一种化学液外置供液装置的制作方法 专利技术说明

气体或液体的贮存或分配装置的制造及其应用技术1.本实用新型涉及一种供液设备，尤其涉及一种化学液外置供液装置。背景技术：2.在半导体(集成电路)生产加工领域，清洗剂、腐蚀剂等是半导体制造中必不可少或者特别重要的化学液体物质。以氢氟酸为例，氢氟酸是半导体制造中常用的一种重要化学物质，主要应用于集成电路，作为清洗剂和腐蚀剂。现有技术中，对设备提供氢氟酸的时候，常规的工业方式是：利用管路连通到固定的原料池(装有氢氟酸原料)，然后直接通过原料池对设备进行供液。这种方式中，存在以下不足：当发生泄露的时候(设备处发生泄露、或管路上发生泄露、或管路与原料池连接处发生泄露、或管路与设备连接处发生泄露，或其他地方发生泄露)，特别是没有能够及时发现泄露的时候，会导致原料池内的氢氟酸(或其它化学液)全部泄露，其存在较大的安全隐患，同时污染环境，而且原料池内的氢氟酸(化学液)量大，全部泄露的话，还会造成较大的浪费，成本较为高昂。技术实现要素：3.本实用新型目的是提供一种化学液外置供液装置，通过使用该结构，能够有效的减少产品的泄露，提高使用的安全性，更加环保，还能够降低成本，提高使用的便利性。4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种化学液外置供液装置，包括具有出液孔的柜体、放置于柜体内的两组存液桶、及将两组存液桶与所述出液孔进行连接的管路，所述管路上设有控制阀门，所述控制阀门控制所述出液孔与一组所述存液桶进行连通；5.所述柜体内还设有两组液位检测机构，每组所述液位检测机构正对一组所述存液桶设置，所述液位检测机构检测对应所述存液桶内的液位；6.还设有一控制器，所述控制阀门及液位检测机构与所述控制器电控连接。7.上述技术方案中，所述液位检测机构包括立架、安装于立架上的高液位传感器及低液位传感器，所述高液位传感器设置于所述低液位传感器的上方，所述高液位传感器及低液位传感器正对一组所述存液桶，用于检测所述存液桶内的液位；所述存液桶内的液面处于所述高液位传感器与低液位传感器之间时，所述控制阀门能够将所述存液桶与所述出液孔连通。8.上述技术方案中，所述柜体内还设有两组与所述控制器电控连接的称重机构，每组所述存液桶放置于一组所述称重机构上，所述称重机构检测所述存液桶的重量，并将重量数据反馈于所述控制器内。9.上述技术方案中，所述称重机构为电子秤。10.上述技术方案中，所述柜体上还设有将所述柜体打开及关闭的柜门，所述柜门上设有门锁，所述门锁与所述控制器电控连接。11.上述技术方案中，所述柜体内还设有与所述控制器电控连接的漏液传感器，所述漏液传感器检测所述存液桶内的液体是否泄露。12.上述技术方案中，所述柜体底部还设有多组支撑脚轮，所述柜体经所述支撑脚轮可以移动。13.上述技术方案中，所述柜体上还设有一排风口，所述排风口将所述柜体内部与柜体外部相连通。14.上述技术方案中，所述柜体外部设有与所述控制器连接的触控显示屏、指示灯及多个控制按钮。15.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：16.1.本实用新型中采用通过存液桶对化学液进行供液，这样即使说发生泄露情况，泄漏量也比较少，尽可能的降低成本，提高安全性，也更加环保；17.2.本实用新型中将存液桶放在可移动的柜体内，这样便于人工将其移动到任意位置，不仅便于使用，还便于内部存液桶的更换；18.3.本实用新型中在柜体内设置有漏液传感器，这样在发生泄露的时候，能够被快速的检测到，提醒工作人员进行处理，尽可能的防止泄露的发生，提高降低成本，提高安全性；19.4.本实用新型中采用两组存液桶进行胶体供液，在一组存液桶内的化学液使用完成之后，能够自动且快速的切换另外一组存液桶进行供液，减少操作人员更换频率，保证设备的生产效率；20.5.本实用新型中通过液位检测机构检测存液桶内的液位高度，用于检测存液桶内的液体是否能够满足正常供液条件，从而保证两组存液桶能够正常的切换，保证供液的稳定性，保证后续设备的正常加工，保证后续设备对产品的加工稳定性及质量；21.6.本实用新型中设置有称重机构，对存液桶进行称重，这样在液位检测机构对存液桶液位检测的基础上，通过称重机构和液位传感器进一步进行检测判断，进行检测补充，或者说在液位检测机构出现问题的情况下，通过对存液桶的称重进一步进行检测存液桶内的液量是否满足供液要求，用以保证对设备的正常供液，和液位检测机构配合起到一个双重保护的作用；22.7.