一种用于硅片的双通道上料回流装置的制作方法 专利技术说明

包装,储藏,运输设备的制造及其应用技术1.本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种用于硅片的双通道上料回流装置。背景技术：2.目前，太阳能电池的产量逐年大规模增长，整个光伏产业的技术水平也在逐步提高，产业规模持续扩大。在太阳能电池生产过程中，有一个重要的环节，是将硅片进行上料。3.现有的硅片上料过程中，需要在硅片上料装置的线头和线尾处均需要设置操作人员，线头处的操作人员需要将元件放入载具后将载具放置于输送装置上，以通过输送装置对元件进行输送；线尾处的操作人员需要将载具从输送装置上取下并将元件从载具中取出以投入下一加工工序，并且将空置下来的载具放置于运输小车中，以在具有一定数量后由至少一名工作人员推动小车将空置的载具运回输送装置的线头处，以供线头处的操作人员对载具再次取用，此种方式不仅需要大量的人工，人工成本高，并且自动化程度低，生产效率低下。鉴于以上缺陷，实有必要设计一种用于硅片的双通道上料回流装置。技术实现要素：4.本发明的目的在于提供一种用于硅片的双通道上料回流装置，以解决上述背景技术中提出的问题。5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于硅片的双通道上料回流装置，包括机架、上层输送流水线、下层输送流水线、切换输送组件和搬运组件，所述机架上安装有下层输送流水线，下层输送流水线的上方设置有上层输送流水线，所述输送流水线和下层输送流水线的一端设置有切换输送组件，所述上层输送流水线和切换输送组件的上方设置有搬运组件，所述上层输送流水线上放置有硅片回流载具。6.优选的，所述上层输送流水线设置有两个，两个所述上层输送流水线呈间隔并排设置，所述上层输送流水线包括输送组件、顶升组件、定位组件和阻挡组件，所述输送组件的一端安装有顶升组件，所述输送组件的端部安装有定位组件，定位组件位于顶升组件的一侧，所述输送组件的中部安装有阻挡组件。7.优选的，所述输送组件包括上层流水线侧板、第一传动皮带轮、第一主动皮带轮、第一流水线皮带和第一电机，所述上层流水线侧板设置有两块，两块所述上层流水线侧板呈平行间隔设置，两块所述上层流水线侧板通过两块第一连接板固定连接，所述上层流水线侧板的两端分别活动安装有第一传动轴和第一主动轴，第一传动轴设置有两个，两个所述第一传动轴上均安装有第一传动皮带轮，第一主动轴的两端均安装有第一主动皮带轮，第一主动皮带轮通过第一流水线皮带与第一传动皮带轮传动连接，第一主动轴的一端部安装有第一从动带轮，第一从动带轮通过第一传动带与第一主动带轮传动连接，第一主动带轮安装在第一电机的输出端，所述上层流水线侧板的顶部安装有第一限位挡边，所述第一限位挡边的一端设置有向外弯折的第一弯折部，所述上层流水线侧板的一侧设置有第一皮带托板，所述上层流水线侧板的中部安装有第一传感器支架，第一传感器支架上安装有第一光电传感器，所述上层流水线侧板的一端安装有第二传感器支架，第二传感器支架上安装有第二光电传感器。8.优选的，所述顶升组件包括顶升板，所述顶升板与第一气缸的活塞杆固定连接，所述第一气缸安装在第一气缸固定板的底部，所述顶升板底部的四角均安装有第一导向杆，第一导向杆上套装有第一滑筒，所述第一滑筒安装在第一气缸固定板上，第一导向杆的底部安装在底板上，所述底板上安装有缓冲器。9.优选的，所述定位组件包括定位杆，定位杆与第二气缸的活塞杆固定连接，第二气缸安装在第二气缸固定板的底部，第二气缸固定板上安装有第一接近传感器，第二气缸固定板的底部的四角均安装有第一连接杆，第一连接杆的底部安装在第二连接板上，第二连接板安装在支撑座上，支撑座的两端分别安装在上层流水线侧板的底部，所述第二气缸固定板的顶部安装有载具托板。10.优选的，所述阻挡组件包括阻挡杆，所述阻挡杆与第三气缸的活塞杆固定连接，第三气缸安装在第三气缸固定板的底部，第三气缸固定板上安装有第二接近传感器，第三气缸固定板的底部的四角均安装有第二连接杆，第二连接杆的底部安装在第三连接板上。11.