一种集成电路制造用静电防护装置的制作方法 专利技术说明

电子电路装置的制造及其应用技术1.本发明涉及集成电路制造技术领域，具体为一种集成电路制造用静电防护装置。背景技术：2.集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，而在集成电路在运输和制造等过程中会与外界物体进行摩擦，从而导致集成电路与摩擦物体之间的电荷之间发生转移，导致集成电路局部含有的静电量过多发生损坏，所以在对集成电路进行制造时需要使用到静电防护装置来对静电进行消除，从而避免静电对集成电路造成影响，而一般的静电防护装置在使用时还有一些缺点，比如：3.一般的静电防护装置在进行使用时只是利用离子风扇来对集成电路的表面静电进行消除，而集成电路的表面较为复杂，所以会造成离子风扇不可以与集成电路表面的局部区域进行接触，从而不可以对静电进行完全的消除，通过离子风扇只可以起到中和电荷的作用，当集成电路的局部电荷量较多时，由于不可以将静电导出，所以会造成中和的速度较慢，所以在消除静电需要较长的时间，导致在制造过程中出现静电没有完全消除的现象。技术实现要素：4.本发明的目的在于提供一种集成电路制造用静电防护装置，以解决上述背景技术中提出的问题。5.为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种集成电路制造用静电防护装置，包括壳体、后端盖和前端盖，所述壳体的前后两侧分别设置有前端盖和后端盖，所述后端盖的内部设置有筛网，所述壳体的内部设置有固定板，所述固定板的内部贴合设置有离子风机，所述前端盖的内部设置有第一固定道，所述前端盖位于壳体外部的一侧设置有角度调节机构，所述前端盖位于壳体内部的一侧设置有气体方向调节机构，离子风机工作时，会使得外界气体通过筛网进入到装置的内部，而筛网可以对气体中的杂质进行过滤，避免杂质影响离子风机的正常运行，离子风机会使得气体中附带有正负离子，然后气体会通过前端盖和角度调节机构喷向集成电路的表面，气体中的正负离子会中和集成电路表面的电荷，从而达到消除静电的效果，同时气体中会很有酒精与水分子，酒精可以起到消毒的作用，同时可以起到降低集成电路表面水分子浓度的效果，避免水分子浸入到集成电路的内部造成集成电路发生损坏，而水分子可以起到导电的作用，所以当水分子附着在集成电路的表面时，可以避免集成电路的表面出现带电荷量过高的现象，之后再利用热空气来加快水分子的蒸发速度，进一步避免水侵入到集成电路的内部，通过循环的在集成电路的表面覆盖水分子和对集成电路表面水分子进行蒸发，达到有效去除集成电路表面电荷的效果。6.进一步的，所述第一固定道等角度设置在前端盖的内部，所述第一固定道的内部交替设置有吸收层和加热环，所述吸收层的内部呈镂空状，所述加热环呈螺旋形，离子风机会带动气体进行流动，而气体会交替进入到邻位的第一固定道内，从而使得气体交替经过吸收层和加热环，当气体经过吸收层时，气体中会附带酒精与水分子，大部分气体会进入到第二固定道的内部，而小部分气体会进入到邻位的第一固定道的内部与加热环接触，而加热环会对水分子与酒精进行气化，从而增加加热环周围的温度，达到提高从加热环处经过的气体温度的效果；7.当气体与加热环接触在进入到第二固定道时，经过加热的空气会进入到邻位的第一固定道内与吸收层接触，加热的气体会提高酒精与水分子的运动，提高酒精与水的挥发效果，提高气体中的酒精与水分子的含量。8.进一步的，所述吸收层由海绵材料构成，所述吸收层的内部储存有酒精与水的混合溶液，吸收层由海绵材料构成，所以酒精与水会储存在吸收层的内部，而酒精和水会不断的进行蒸发，从而增加气体中的酒精和水的含量，提高对集成电路的消毒效果，由于水是进行蒸发进入到空气中的，所以可以避免水分子含量过多对集成电路造成影响。9.