一种火焰监测装置和废气处理设备的制作方法 专利技术说明

测量装置的制造及其应用技术1.本实用新型涉及晶圆制造技术领域，特别涉及一种火焰监测装置和废气处理设备。背景技术：2.在晶圆制造过程中需要使用废气处理设备(scrubber，废气处理设备)对废气进行处理。常用的废气处理设备包括燃烧腔，燃烧腔内设置有盖板，盖板将燃烧腔分隔成第一腔室和第二腔室，盖板上设置有废气进气孔、第一感光传感器和第二感光传感器；第一感光传感器和第二感光传感器设置在第一腔室中，第二腔室中设置有火焰生成单元；废气从废气进气孔输送至第二腔室中；火焰生成单元产生的高温火焰可以分解废气。3.火焰的状态主要是通过第一感光传感器和第二感光传感器检测并反馈给plc(programmable logic controller，可编程逻辑控制器)。第一感光传感器和第二感光传感器设置在不同位置，通过不同的光线路径检测火焰是否熄灭，当这两个感光传感器都能检测到火焰的光信号时，plc不触发报警器；当至少一个感光传感器未检测到火焰的光信号时，plc触发报警器。设置两个感光传感器，可以规避单个感光传感器失效导致火焰检测结果不准确的问题，并且可以提高废气处理设备的安全性。4.然而，感光传感器的感光面即光线采集端口容易被粉尘覆盖，这样导致感光传感器无法感应火焰的光信号，进而导致火焰在正常状态时plc触发报警器，造成误报警。当报警器被触发之后，维护人员需打开燃烧腔确认火焰是否熄灭，这会造成废气外泄，导致环境污染，并还会增加停机时间和额外的人员工作量。技术实现要素：5.本实用新型提供了一种火焰监测装置和废气处理设备，以解决感光传感器的感光面容易被粉尘覆盖的技术问题。6.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种火焰监测装置，所述装置用于检测燃烧腔内的火焰是否熄灭；所述燃烧腔内设置有盖板，所述盖板将所述燃烧腔分隔成第一腔室和第二腔室；所述第二腔室中设置有用于生成火焰的火焰生成单元；7.所述装置包括感光通道、第一感光传感器、第二感光传感器和反射单元；8.所述感光通道、所述第一感光传感器和所述第二感光传感器设置在所述第一腔室中；9.所述感光通道的一端安装在所述盖板上，另一端向远离所述第二腔室的一侧延伸；所述感光通道连通所述第一腔室和所述第二腔室；所述感光通道的一端和另一端之间开设有用于输送气体的吹扫孔；10.所述第一感光传感器安装在所述感光通道的另一端，所述第二感光传感器安装在所述感光通道的一端和另一端之间；所述反射单元安装在所述感光通道的内壁上，所述反射单元用于将所述火焰生成单元生成的火焰的光反射给所述第二感光传感器；所述第一感光传感器和所述第二感光传感器用于检测所述火焰的光对应的光信号。11.可选的，所述感光通道与所述盖板垂直连接。12.可选的，所述感光通道的轴线的延长线与所述火焰生成单元生成的火焰相交。13.可选的，所述反射单元包括反射镜，所述反射镜的镜面与所述第二感光传感器的感光面之间具有一夹角，所述反射镜的镜面用于将所述火焰的光垂直传输至所述第二感光传感器的感光面。14.可选的，所述第二感光传感器通过连接管安装在所述感光通道上。15.可选的，所述连接管的延长线与所述反射镜的镜面相交。16.可选的，所述第二感光传感器安装在所述吹扫孔和所述第一感光传感器之间。17.可选的，所述燃烧腔的形状为圆柱形，所述盖板的形状为圆盘形，所述盖板的周边与所述燃烧腔的内壁连接。18.可选的，所述盖板上设置有用于输送废气的废气进气孔，所述废气进气孔连通所述第一腔室和所述第二腔室。19.本实用新型还提供了一种废气处理设备，包括上述任一项所述的一种火焰监测装置。20.本实用新型提供的一种火焰监测装置和废气处理设备，第一感光传感器和第二感光传感器均安装在同一个感光通道上，结构简单紧凑；火焰发出的光可以沿感光通道传输至第一感光传感器的感光面，并且通过反射单元反射后传输至第二感光传感器的感光面；感光通道上设置有吹扫孔，用于吹扫的气体通过吹扫孔进入感光通道内可以清除感光通道内的粉尘，防止粉尘附着在感光通道内，并且防止粉尘覆盖第一感光传感器的感光面或第二感光传感器的光面，进而防止火焰正常时第一感光传感器和第二感光传感器因检测不到光信号导致误报警；因误报警的次数减少，打开燃烧腔的次数可以减少，可以预防环境污染，提高了燃烧腔的安全性能，减轻了作业人员的工作量，减少了停机时间。