优选的，所述下层输送流水线的输送方向与所述上层输送流水线的输送方向相反，所述下层输送流水线设置有两个，两个所述下层输送流水线呈间隔并排设置，所述下层输送流水线包括包括下层流水线侧板、第二传动皮带轮、第二主动皮带轮、第二流水线皮带和第二电机，所述下层流水线侧板设置有两块，两块所述下层流水线侧板呈平行间隔设置，两块所述下层流水线侧板通过两块第四连接板固定连接，所述下层流水线侧板的两端分别安装有第二传动轴和第二主动轴，第二传动轴设置有两个，两个所述第二传动轴上均安装有第二传动皮带轮，第二主动轴的两端均安装有第二主动皮带轮，第二主动皮带轮通过第二流水线皮带与第二传动皮带轮传动连接，第二主动轴的一端部安装有第二从动带轮，第二从动带轮通过第二传动带与第二主动带轮传动连接，第二主动带轮安装在第二电机的输出端，所述下层流水线侧板的顶部安装有第二限位挡边，所述第二限位挡边的一端设置有向外弯折的第二弯折部，所述下层流水线侧板的一侧设置有第二皮带托板，所述下层流水线侧板的一端设置有第一挡板，所述第一挡板上均匀间隔设置有多个橡胶垫，所述第一挡板的底部安装有第三传感器支架，第三传感器支架上安装有第三接近传感器。12.优选的，所述切换输送组件包括z轴线性模组、支撑架和输送线，所述z轴线性模组设置有两个，两个所述z轴线性模组并排间隔安装在线性模组安装板上，所述z轴线性模组的滑台上安装有支撑架，支撑架上安装有输送线，所述输送线包括输送线侧板、第三传动皮带轮、第三主动皮带轮、第三流水线皮带和第三电机，所述输送线侧板设置有两块，两块所述输送线侧板呈平行间隔设置，所述输送线侧板的两端分别活动安装有第三传动轴和第三主动轴，第三传动轴的两端均安装有第三传动皮带轮，第三主动轴的两端均安装有第三主动皮带轮，第三主动皮带轮通过第三流水线皮带与第三传动皮带轮传动连接，第三主动轴的一端部安装有第三从动带轮，第三从动带轮通过第三传动带与第三主动带轮传动连接，第三主动带轮安装在第三电机的输出端，第三电机安装在第三电机固定板上，所述输送线侧板的顶部安装有第三限位挡边，所述第三限位挡边的一端设置有向外弯折的第三弯折部，所述输送线侧板的一端设置有第二挡板，所述第二挡板上均匀间隔设置有多个橡胶垫，所述第二挡板的底部安装有第四传感器支架，第四传感器支架上安装有第四接近传感器。13.优选的，所述搬运组件包括龙门支架，龙门支架的两侧均安装有x轴线性模组，x轴线性模组的滑台上安装有移动板，移动板上安装有第四气缸，第四气缸的活塞杆与推板固定连接，推板的两端安装有第二导向杆，所述移动板上安装有第二滑筒，所述第二滑筒套设在第二导向杆上，推板的底部安装有吸嘴固定板，所述吸嘴固定板底部的两侧安装有多个吸嘴，多个所述吸嘴沿着吸嘴固定板的长度方向均匀分布，多个所述吸嘴分别通过气管与真空发生器相连接。14.优选的，所述硅片回流载具包括载具底板，所述载具底板的两端均设置有把手，所述载具底板上设置有多个定位区域，每个所述定位区域的四角处均设置有载具挡板，所述载具挡板为l形结构，所述载具挡板的两端竖直设置有导向板，导向板顶部的两端设置有倾斜面，所述导向板的内侧设置有橡胶垫，所述载具底板的中部开设有镂空槽。15.与现有技术相比，本发明一种用于硅片的双通道上料回流装置，设置有上层输送流水线、下层输送流水线、切换输送组件和搬运组件，首先由操作人员将装载有硅片的硅片回流载具放置在上层输送流水线上，通过上层输送流水线将装载有硅片的硅片回流载具进行输送，输送至搬运机构，由搬运机构将硅片回流载具内的硅片搬运至下一工序，此处形成的空置的硅片回流载具则由切换输送组件输送至下层输送流水线上，通过下层输送流水线将空置的硅片回流载具输送回流，最后由操作人员取出，从而通过切换输送组件替代操作人员完成取出空置的硅片回流载具工作，通过下层输送流水线替代操作人员完成将空置的硅片回流载具运回上层输送流水线的线头处的工作，从而实现空置的硅片回流载具的回流，不仅提高了硅片加工工序的自动化程度，也节省了人工成本；本发明提供的用于硅片的双通道上料回流装置，可实现两条硅片上料输送线的独立操作，生产效率高。附图说明16.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制，在附图中：17.