一种晶圆自然冷却机构的制作方法 专利技术说明

电气元件制品的制造及其应用技术1.本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆自然冷却机构。背景技术：2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。3.根据申请号为cn202122034600.8的专利文献所提供的一种半导体晶圆检测用智能分拣装置，包括底板，所述底板顶部的右侧固定连接有驱动框，所述驱动框内腔的底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有竖杆，所述竖杆左侧的顶部固定连接有横板，所述横板的表面固定连接有第二电动伸缩杆。本实用新型通过底板、第一电动伸缩杆、顶盘、传动框、驱动框、第一电机、竖杆、横板、卡框、限位杆、第二电动伸缩杆、卡爪、第三电动伸缩杆、竖板、传动带、输出辊和第二电机，可使装置达到使用效果好的功能，解决了现有市场上的半导体晶圆检测用分拣装置不具备使用效果好的功能，直接夹取易产生碎裂的现象，不利于使用者操作使用的问题。4.上述专利中的半导体晶圆检测用智能分拣装置，解决了现有市场上的半导体晶圆检测用分拣装置不具备使用效果好的功能，直接夹取易产生碎裂的现象，不利于使用者操作使用的问题。目前在蓝宝石晶圆在cvd工序生产过程中，晶圆温度高达350℃，产出的晶圆温度太高，无法收集到卡塞内，放置到冷却区自然冷却后由人工收集到花篮内，所涉及的移载费时费力。技术实现要素：5.本实用新型的目的在于提供一种晶圆自然冷却机构，以解决上述背景技术中提出的问题。6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：7.一种晶圆自然冷却机构，包括滑杆、第一滑块、延伸杆以及移动块，所述滑杆顶部设置有收集框，所述滑杆外壁设置有第一滑块，所述第一滑块另一侧设置有冷却塔；所述延伸杆外壁依次设置有第二滑块和固定块，所述固定块顶部依次设置有推块、连接杆以及推板；所述移动块顶部设置有第三滑块，所述第三滑块顶部设置有限位块和夹块。8.作为本实用新型优选的方案，所述收集框通过螺栓与滑杆顶部连接，所述第一滑块通过滑轨与滑杆外壁滑动连接，所述第一滑块远离滑杆一侧通过焊接方式与冷却塔连接。9.作为本实用新型优选的方案，所述第二滑块通过滑轨与延伸杆外壁滑动连接，所述固定块通过螺栓与第二滑块顶部连接，所述推块通过滑轨与固定块顶部滑动连接，所述连接杆两端均通过焊接与推块和推板连接。10.作为本实用新型优选的方案，所述第三滑块通过滑轨与移动块外壁滑动连接，所述限位块通过滑轨与第三滑块外壁滑动连接，所述限位块与夹块一体成型。11.作为本实用新型优选的方案，所述收集框和冷却塔内壁均设置有多个用于存放晶圆的卡槽。12.作为本实用新型优选的方案，所述夹块为弧形设计并且内壁设置有夹槽用于夹持晶圆。13.作为本实用新型优选的方案，所述冷却塔与收集框接触，并且内部卡槽对应。14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：针对背景技术中提出的问题，本技术采用了冷却塔，通过第一滑块可使冷却塔在滑杆上滑动调整高度，然后通过夹块配合第三滑块和限位块将晶圆移动将夹块内的晶圆按冷却塔内的卡槽放进冷却塔内，通过冷却塔对晶圆进行自然冷却，冷却后通过推块配合推板将冷却塔内的晶圆推进收集框内，从而进行收集。本实用新型可对晶圆进行自然冷却并且可对冷却后的晶圆进行集中收集，实现冷却后与花篮无缝对接，省去人工装卡塞工序，有效提高生产效率和合格率。附图说明15.图1为本实用新型整体结构爆炸图；16.图2为本实用新型滑杆结构图；17.图3为本实用新型冷却塔结构图；18.图4为本实用新型推板结构图；19.图5为本实用新型夹块结构图。20.图中：1、滑杆；2、收集框；3、第一滑块；4、冷却塔；5、延伸杆；501、第二滑块；502、固定块；6、推块；601、连接杆；602、推板；7、移动块；701、第三滑块；8、限位块；801、夹块。