本实用新型中设置的排风口能够将少量挥发的化学液进行统一的收集处理，防止对环境污染以及对工作人员身体的伤害。附图说明23.图1是本实用新型实施例一中的结构示意图；24.图2是图1的侧视图；25.图3是图1的俯视图；26.图4是本实用新型实施例一中柜体内部的结构示意图。27.其中：1、出液孔；2、柜体；3、存液桶；4、液位检测机构；5、触控显示屏；6、控制按钮；7、电源接口；8、网络接口；9、立架；10、高液位传感器；11、低液位传感器；12、称重机构；13、柜门；14、门锁；15、前柜门；16、上柜门；17、支撑脚轮；18、排风口。具体实施方式28.下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：29.实施例一：参见图1～4所示，一种化学液外置供液装置，包括具有出液孔1的柜体2、放置于柜体内的两组存液桶3、及将两组存液桶与所述出液孔进行连接的管路(管路图中未画出)，所述管路上设有控制阀门(控制阀门图中未画出)，所述控制阀门控制所述出液孔与一组所述存液桶进行连通；30.所述柜体内还设有两组液位检测机构4，每组所述液位检测机构正对一组所述存液桶设置，所述液位检测机构检测对应所述存液桶内的液位；31.还设有一控制器，所述控制阀门及液位检测机构与所述控制器电控连接。32.所述柜体外部设有与所述控制器连接的触控显示屏5、指示灯及多个控制按钮6。33.在本实施例中，化学液以氢氟酸为例，存液桶内用于存放氢氟酸，在实际使用的时候，出液孔会通过管路和需要使用氢氟酸的设备进行连接，通过存液桶对设备进行氢氟酸的供液。其中，采用两组存液桶，利用控制阀门将出液孔和其中一组存液桶进行连通，这样每次经过一组存液桶对设备进行氢氟酸提供，利用液位检测机构检测对应存液桶内的液位，当检测到该存液桶内的液位高度到达最低限位值的时候，将数据反馈到控制器，控制器也会对控制阀门进行控制，使得出液孔和另外一组存液桶进行连通，通过另外一组存液桶对设备进行供液。同时，会通过触控显示屏显示其中一组存液桶为空桶，缺少氢氟酸，需要更换装有氢氟酸的存液桶，便于后续的切换。进一步的，会在柜体上面具有电源接口7，用于给柜体供电，还会具有网络接口8，利用网络接口将柜体和第三方设备进行连接，例如通过网络接口给予柜体连接网络，可以将数据反馈至第三方设备内，第三方设备可以为服务器，或者说手机app内，或者后端的加工设备、或者其他的，这样工作人员能够第一时间远程就发现问题，即使的进行处理。34.在本实用新型中，如果说存液桶内的化学液发生了泄露，即使说存液桶内的化学液全部泄露，由于存液桶的容量有限，因此化学液的泄露也会比较少，成本低廉，减少对环境的破坏，也尽可能方式化学液对人体造成伤害，由于泄露量少，也方便对这一部分泄露的化学液进行快速的处理。35.参见图4所示，所述液位检测机构包括立架9、安装于立架上的高液位传感器10及低液位传感器11，所述高液位传感器设置于所述低液位传感器的上方，所述高液位传感器及低液位传感器正对一组所述存液桶，用于检测所述存液桶内的液位；所述存液桶内的液面处于所述高液位传感器与低液位传感器之间时，所述控制阀门能够将所述存液桶与所述出液孔连通。36.在本实施例中，装有化学液的存液桶，液面高度一般会处在高液位传感器和低液位传感器之间，如果说页面高度处在高液位传感器的上方，那说明存液桶内的液体高度过高，泄露风险较高，正常存液桶放入到柜体内之后，就会被检测到，就会提醒报警，提醒工作人员处理，如果说工作人员未处理的话，控制阀门不会将该组存液桶和出液孔之间的管路进行连通，该组存液桶无法正常供液。当在存液桶在正常供液的时候，液面高度会逐渐下降，当液面高度处在低液位传感器下方的时候，该存液桶内的化学液被抽完或者难以抽到、或者抽取的时候会断断续续，影响后续设备的正常供液，影响后续产品的正常处理。因此，控制阀门会将该组存液桶和出液孔之间连通管路的关闭，切换另外一组具有化学液的存液桶，实现另外一组存液桶与出液孔的连通供液，从而保证连续供液，保证后端设备运行的稳定性，保证对产品的加工稳定性及质量。37.其中，所述柜体内还设有与所述控制器电控连接的漏液传感器，所述漏液传感器检测所述存液桶内的液体是否泄露。38.在本实施例中，漏液传感器会设置在柜体内的底部，当出现漏液的时候，液体由于自重会朝下流动，先流动到柜体内的底部，漏液传感器就能够检测到液体，说明出现漏液现象，控制器会将数据反馈，触控显示器报警，并且传输到第三方设备内，后端需要化学液的设备无法正常对化学液进行吸取，工作人员需要快速的进行查看，了解情况，进行处理，用以防止继续泄露，更加安全、环保。