图1为本发明的结构示意图；图2为本发明的上层输送流水线俯视图；图3为本发明的上层输送流水线侧视图；图4为本发明的上层输送流水线立体图；图5为本发明的下层输送流水线仰视图；图6为本发明的下层输送流水线立体图；图7为本发明的切换输送组件立体图；图8为本发明的切换输送组件俯视图；图9为本发明的搬运组件立体图；图10为本发明的硅片回流载具立体图。18.附图中：19.1、机架；2、上层输送流水线；21、输送组件；2101、上层流水线侧板；2102、第一连接板；2103、第一传动轴；2104、第一传动皮带轮；2105、第一主动轴；2106、第一主动皮带轮；2107、第一流水线皮带；2108、第一从动带轮；2109、第一传动带；2110、第一主动带轮；2111、第一电机；2112、第一电机固定板；2113、第一限位挡边；2114、第一弯折部；2115、第一皮带托板；2116、第一传感器支架；2117、第一光电传感器；2118、第二传感器支架；2119、第二光电传感器；22、顶升组件；2201、顶升板；2202、第一气缸；2203、第一气缸固定板；2204、第一导向杆；2205、第一滑筒；2206、底板；2207、缓冲器；23、定位组件；2301、定位杆；2302、第二气缸；2303、第二气缸固定板；2304、第一接近传感器；2305、第一连接杆；2306、第二连接板；2307、支撑座；2308、载具托板；2309、矩形孔；2310、腰形孔；24、阻挡组件；2401、阻挡杆；2402、第三气缸；2403、第三气缸固定板；2404、第二接近传感器；2405、第二连接杆；2406、第三连接板；3、下层输送流水线；301、下层流水线侧板；302、第四连接板；303、第二传动轴；304、第二传动皮带轮；305、第二主动轴；306、第二主动皮带轮；307、第二流水线皮带；308、第二从动带轮；309、第二传动带；310、第二主动带轮；311、第二电机；312、第二电机固定板；313、第二限位挡边；314、第二弯折部；315、第二皮带托板；316、第一挡板；317、橡胶垫；318、第三传感器支架；319、第三接近传感器；4、切换输送组件；41、z轴线性模组；42、线性模组安装板；43、支撑架；44、输送线；4401、输送线侧板；4402、第三传动轴；4403、第三传动皮带轮；4404、第三主动轴；4405、第三主动皮带轮；4406、第三流水线皮带；4407、第三从动带轮；4408、第三传动带；4409、第三主动带轮；4410、第三电机；4411、第三电机固定板；4412、第三限位挡边；4413、第三弯折部；4414、第二挡板；4415、橡胶垫；4416、第四传感器支架；4417、第四接近传感器；5、搬运组件；501、龙门支架；502、x轴线性模组；503、移动板；504、第四气缸；505、推板；506、第二导向杆；507、第二滑筒；508、吸嘴固定板；509、吸嘴；6、硅片回流载具；601、载具底板；602、把手；603、定位区域；604、载具挡板；605、导向板；606、倾斜面；607、橡胶垫；608、镂空槽。具体实施方式20.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。21.请参阅图1-10所示，本发明提供一种技术方案：一种用于硅片的双通道上料回流装置，包括机架1、上层输送流水线2、下层输送流水线3、切换输送组件4和搬运组件5，所述机架1上安装有下层输送流水线2，下层输送流水线3的上方设置有上层输送流水线2，上层输送流水线2和下层输送流水线3为上下平行设置，所述输送流水线2和下层输送流水线3的一端设置有切换输送组件4，所述上层输送流水线2和切换输送组件4的上方设置有搬运组件5，所述上层输送流水线2上放置有硅片回流载具6。22.本实施例中的所述上层输送流水线2设置有两个，两个所述上层输送流水线2呈间隔并排设置，所述上层输送流水线2包括输送组件21、顶升组件22、定位组件23和阻挡组件24，所述输送组件21的一端安装有顶升组件22，所述输送组件21的端部安装有定位组件23，定位组件23位于顶升组件22的一侧，所述输送组件21的中部安装有阻挡组件24。