具体实施方式21.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。22.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。23.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。24.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。25.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆自然冷却机构，包括滑杆1、第一滑块3、延伸杆5以及移动块7，所述滑杆1顶部设置有收集框2，收集框2可进行更换，用于对冷却后的晶圆进行收集，所述滑杆1外壁设置有第一滑块3，可在滑杆1外壁滑动，从而带动冷却塔4调整高度，所述第一滑块3另一侧设置有冷却塔4，可对晶圆进行存放，并进行自然冷却；所述延伸杆5外壁依次设置有第二滑块501和固定块502，第二滑块501可在延伸杆5顶部滑动，从而带动推块6一端，防止堵住夹块801存放晶圆，所述固定块502顶部依次设置有推块6、连接杆601以及推板602用于将冷却塔4内冷却后的晶圆推到收集框2内；所述移动块7顶部设置有第三滑块701，所述第三滑块701顶部设置有限位块8和夹块801，用于对高温的晶圆进行夹持，从而便于将晶圆放进冷却塔4内，当晶圆冷却到100度一下后可将其推至收集框2进行收集。26.目前在蓝宝石晶圆在cvd工序生产过程中，晶圆温度高达350℃，产出的晶圆温度太高，无法收集到卡塞内，放置到冷却区自然冷却后由人工收集到花篮内，所涉及的移载费时费力。27.本实施例中所有电气元件均通过常规控制器进行控制。28.实施例，请参照图1-5，所述收集框2通过螺栓与滑杆1顶部连接，所述第一滑块3通过滑轨与滑杆1外壁滑动连接，所述第一滑块3远离滑杆1一侧通过焊接方式与冷却塔4连接，所述第二滑块501通过滑轨与延伸杆5外壁滑动连接，所述固定块502通过螺栓与第二滑块501顶部连接，所述推块6通过滑轨与固定块502顶部滑动连接，所述连接杆601两端均通过焊接与推块6和推板602连接，所述第三滑块701通过滑轨与移动块7外壁滑动连接，所述限位块8通过滑轨与第三滑块701外壁滑动连接，所述限位块8与夹块801一体成型。29.实施例，请参照图1,所述收集框2和冷却塔4内壁均设置有多个用于存放晶圆的卡槽，所述夹块801为弧形设计并且内壁设置有夹槽用于夹持晶圆，所述冷却塔4与收集框2接触，并且内部卡槽对应。在使用时首先将晶圆放在夹块801内，然后通过第三滑块701和限位块8带动夹块801进行移动，将夹块801内的晶圆放进冷却塔4内，然后通过第一滑块3在滑杆1上滑动调整冷却塔4高度，从而配合夹块801将晶圆放进冷却塔4内的多个卡槽内进行冷却，晶圆冷却到100度以下后通过第二滑块501、固定块502以及推块6配合推板602，将冷却塔4内冷却后的晶圆推至收集框2内进行收集。30.本实用新型工作流程：在使用时首先将晶圆放在夹块801内，然后通过第三滑块701和限位块8带动夹块801进行移动，将夹块801内的晶圆放进冷却塔4内，然后通过第一滑块3在滑杆1上滑动调整冷却塔4高度，从而配合夹块801将晶圆放进冷却塔4内的多个卡槽内进行冷却，晶圆冷却到100度以下后通过第二滑块501、固定块502以及推块6配合推板602，将冷却塔4内冷却后的晶圆推至收集框2内进行收集。本实用新型可对晶圆进行自然冷却并且可对冷却后的晶圆进行集中收集，实现冷却后与花篮无缝对接，省去人工装卡塞工序，有效提高生产效率和合格率。31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。









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