10上制造透明导电氧化物薄膜可以保持整个透明窗较高的透光性；金属网格的体积占比较小，设置在透明基材10上时也不会影响整体的透光效果。38.具体的，在本实施例的另一实施方式中公开了透明导电阵列20为金属网格时，可以包括金属薄膜、导电氧化物薄膜、导电聚合物薄膜中的至少一种，制造的透明导电层的面电阻应小于或等于6欧姆/方，优选的应小于或等于3欧姆/方。也可以通过多种导电薄膜多层复合制成，多种导电薄膜包括但不限于金、银、铜、铝、氧化铟锡、铝氧化锌、三氧化二砷、氟掺杂氧化锌、石墨烯、pedot等。其中，选择金、银、铜、铝等金属制成金属网格时，优选的选择厚度为5-15纳米，面电阻为0.01-1欧姆/方的金属薄膜；选择厚度为5-500纳米，面电阻为0.7-3欧姆/方的氧化铟锡/铝氧化锌/氟掺杂氧化锌等导电氧化物薄膜；最终制造的金属网格的厚度为1-10微米。39.本发明制成的透明导电层具有良好的红外反射性能，即具有较低的辐射率，使得最终制造的透明窗能够反射红外线，有助于降低能耗，节约资源，同时满足低碳绿色、光透明度高且高频信号智能可调控等要求。40.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述调控单元30包括锑（te）一元基薄膜、碲（sb）一元基薄膜、锗-锑（ge-te）二元基薄膜、锑-碲（sb-te）二元基薄膜、锗-锑-碲（ge-sb-te）三元薄膜、石墨烯薄膜、有机导电高聚物薄膜、相变材料二氧化钒（vo2）薄膜、透明薄膜晶体管、透明肖特薄膜二极管、有机电化学晶体管中的一种。实际制造中，根据透明窗的使用场所的条件，按要求选择幅值参数、相位、极化等参数特定的调控单元30，通过选择相变材料，根据相变温度前后晶格状态不同的化学特征，使得材料的介电常数或导电性能发生改变，从而对高频通信信号的传输特性发生转变。以采用二氧化钒薄膜为调控单元30为例，当外界温度超过其相变温度tc时，二氧化钒由介电态转变为导电态，单元结构整体连接特性发生变化，因此，针对高频通信信号由原来的透过状态转变为屏蔽状态，实现对毫米波通信的开关作用。41.制造过程中，调控单元30嵌套在透明导电阵列20中，亦可以充当透明导电阵列20的一部分，在不影响透明窗整体的透光性的前提下合理布局调控单元30的大小、位置及数量，以使得透明窗整个表面的电磁特性达到一致，避免出现局部电磁特性不同的情况。42.如图4所示，具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述透明基材10上朝向所述透明导电阵列20的一侧设有透明介质薄层50，所述透明导电阵列20和所述调控单元30均设置在所述透明介质薄层50背离所述透明基材10的一侧。本实施例中通过设置透明介质薄层50作为过渡，为透明导电阵列20和调控单元30提供一定的保护作用，避免透明导电阵列20或者调控单元30从透明基材10上脱落的情况发生。43.具体的，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述透明介质薄层50的厚度为25-1000微米，介电常数为1-4。44.再如图4所示，作为本实施例的另一种实施方式，公开了所述透明介质薄层50朝向所述透明基材10的一侧设有粘合层60，所述粘合层60包括乙烯乙酸乙烯酯层、聚乙烯醇缩丁醛层、聚氨酯层、聚对苯二甲酸乙二酯层中的一种；并且，所述粘合层60的厚度为5-100微米。本实施例中通过设置粘合层60连接透明基材10与透明介质薄层50，提高透明窗整体结构的连接稳定性，避免使用过程中出现开裂、分层的情况。45.需要说明的是，本实施例中只是例举透明基材10、透明导电阵列20、调控单元30和透明介质薄层50的类型，但本发明的保护范围并不局限于此，其他类型的透明基材10、透明导电阵列20、调控单元30和透明介质薄层50只要在波长380-800纳米的可见光频段透过率大于50%，优选的大于70%，能达到本技术公开的技术效果，作为本发明构思的等同替换，也应在本技术保护的范围之内。46.如图5和图6所示，在本技术的另一实施例中公开了透明导电阵列20可以刻蚀成阵列排布的多个复合单元21。通过在透明导电阵列20的两端分别横向设置一条导电线路，通过外部电压导通（图6中“v”表示通过外部电源提供的电压），并且两个导电线路之间设置多条导线70，导线70排布在相邻两列复合单元21之间的间隙中，导线70从侧面连接两侧的调控单元30，对调控单元30进行电压或电流激励，从而控制调控单元30的相变。其中，导线70与透明导电阵列20均可以由透明导电薄膜层刻蚀形成。47.例如，调控单元30以二氧化钒薄膜为例，当导线70上的激励电压逐渐加载，使得二氧化钒可发生相变，由介电态转变为到导电态，对高频通信信号的传输从透过状态变为屏蔽状态，从而改变透明窗的电磁特性，为进一步深入、智能地进行调控调制提供了可能。如图7所示，横坐标表示频率；纵坐标表示网络参数s21，在微波和射频电路中，s参数是最常用的网络参数，s21即描述电路传输特性的指标。通过模拟和测试可见导线70上不加载偏压和加载偏压两种状态下，不论是模拟还是实际测试曲线中，透明窗的s21参数变化都非常明显，说明透明窗对28ghz毫米波透过或屏蔽具有明显的开关效果。48.综上所述，本技术公开了一种具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗，其中，包括透明基材10、透明导电阵列20和调控单元30，所述透明导电阵列20设置在所述透明基材10上；所述调控单元30设置在所述透明基材10上，所述调控单元30嵌套设置在所述透明导电阵列20中；所述调控单元30与所述透明导电阵列20组成导电图案40；所述调控单元30用于调控所述导电图案40的电磁特性。本实施例公开的具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗以透明基材10为主体，在透明基材10上设置可导电的透明导电阵列20和调控单元30，整体的透光性好。在使用过程中，通过电、光、热等外部激励使调控单元30的导电性能发生变化，进而影响整个导电图案40的电磁特性，使得透明窗可以对高频电磁波的透射、反射、聚焦、偏转等波前特性进行灵活调控和切换，解决了现有光透明窗的功能单一，不可调制的难题，达到高频毫米波、厘米波等高频通信信号的透过、反射、偏转及聚焦等波前传输特性智能可控调节的效果，可以对现有建筑外墙玻璃、汽车玻璃、高铁玻璃、飞机座舱罩、无人机通信窗口、太阳能盖板等进行改造，满足更多场景中的使用要求。49.需要说明的是，本发明的实施例中包括多层透明基材10的架构，在此基础上，可进行多层透明基材10中每层基材的种类、厚度、层数或导电图案40的厚度、尺寸等改动设计。50.本发明的实施例中公开的是基于单层透明导电阵列20及单一调控单元30设计，将多种调控单元30与透明导电阵列20进行复合为一种常规的替代方案，当设置多种调控单元30时，可以与透明导电阵列20在同一层进行复合，也可以在多层结构上进行多层复合。51.本发明提出的透明导电阵列20的图案只是例举，不是穷举，因此若替换成其他图案，但本质上透明导电阵列20与调控单元30的复合并未发生改变，仍属于本发明的保护范围。52.还需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。53.还需要说明的是，本发明以具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗为例对本发明的具体结构及工作原理进行介绍，但本发明的应用并不以具有对高频通信信号智能调控功能的透明窗为限，也可以应用到其它类似工件的生产和使用中。54.应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。55.以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。









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