23.本实施例中的所述输送组件21包括上层流水线侧板2101、第一传动皮带轮2104、第一主动皮带轮2106、第一流水线皮带2107和第一电机2111，所述上层流水线侧板2101设置有两块，两块所述上层流水线侧板2101呈平行间隔设置，两块所述上层流水线侧板2101通过两块第一连接板2102固定连接，所述上层流水线侧板2101的两端分别活动安装有第一传动轴2103和第一主动轴2105，第一传动轴2103设置有两个，两个所述第一传动轴2103上均安装有第一传动皮带轮2104，第一主动轴2105的两端均安装有第一主动皮带轮2106，第一主动皮带轮2106通过第一流水线皮带2107与第一传动皮带轮2104传动连接，第一主动轴2105的一端部安装有第一从动带轮2108，第一从动带轮2108通过第一传动带2109与第一主动带轮2110传动连接，第一主动带轮2110安装在第一电机2111的输出端，第一电机2111安装在第一电机固定板2112上，第一电机固定板2112安装在上层流水线侧板2101的底部，所述上层流水线侧板2101的顶部安装有第一限位挡边2113，所述第一限位挡边2113的一端设置有向外弯折的第一弯折部2114，所述上层流水线侧板2101的一侧设置有第一皮带托板2115，所述第一皮带托板2115位于上层所述第一流水线皮带2107的底部并位于第一传动皮带轮2104和第一主动皮带轮2106之间。24.本实施例中的所述上层流水线侧板2101的中部安装有第一传感器支架2116，第一传感器支架2116上安装有第一光电传感器2117，所述上层流水线侧板2101的一端安装有第二传感器支架2118，第二传感器支架2118上安装有第二光电传感器2119，所述第一光电传感器2117和第二光电传感器2119分别与plc控制器电性连接。25.本实施例中的所述顶升组件22包括顶升板2201，所述顶升板2201与第一气缸2202的活塞杆固定连接，所述第一气缸2202安装在第一气缸固定板2203的底部，所述顶升板31底部的四角均安装有第一导向杆2204，第一导向杆2204上套装有第一滑筒2205，所述第一滑筒2205安装在第一气缸固定板2203上，第一气缸固定板2203安装在上层流水线侧板2101的底部，第一导向杆2204的底部安装在底板2206上，所述底板2206上安装有缓冲器2207。26.本实施例中的所述定位组件23包括定位杆2301，定位杆2301与第二气缸2302的活塞杆固定连接，第二气缸2302安装在第二气缸固定板2303的底部，第二气缸固定板2303上安装有第一接近传感器2304，第二气缸固定板2303的底部的四角均安装有第一连接杆2305，第一连接杆2305的底部安装在第二连接板2306上，第二连接板2306安装在支撑座2307上，支撑座2307的两端分别安装在上层流水线侧板2101的底部，所述第二气缸固定板2303的顶部安装有载具托板2308，所述载具托板2308上开设有供顶升板2201穿过的矩形孔2309，所述载具托板2308上还开设有四个腰形孔2310，所述定位杆2301、第一接近传感器2304、阻挡杆2401以及第二接近传感器2404分别位于四个腰形孔2310内，所述第一接近传感器2304和第二接近传感器2404分别与plc控制器电性连接。27.本实施例中的所述阻挡组件24包括阻挡杆2401，所述阻挡杆2401与第三气缸2402的活塞杆固定连接，第三气缸2402安装在第三气缸固定板2403的底部，第三气缸固定板2403上安装有第二接近传感器2404，第三气缸固定板2403的底部的四角均安装有第二连接杆2405，第二连接杆2405的底部安装在第三连接板2406上，第三连接板2406的两端分别安装在上层流水线侧板2101的底部。28.