进一步的，所述第一固定道与邻位的第一固定道分别和第二固定道相连接，所述第二固定道呈“v”字形，所述第二固定道的内部连接有角度调节机构，由于相邻的2个第一固定道通过第二固定道相连通，所以第一固定道内的气体在排出时大部分的气体会进入到第二固定道的内部，而少部分的气体会进入到第一固定道的内部，从而达到有部分高温气体与吸收层接触，增加酒精与水温度的效果，同时酒精和水分子会与加热环接触，从而增加加热环处的温度，达到提高对集成电路表面水分子进行蒸发的效果。10.进一步的，所述角度调节机构包括排风管和扭簧，所述排风管分为嵌入端与导流端，所述排风管的嵌入端呈球形，所述排风管的嵌入端侧面连接有扭簧，所述扭簧的另一端和前端盖相连接，所述排风管的嵌入端呈漏斗状，所述排风管的导流端内部呈镂空状，气体在交替进入到第一固定道内时，气体的流量会发生变化，当气体进入排风管内的速度降低时，排风管会在扭簧的作用下向上发生转动，从而使得排风管向上转动，增加排风管的出风范围，随着气体的流量增加，气体对排风管的作用力增加，排风管和第二固定道会趋近平行，从而使得气体正常从排风管排出，由于排风管的球形端内部呈漏斗状，所以便于第二固定道内的气体进入到排风管的内部。11.进一步的，所述气体方向调节机构包括风扇、固定环和固定孔，所述风扇转动设置在前端盖的侧面，所述风扇的侧面设置有固定环，所述固定环与前端盖为贴合连接，所述固定环的内部等角度开设有若干个固定孔，当离子风机带动气体进行流动时，气体会不断的经过风扇，利用气体的流动来带动风扇的流动，而当风扇进行流动时固定环随之进行转动，当固定环进行转动时其表面的固定孔位置随之发生变化，由于大部分气体需要通过固定孔流入到第一固定道的内部，所以会通过固定孔来使得气体交替进入邻位的第一固定道内，达到交替喷出含有水分子的气体与高温气体的效果。12.进一步的，所述壳体的侧面设置有固定柱，所述固定柱的内部设置有支撑柱，所述固定柱的内部直径大于支撑柱的外部直径，固定柱和支撑柱之间可以进行伸缩转动，之后可以利用固定柱内部的螺栓将固定柱和支撑柱进行固定，而通过支撑柱可以对装置进行固定，之后通过转动装置来对出风的角度进行调整，再通过对固定柱和支撑柱进行固定来对装置进行固定。13.与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：本发明在进行使用时，通过气体带动风扇进行转动来对固定孔的位置进行调整，从而使得气体交替与吸收层和加热环进行接触，当气体与吸收层接触时会增加气体中水与酒精的混合溶液含量，大部分气体会被喷出至外界与集成电路进行接触，从而使得溶液覆盖在集成电路的表面，水分子可以进行导电来避免集成电路表面的电荷出现聚集的现象，而酒精可以起到消毒的作用，而少部分气体会与加热环接触，而加热环可以对与其接触的溶液进行气化，而气化的液体会溅射到周围的环境中，达到提高加热环周围区域温度的效果，增加气体经过加热环内气体的温度，达到加速集成电路表面水蒸发的效果；14.当气体直接通过加热环时，大部分气体会通过排风管流入到外界，从而带动集成电路表面的溶液进行移动，避免溶液长时间的覆盖在集成电路的表面，同时气体会增加溶液的温度，加快溶液的蒸发速度，进一步避免溶液侵入到集成电路的内部，而少部分气体会与吸收层接触，提高吸收层内溶液的蒸发速度；15.离子风机在工作过程中会使得气体中含有正负离子，而通过水与酒精可以将集成电路表面的电流导出，从而增加气体与集成电路表面的电荷接触的效果，从而增加离子风机消除静电的效果，同时会利用热气流来加速集成电路表面液体的蒸发速度，避免液体侵入到集成电路的内部。附图说明16.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：17.图1是本发明的整体立体结构示意图；18.