一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置的制作方法 专利技术说明

电气元件制品的制造及其应用技术1.本实用新型涉及半导体涂覆技术领域，具体涉及一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置。背景技术：2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。3.在半导体生产的过程中，需要在其避免涂覆碳素材料石墨涂层对其进行防护，现有的半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置结构主要包括箱体以及用于对石墨涂料进行喷涂的喷涂机构，其在实际使用的过程中，缺乏连续上料的机构，导致在对一个半导体进行喷涂后，需要关闭装置，并将该半导体取出后，再将另一个半导体放入进行喷涂，缺乏自动进料和出料以及连续喷涂的机构，导致在整个过程中，存在喷涂效率低的缺陷。4.为此，本技术提出一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置。技术实现要素：5.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，以解决上述背景技术中提出的问题。6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，包括工作台，所述工作台的上表面固设有固定框，且固定框的内顶壁设置有石墨涂料喷涂机构；7.所述工作台的上表面设置有自动进出料机构，所述自动进出料机构包括开设在工作台上表面的条形槽以及转动设置在条形槽内壁的丝杠，且工作台的侧面设置有用于驱动丝杠转动的驱动电机，所述自动进出料机构还包括滑动设置在工作台上表面的移动板，以及固设在移动板上表面的两个对称的用于对半导体进行放置的放置板，所述移动板的下表面固设有与条形槽内壁滑动连接的滑块，且滑块的侧面开设有与丝杠表面螺纹连接的螺纹孔。8.优选的，所述石墨涂料喷涂机构包括设置在固定框上表面的石墨涂料箱，以及设置在石墨涂料箱下表面的输送泵。9.优选的，所述石墨涂料喷涂机构还包括开设在固定框内顶壁的矩形开口，以及转动设置在矩形开口内壁的螺纹柱，且固定框的侧面设置有用于驱动螺纹柱转动的旋转电机。10.优选的，所述矩形开口的内壁滑动设置有移动块，且移动块的侧面开设有与螺纹柱表面螺纹连接的螺纹孔，所述移动块的下表面和石墨涂料箱的下表面固定连接，所述移动块的下表面固设有喷涂管，且喷涂管的下表面等距设置有若干个雾化喷头，所述输送泵的进料端延伸至石墨涂料箱的内部，输送泵的出料端通过软管与喷涂管连通。11.优选的，所述固定框和工作台的表面设置有除雾机构，所述除雾机构包括分别设置有工作台下表面的水箱以及固设在固定框上表面的循环泵。12.优选的，所述除雾机构还包括开设在工作台上表面并延伸至水箱内部的两个对称的条形开口，以及固设在固定框两侧内壁并与条形开口相对应的倾斜引流板，所述循环泵的进水端延伸至水箱的内部，循环泵的出水端延伸至固定框的内部并与倾斜引流板相对应。13.本实用新型的有益效果：通过设置石墨涂料喷涂机构和自动进出料机构，使该装置在实际使用的过程中，能够实现连续喷涂的目的，有效的提高了喷涂涂覆的效率。通过设置除雾机构，使喷涂时产生的多余喷雾能够顺着气流被水吸附，实现除雾的目的，避免了喷涂时产生的喷雾对环境设备造成污染。附图说明14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。15.图1为本实用新型立体结构示意图；16.图2为本实用新型自动进出料机构结构示意图；17.图3为本实用新型石墨涂料喷涂机构结构示意图；18.图4为本实用新型除雾机构结构示意图。具体实施方式19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。20.根据图1、图2、图3所示，一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，包括工作台1，工作台1的上表面固设有固定框2，且固定框2的内顶壁设置有石墨涂料喷涂机构3；21.石墨涂料喷涂机构3包括设置在固定框2上表面的石墨涂料箱301，以及设置在石墨涂料箱301下表面的输送泵。22.石墨涂料喷涂机构3还包括开设在固定框2内顶壁的矩形开口，以及转动设置在矩形开口内壁的螺纹柱302，且固定框2的侧面设置有用于驱动螺纹柱302转动的旋转电机303。23.矩形开口的内壁滑动设置有移动块304，且移动块304的侧面开设有与螺纹柱302表面螺纹连接的螺纹孔，移动块304的下表面和石墨涂料箱301的下表面固定连接，移动块304的下表面固设有喷涂管305，且喷涂管305的下表面等距设置有若干个雾化喷头306，输送泵的进料端延伸至石墨涂料箱301的内部，输送泵的出料端通过软管与喷涂管305连通。24.工作台1的上表面设置有自动进出料机构4，自动进出料机构4包括开设在工作台1上表面的条形槽以及转动设置在条形槽内壁的丝杠401，且工作台1的侧面设置有用于驱动丝杠401转动的驱动电机402，自动进出料机构4还包括滑动设置在工作台1上表面的移动板403，以及固设在移动板403上表面的两个对称的用于对半导体进行放置的放置板404，移动板403的下表面固设有与条形槽内壁滑动连接的滑块405，且滑块405的侧面开设有与丝杠401表面螺纹连接的螺纹孔。25.其中：与现有技术相比，通过设置石墨涂料喷涂机构3和自动进出料机构4，使该装置在实际使用的过程中，能够将半导体放置在放置板404上，并启动驱动电机402带动丝杠401转动，丝杠401的转动带动滑块405移动，滑块405的移动带动移动板403移动，使放置有半导体的放置板404进入固定框2内进行喷涂涂覆，同时在一个半导体喷涂涂覆的过程中，在另一个放置板404上放置半导体，在一个半导体喷涂涂覆结束后，启动驱动电机402反转，使涂覆后的半导体自动从固定框2内移出，下一个未涂覆的半导体自动进入固定框2内进行喷涂涂覆，进而实现连续喷涂的目的，有效的提高了喷涂涂覆的效率，而且在喷涂涂覆的过程中，能够在输送泵的作用下将石墨涂料箱301内的石墨涂料通过喷涂管305上的雾化喷头306均匀的喷涂在半导体的表面，而且在喷涂的过程中，能够在旋转电机303的作用下带动螺纹柱302转动，螺纹柱302的转动带动移动块304移动，从而使喷涂管305上的雾化喷头306在固定框2的内部移动喷涂，保证了喷涂的均匀性。26.另一实施例中，如图1和图4所示的一种半导体碳素材料石墨涂层涂覆装置，,在实施例1的基础上，固定框2和工作台1的表面设置有除雾机构5，除雾机构5包括分别设置有工作台1下表面的水箱501以及固设在固定框2上表面的循环泵502。27.除雾机构5还包括开设在工作台1上表面并延伸至水箱501内部的两个对称的条形开口503，以及固设在固定框2两侧内壁并与条形开口503相对应的倾斜引流板504，循环泵502的进水端延伸至水箱501的内部，循环泵502的出水端延伸至固定框2的内部并与倾斜引流板504相对应。28.其中：与现有技术相比，通过设置除雾机构5，使该装置在对半导体喷涂涂覆的过程中，能够在循环泵502的作用下将水箱501内的水输送至倾斜引流板504上，使水顺着倾斜引流板504流向水箱501内，在水流动的过程中能够带动气流流动，从而使喷涂时产生的多余喷雾能够顺着气流被水吸附，实现除雾的目的，避免了喷涂时产生的喷雾对环境设备造成污染。29.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。









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