附图说明21.图1是本实用新型一实施例提供的一种废气处理设备的结构示意图。22.图2是本实用新型一实施例提供的一种火焰监测装置的局部剖面示意图。23.[附图标记说明如下]：[0024]燃烧腔-1、盖板-2；[0025]感光通道-3、第一感光传感器-4、第二感光传感器-5、反射单元-6、连接管-7、火焰生成单元-8；[0026]第一腔室-11、第二腔室-12；[0027]吹扫孔-31。具体实施方式[0028]为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种火焰监测装置和废气处理设备作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。[0029]在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。[0030]如图1和图2所示，本实施例提供了一种火焰监测装置，所述装置用于检测燃烧腔1内的火焰是否熄灭；所述燃烧腔1内设置有盖板2，所述盖板2将所述燃烧腔1分隔成第一腔室11和第二腔室12；所述第二腔室12中设置有用于生成火焰的火焰生成单元8；所述装置包括感光通道3、第一感光传感器4、第二感光传感器5和反射单元6；所述感光通道3、所述第一感光传感器4和所述第二感光传感器5设置在所述第一腔室11中；所述感光通道3的一端安装在所述盖板2上，另一端向远离所述第二腔室12的一侧延伸；所述感光通道3连通所述第一腔室11和所述第二腔室12；所述感光通道3的一端和另一端之间开设有用于输送气体的吹扫孔31；所述第一感光传感器4安装在所述感光通道3的另一端，所述第二感光传感器5安装在所述感光通道3的一端和另一端之间；所述反射单元6安装在所述感光通道3的内壁上，所述反射单元6用于将所述火焰生成单元8生成的火焰的光反射给所述第二感光传感器5；所述第一感光传感器4和所述第二感光传感器5用于检测所述火焰的光对应的光信号。[0031]其中，所述吹扫孔31内可以通入氮气或惰性气体用于吹扫所述感光通道3内壁上的粉尘，防止粉尘阻挡光的传输路径而导致所述第一感光传感器4和所述第二感光传感器5不能接收到光信号，进而导致误报警。图2中的虚线以及虚线上的箭头表示火焰的光从火焰生成单元8传输至第二感光传感器5的传输路径。所述反射单元6可以是一个反射镜或者两个以上反射镜的组合，图2中只用一个反射镜表示反射单元6。[0032]本实施例提供的一种火焰监测装置，第一感光传感器4和第二感光传感器5均安装在同一个感光通道3上，结构简单紧凑；火焰发出的光可以沿感光通道3传输至第一感光传感器4的感光面，并且通过反射单元6反射后传输至第二感光传感器5的感光面；感光通道3上设置有吹扫孔31，用于吹扫的气体通过吹扫孔31进入感光通道3内可以清除感光通道3内的粉尘，防止粉尘附着在感光通道3内，并且防止粉尘覆盖第一感光传感器4的感光面或第二感光传感器5的光面，进而防止火焰正常时第一感光传感器4和第二感光传感器5因检测不到光信号导致误报警；因误报警的次数减少，打开燃烧腔1的次数可以减少，可以预防环境污染，提高了燃烧腔1的安全性能，减轻了作业人员的工作量，减少了停机时间。[0033]在具体使用所述装置时，可以对应将plc触发报警的机制改为所述第一感光传感器4和所述第二感光传感器5均未检测到火焰光信号时，plc触发报警，即两个感光传感器中其中之一损坏后，并不会发生误报警的情况，以便进一步减少误报警的发生概率。[0034]可选的，如图1所示，所述感光通道3与所述盖板2垂直连接。这样可以使火焰的光更好的传输至第一感光传感器4的感光面上和第二感光传感器5的光面上。在其它实施例中，所述感光通道3与所述盖板2之间可以接近垂直状态。[0035]可选的，如图1和图2所示，所述感光通道3的轴线的延长线与所述火焰生成单元8生成的火焰相交。这样可以使火焰的光更好的传输至第一感光传感器4的感光面上和第二感光传感器5的光面上。在其它实施例中，所述感光通道3的轴线的延长线与所述火焰可以不相交，所述火焰可以略微偏离所述感光通道3的延长线。