本实施例中的所述下层输送流水线3的输送方向与所述上层输送流水线2的输送方向相反，所述下层输送流水线3设置有两个，两个所述下层输送流水线3呈间隔并排设置，所述下层输送流水线3包括包括下层流水线侧板301、第二传动皮带轮304、第二主动皮带轮306、第二流水线皮带307和第二电机311，所述下层流水线侧板301设置有两块，两块所述下层流水线侧板301呈平行间隔设置，两块所述下层流水线侧板301通过两块第四连接板302固定连接，所述下层流水线侧板301的两端分别安装有第二传动轴303和第二主动轴305，第二传动轴303设置有两个，两个所述第二传动轴303上均安装有第二传动皮带轮304，第二主动轴305的两端均安装有第二主动皮带轮306，第二主动皮带轮306通过第二流水线皮带307与第二传动皮带轮304传动连接，第二主动轴305的一端部安装有第二从动带轮308，第二从动带轮308通过第二传动带309与第二主动带轮310传动连接，第二主动带轮310安装在第二电机311的输出端，第二电机311安装在第二电机固定板312上，第二电机固定板312安装在下层流水线侧板301的底部，所述下层流水线侧板301的顶部安装有第二限位挡边313，所述第二限位挡边313的一端设置有向外弯折的第二弯折部314，用于对6的运动方向进行导向，所述下层流水线侧板301的一侧设置有第二皮带托板315，所述第二皮带托板315位于上层所述第二流水线皮带307的底部并位于第二传动皮带轮304和第二主动皮带轮306之间，所述下层流水线侧板301的一端设置有第一挡板316，所述第一挡板316上均匀间隔设置有多个橡胶垫317，所述第一挡板316的底部安装有第三传感器支架318，第三传感器支架318上安装有第三接近传感器319。29.本实施例中的所述切换输送组件4包括z轴线性模组41、支撑架43和输送线44，所述z轴线性模组41设置有两个，两个所述z轴线性模组41并排间隔安装在线性模组安装板42上，所述z轴线性模组41的滑台上安装有支撑架43，支撑架43上安装有输送线44，所述输送线44包括输送线侧板4401、第三传动皮带轮4403、第三主动皮带轮4405、第三流水线皮带4406和第三电机4410，所述输送线侧板4401设置有两块，两块所述输送线侧板4401呈平行间隔设置，两块所述输送线侧板4401固定在支撑架43上，所述输送线侧板4401的两端分别活动安装有第三传动轴4402和第三主动轴4404，第三传动轴4402的两端均安装有第三传动皮带轮4403，第三主动轴4404的两端均安装有第三主动皮带轮4405，第三主动皮带轮4405通过第三流水线皮带4406与第三传动皮带轮4403传动连接，第三主动轴4404的一端部安装有第三从动带轮4407，第三从动带轮4407通过第三传动带4408与第三主动带轮4409传动连接，第三主动带轮4409安装在第三电机4410的输出端，第三电机4410安装在第三电机固定板4411上，第三电机固定板4411安装在输送线侧板4401的底部，所述输送线侧板4401的顶部安装有第三限位挡边4412，所述第三限位挡边4412的一端设置有向外弯折的第三弯折部4413，所述输送线侧板4401的一端设置有第二挡板4414，所述第二挡板4414上均匀间隔设置有多个橡胶垫4415，所述第二挡板4414的底部安装有第四传感器支架4416，第四传感器支架4416上安装有第四接近传感器4417，所述第三接近传感器319和第四接近传感器4417分别与plc控制器电性连接，所述plc控制器分别与第一电机2111、第一气缸2202、第二气缸2302、第三气缸2402、第二电机311、z轴线性模组41、第三电机4410、x轴线性模组502、第四气缸504以及真空发生器电性连接。30.本实施例中的所述搬运组件5包括龙门支架501，龙门支架501的两侧均安装有x轴线性模组502，x轴线性模组502的滑台上安装有移动板503，移动板503上安装有第四气缸504，第四气缸504的活塞杆与推板505固定连接，推板505的两端安装有第二导向杆506，所述移动板503上安装有第二滑筒507，所述第二滑筒507套设在第二导向杆506上，推板505的底部安装有吸嘴固定板508，所述吸嘴固定板508底部的两侧安装有多个吸嘴509，多个所述吸嘴509沿着吸嘴固定板508的长度方向均匀分布，多个所述吸嘴509分别通过气管与真空发生器相连接。31.