图2是本发明的整体正剖视结构示意图；19.图3是本发明的前端盖和第一固定道安装结构示意图；20.图4是本发明的吸收层和加热环安装结构示意图；21.图5是本发明的前端盖和排风管安装结构示意图；22.图6是气体与吸收层接触示意图；23.图7是气体与加热环接触示意图；24.图8是气流增大排风管转动方向示意图。25.图中：1、壳体；2、后端盖；3、固定板；4、离子风机；5、前端盖；6、第一固定道；7、吸收层；8、加热环；9、第二固定道；10、排风管；11、扭簧；12、风扇；13、固定环；14、固定孔；15、固定柱；16、支撑柱；17、筛网。具体实施方式26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。27.如图1和图2所示，一种集成电路制造用静电防护装置，包括壳体1、后端盖2和前端盖5，壳体1的前后两侧分别设置有前端盖5和后端盖2，后端盖2的内部设置有筛网17，壳体1的内部设置有固定板3，固定板3的内部贴合设置有离子风机4，前端盖5的内部设置有第一固定道6，前端盖5位于壳体1外部的一侧设置有角度调节机构，前端盖5位于壳体1内部的一侧设置有气体方向调节机构，离子风机4工作时，会使得外界气体通过筛网17进入到装置的内部，而筛网17可以对气体中的杂质进行过滤，避免杂质影响离子风机4的正常运行，离子风机4会使得气体中附带有正负离子，然后气体会通过前端盖5和角度调节机构喷向集成电路的表面，气体中的正负离子会中和集成电路表面的电荷，从而达到消除静电的效果，同时气体中会很有酒精与水分子，酒精可以起到消毒的作用，同时可以起到降低集成电路表面水分子浓度的效果，避免水分子浸入到集成电路的内部造成集成电路发生损坏，而水分子可以起到导电的作用，所以当水分子附着在集成电路的表面时，可以避免集成电路的表面出现带电荷量过高的现象，之后再利用热空气来加快水分子的蒸发速度，进一步避免水侵入到集成电路的内部，通过循环的在集成电路的表面覆盖水分子和对集成电路表面水分子进行蒸发，达到有效去除集成电路表面电荷的效果。28.如图3、图4和图6所示，第一固定道6等角度设置在前端盖5的内部，第一固定道6的内部交替设置有吸收层7和加热环8，吸收层7的内部呈镂空状，加热环8呈螺旋形，离子风机4会带动气体进行流动，而气体会交替进入到邻位的第一固定道6内，从而使得气体交替经过吸收层7和加热环8，当气体经过吸收层7时，气体中会附带酒精与水分子，大部分气体会进入到第二固定道9的内部，而小部分气体会进入到邻位的第一固定道6的内部与加热环8接触，而加热环8会对水分子与酒精进行气化，从而增加加热环8周围的温度，达到提高从加热环8处经过的气体温度的效果；29.如图7所示，当气体与加热环8接触在进入到第二固定道9时，经过加热的空气会进入到邻位的第一固定道6内与吸收层7接触，加热的气体会提高酒精与水分子的运动，提高酒精与水的挥发效果，提高气体中的酒精与水分子的含量。30.吸收层7由海绵材料构成，吸收层7的内部储存有酒精与水的混合溶液，吸收层7由海绵材料构成，所以酒精与水会储存在吸收层7的内部，而酒精和水会不断的进行蒸发，从而增加气体中的酒精和水的含量，提高对集成电路的消毒效果，由于水是进行蒸发进入到空气中的，所以可以避免水分子含量过多对集成电路造成影响。31.第一固定道6与邻位的第一固定道6分别和第二固定道9相连接，第二固定道9呈“v”字形，第二固定道9的内部连接有角度调节机构，由于相邻的2个第一固定道6通过第二固定道9相连通，所以第一固定道6内的气体在排出时大部分的气体会进入到第二固定道9的内部，而少部分的气体会进入到第一固定道6的内部，从而达到有部分高温气体与吸收层7接触，增加酒精与水温度的效果，同时酒精和水分子会与加热环8接触，从而增加加热环8处的温度，达到提高对集成电路表面水分子进行蒸发的效果。