39.参见图4所示，所述柜体内还设有两组与所述控制器电控连接的称重机构12，每组所述存液桶放置于一组所述称重机构上，所述称重机构检测所述存液桶的重量，并将重量数据反馈于所述控制器内。40.在本实施例中，以化学液为氢氟酸液体为例(当然也可以为其他化学液)，会根据存液桶的容量，会预先通过触控显示屏在控制器内设置存液桶的上下限范围(装满存液桶的重量、氢氟酸抽取完之后的重量)在液位检测机构检测需要切换存液桶进行供液的时候，如果说和称重机构称重的数据存在偏差，该偏差值过大的话，会报警体现工作人员进行处理(可以先进行切换)，或者说液位检测机构出现异常，不能够检测液位的时候，称重机构通过其重量的检测，能够检测存液桶内的液位高低，进行判断，便于切换，称重机构的设置，起到一个双重保护，也能够实时的将氢氟酸的使用量反馈出来，便于对氢氟酸的使用量进行管控。41.其中，所述称重机构为电子秤。采用电子秤，电子秤和控制器连接，其检测精度高，而且成本低廉。42.参见图1～4所示，所述柜体上还设有将所述柜体打开及关闭的柜门13，所述柜门上设有门锁14，所述门锁与所述控制器电控连接。43.在本实施例中，柜门作为安全门，当柜门关闭的时候，门锁将柜门锁紧，防止柜体内部打开，保证使用的安全性。其中，在本实施例中，控制按钮具有4个，分别为开门按钮、关门按钮、停止按钮、复位按钮，开门按钮用于将门锁打开，使得柜门能够正常的打开，对存液桶进行更换。关门按钮用于控制门锁的闭合，将柜门锁住，使得柜门无法打开，停止按钮，用于停止化学液的供液，也就是使得控制阀门关闭，使得出液孔和存液桶无法连通，也就是无法供液。复位按钮，是在设备异常报警之后，异常处理完成之后，解除异常来使用，使得设备能够正常的使用。在本实施例中，柜门包括处在柜体前侧的前柜门15以及处在柜体顶部的上柜门16，柜门都可以采用透明材料制成，便于操作人员直观的看到内部存液桶的情况。44.其中，在设备需要正常使用，能够正常给予第三方设备供液的时候，需要满足以下条件：45.1、存液桶内的液位处在高液位传感器及低液位传感器之间(这样化学液能够被正常抽吸)；46.2、称重机构对存液桶称重的数值，处在预先设定上下限范围内；47.3、漏液传感器未检测到泄露；48.4、柜门关闭(门锁正常关闭状态)。49.当这几个条件均满足的时候，控制阀门可以打开，将其中一组存液桶和出液孔进行连通，允许第三方设备对存液桶内的化学液进行抽吸，当其中有条件不满足的时候，设备报警，其中，柜体上面会设置报警灯、或者蜂鸣报警器，通过其进行报警，然后触控显示屏上面会显示对应的报警代码(每个问题，都会有对应的代码)或者直接文字显示，控制阀门关闭，断开出液孔和存液桶之间的连通，工作人员需要即使的进行处理。50.其中，指示灯可以单独设置，亮起对应的颜色，提示应该进行什么操作，作为最直观的方式指引操作人员进行正确的操作。51.参见图1～4所示，所述柜体底部还设有多组支撑脚轮17，所述柜体经所述支撑脚轮可以移动。通过支撑脚轮的设置，柜体能够在地面上移动，便于提高工作人员操作的便利性，而且哪一台设备需要使用都可以推动到对应的位置，存液桶更换也更加方便、省力。而且，支撑脚轮为带刹车的支撑脚轮，在移动到预定位置之后，将支撑脚轮刹住，这样柜体不会溜走。52.参见图1、2、4所示，所述柜体上还设有一排风口18，所述排风口将所述柜体内部与柜体外部相连通。53.由于不少类型的化学液(例如氢氟酸)具有较强的挥发性和腐蚀性，在抽吸过程中会有少量的挥发，从而会对车间内的工人造成伤害，也会环境造成破坏，因此，通过排风口的设置，利用管路和外部的处理设备进行连接，将挥发的化学液进行收集，统一处理，减少对环境的破坏，更加环保，也防止伤害工作人员，降低安全隐患。54.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。55.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，比如，两者通过抵接、触接等形成机械的抵靠或抵触的连接方式，两者也可以是直接挂接或者通过中间媒介进行挂装连接等，也可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。









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