本实施例中的所述硅片回流载具6包括载具底板601，所述载具底板601的两端均设置有把手602，所述载具底板601上设置有多个定位区域603，每个所述定位区域603的四角处均设置有载具挡板604，所述载具挡板604为l形结构，所述载具挡板604的两端竖直设置有导向板605，导向板605顶部的两端设置有倾斜面606，所述导向板605的内侧设置有橡胶垫607，所述载具底板601的中部开设有镂空槽608。32.本发明的工作原理：使用时，操作人员将多个硅片放置在硅片回流载具6的定位区域603内，再依次将多个硅片回流载具6放置在上层输送流水线2的第一流水线皮带2107上，第一电机2111工作带动第一主动带轮2110转动，通过第一传动带2109传动带动第一从动带轮2108转动，第一主动轴2105、第一主动皮带轮2106也随着转动，从而带动第一流水线皮带2107以及硅片回流载具6移动，当第一接近传感器2304感应到硅片回流载具6时，第一接近传感器2304将感应到的信号发送至plc控制器，plc控制器控制第二气缸2302以及第三气缸2402工作，第二气缸2302工作推动定位杆2301向上移动，定位杆2301将前端的一硅片回流载具6阻挡，第三气缸2402工作推动阻挡杆2401向上移动，阻挡杆2401将后端的另一硅片回流载具6阻挡，完成后，第一气缸2202工作推动顶升板2201向上移动，顶升板2201穿过镂空槽608推动硅片回流载具6内的硅片向上移动，当第二光电传感器2119检测到硅片回流载具6内的硅片时，将感应到的信号发送至plc控制器，plc控制器控制第一气缸2202停止工作并且控制搬运组件5工作，x轴线性模组502工作带动移动板503、第四气缸504以及吸嘴509移动至硅片回流载具6的上方，第四气缸504工作推动推板505向下移动，吸嘴固定板508以及吸嘴509也随着向下移动，使得吸嘴509与硅片接触，真空发生器工作，让多个吸嘴509产生吸力，从而牢牢吸取硅片，第四气缸504工作拉动推板505向上移动进行复位，x轴线性模组502工作带动吸嘴509以及硅片移动，将硅片搬运至下一工序，从而实现硅片的上料搬运，当第二光电传感器2119没有检测到硅片回流载具6内的硅片时，第二光电传感器2119将检测到的信号发送至plc控制器，plc控制器控制第一气缸2202工作带动顶升板2201缩回，并且控制第二气缸2302工作带动定位杆2301缩回，定位杆2301解除对硅片回流载具6的抵挡，使得第一流水线皮带2107上的硅片回流载具6随着第一流水线皮带2107输送至切换输送组件4的第三流水线皮带4406上，第三电机4410正转带动第三主动带轮4409转动，通过第三传动带4408传动带动第三从动带轮4407，第三主动轴4404以及第三主动皮带轮4405也随着转动，从而带动第三流水线皮带4406以及空的硅片回流载具6移动，当第四接近传感器4417检测到硅片回流载具6时，第四接近传感器4417将检测到的信号发送至plc控制器，plc控制器控制第三电机4410停止工作，并且控制z轴线性模组41工作，z轴线性模组41带动支撑架43以及输送线44向下移动，空的硅片回流载具6也随着向下移动至下层输送流水线3的一端，第三电机4410反转带动第三流水线皮带4406以及空的硅片回流载具6向下层输送流水线3方向移动，并且将空的硅片回流载具6输送至下层输送流水线3上，第二电机311工作带动第二主动带轮310转动，通过第二传动带309传动带动第二从动带轮308转动，第二主动轴305以及第二主动皮带轮306也随着转动，从而带动第二流水线皮带307以及空的硅片回流载具6移动，当空的硅片回流载具6移动至下层输送流水线3输送末端时，第三接近传感器319感应到硅片回流载具6，并将感应到的信号发送至plc控制器，plc控制器控制报警灯开启，能够提醒用户将空的硅片回流载具6取走。33.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。









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