[0036]可选的，如图2所示，所述反射单元6包括反射镜，所述反射镜的镜面与所述第二感光传感器5的感光面之间具有一夹角，所述反射镜的镜面用于将所述火焰的光垂直传输至所述第二感光传感器5的感光面。所述火焰的光经过所述反射镜反射之后垂直照射在所述第二感光传感器5的感光面上，从而提高所述第二感光传感器5获取的光照强度，防止光照强度过低而导致所述第二感光传感器5的检测结果错误。在其它实施例中，所述火焰的光经过所述反射镜反射之后可以接近垂直角度照射在所述第二感光传感器5的感光面上。[0037]可选的，如图2所示，所述第二感光传感器5通过连接管7安装在所述感光通道3上。这样方便固定所述第二感光传感器5。在其它实施例中，所述第二感光传感器5可以直接固定在所述感光通道3上。[0038]可选的，如图2所示，所述连接管7的延长线与所述反射镜的镜面相交。这样可以使所述反射镜反射的光顺利照射在所述第二感光传感器5的感光面上。在其它实施例中，所述连接管7的延长线与所述反射镜的镜面可以不相交，只要所述反射镜反射的光能够顺利照射在所述第二感光传感器5的感光面上即可。[0039]可选的，如图1所示，所述第二感光传感器5安装在所述吹扫孔31和所述第一感光传感器4之间。这样可以使所述第二感光传感器5靠近所述第一感光传感器4安装，防止所述第二感光传感器5因靠近所述盖板2而受到高温火焰的炙烤。在其它实施例中，所述第二感光传感器5可以安装在所述吹扫孔31和所述感光通道3的一端之间。[0040]可选的，如图1所示，所述燃烧腔1的形状为圆柱形，所述盖板2的形状为圆盘形，所述盖板2的周边与所述燃烧腔1的内壁连接。这样方便制作所述燃烧腔1和所述盖板2。在其它实施例中，所述燃烧腔1和所述盖板2的形状可以是其它形状。[0041]可选的，如图1所示，所述盖板2上设置有用于输送废气的废气进气孔，所述废气进气孔连通所述第一腔室11和所述第二腔室12。这样可以使废气在所述第二腔室12内分解。在其它实施例中，所述废气进气孔可以设置在所述第二腔室12的侧壁上。[0042]参考图1和图2所示，基于与上述一种火焰监测装置相同的技术构思，本实施例还提供了一种废气处理设备，包括上述任一项所述的一种火焰监测装置。所述废气处理设备可以处理晶圆制造过程中产生的废气或其它产品制造过程中产生的废气。在其它实施例中，所述一种火焰监测装置也可以应用于其它需要对火焰是否熄灭的状态进行监测的设备。[0043]本实施例提供的一种废气处理设备，第一感光传感器4和第二感光传感器5均安装在同一个感光通道3上，结构简单紧凑；火焰发出的光可以沿感光通道3传输至第一感光传感器4的感光面，并且通过反射单元6反射后传输至第二感光传感器5的感光面；感光通道3上设置有吹扫孔31，用于吹扫的气体通过吹扫孔31进入感光通道3内可以清除感光通道3内的粉尘，防止粉尘附着在感光通道3内，并且防止粉尘覆盖第一感光传感器4的感光面或第二感光传感器5的光面，进而防止火焰正常时第一感光传感器4和第二感光传感器5因检测不到光信号导致误报警；因误报警的次数减少，打开燃烧腔1的次数可以减少，可以预防环境污染，提高了燃烧腔1的安全性能，减轻了作业人员的工作量，减少了停机时间。[0044]综上所述，本实用新型提供的一种火焰监测装置和废气处理设备，第一感光传感器4和第二感光传感器5均安装在同一个感光通道3上，结构简单紧凑；火焰发出的光可以沿感光通道3传输至第一感光传感器4的感光面，并且通过反射单元6反射后传输至第二感光传感器5的感光面；感光通道3上设置有吹扫孔31，用于吹扫的气体通过吹扫孔31进入感光通道3内可以清除感光通道3内的粉尘，防止粉尘附着在感光通道3内，并且防止粉尘覆盖第一感光传感器4的感光面或第二感光传感器5的光面，进而防止火焰正常时第一感光传感器4和第二感光传感器5因检测不到光信号导致误报警；因误报警的次数减少，打开燃烧腔1的次数可以减少，可以预防环境污染，提高了燃烧腔1的安全性能，减轻了作业人员的工作量，减少了停机时间。[0045]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。









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