32.如图5和图8所示，角度调节机构包括排风管10和扭簧11，排风管10分为嵌入端与导流端，排风管10的嵌入端呈球形，排风管10的嵌入端侧面连接有扭簧11，扭簧11的另一端和前端盖5相连接，排风管10的嵌入端呈漏斗状，排风管10的导流端内部呈镂空状，气体在交替进入到第一固定道6内时，气体的流量会发生变化，当气体进入排风管10内的速度降低时，排风管10会在扭簧11的作用下向上发生转动，从而使得排风管10向上转动，增加排风管10的出风范围，随着气体的流量增加，气体对排风管10的作用力增加，排风管10和第二固定道9会趋近平行，从而使得气体正常从排风管10排出，由于排风管10的球形端内部呈漏斗状，所以便于第二固定道9内的气体进入到排风管10的内部。33.气体方向调节机构包括风扇12、固定环13和固定孔14，风扇12转动设置在前端盖5的侧面，风扇12的侧面设置有固定环13，固定环13与前端盖5为贴合连接，固定环13的内部等角度开设有若干个固定孔14，当离子风机4带动气体进行流动时，气体会不断的经过风扇12，利用气体的流动来带动风扇12的流动，而当风扇12进行流动时固定环13随之进行转动，当固定环13进行转动时其表面的固定孔14位置随之发生变化，由于大部分气体需要通过固定孔14流入到第一固定道6的内部，所以会通过固定孔14来使得气体交替进入邻位的第一固定道6内，达到交替喷出含有水分子的气体与高温气体的效果。34.壳体1的侧面设置有固定柱15，固定柱15的内部设置有支撑柱16，固定柱15的内部直径大于支撑柱16的外部直径，固定柱15和支撑柱16之间可以进行伸缩转动，之后可以利用固定柱15内部的螺栓将固定柱15和支撑柱16进行固定，而通过支撑柱16可以对装置进行固定，之后通过转动装置来对出风的角度进行调整，再通过对固定柱15和支撑柱16进行固定来对装置进行固定。35.本发明的工作原理：当装置在进行使用前，首先通过支撑柱16对装置进行固定，然后转动壳体1来对出风的角度进行调整，之后将固定柱15和支撑柱16之间进行固定，从而达到对装置进行固定的效果；36.当装置进行使用时，离子风机4会进行工作，从而使得外界气体通过筛网17进入到壳体1的内部，而流动的气体会带动风扇12、固定环13和固定孔14进行转动，从而使得固定孔14交替与邻位的第一固定道6相重合，气体也就会交替的进入到邻位的第一固定道6内；37.当气体经过固定孔14在与吸收层7接触时，由于吸收层7的内部含有酒精与水的混合溶液，所以会增加气体中的水分子和酒精含量，大部分气体会通过第二固定道9流向外界，而小部分的气体会通过第二固定道9与加热环8进行接触，当溶液与加热环8进行接触时，加热环8会对溶液进行气化，而被气化的分子会散布在加热环8的周围，从而增加加热环8周围的温度；38.当气体经过固定孔14在与加热环8接触时，加热环8会增加气体的温度，大部分的气体会通过第二固定道9流向外界，而小部分的气体会通过第二固定道9与吸收层7接触，从而增加溶液的温度，达到提高溶液蒸发速度的效果；39.进入到第二固定道9内的气体会通过排风管10排入到外界，含有溶液分子的气体会对集成电路的表面进行消毒，同时覆盖在集成电路表面避免集成电路表面局部电荷过多的现象，而热空气会提高附着在集成电路的温度，提高溶液的蒸发速度，避免溶液侵入到集成电路的内部。40.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。41.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。









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